技術(shù)編號(hào)：6126146
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于納米與氣敏傳感器，具體涉及一種場(chǎng)效應(yīng)管的微腔氣敏傳感器。技術(shù)背景眾所周知，探測(cè)02以及有毒和易燃?xì)怏w如N02、 CO、 H2、甲醛和酒精氣體等的氣敏傳 感器在日常生活、工業(yè)生產(chǎn)、生物和醫(yī)療、環(huán)境保護(hù)、反恐防災(zāi)、軍事國(guó)防等諸多方面 有著廣泛的應(yīng)用。使用的材料常見(jiàn)的有ZnO[l]， Sn02[2]， In203[3]...以及它們的摻雜物 等。但不管是已經(jīng)商用的還是研究文獻(xiàn)，涉及的絕大多數(shù)是塊材料、薄膜或厚膜(包括 由納米結(jié)構(gòu)組成的厚膜)材料。它們工...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。