技術(shù)編號：6270929
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及報警處理方法，特別半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備報警與互鎖處理的方法。背景技術(shù) 現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝涉及到多種學(xué)科的交叉領(lǐng)域，多數(shù)工藝處理都需要在極為苛刻環(huán)境條件，如一定的真空度，溫度等等下才能進行。因此在半導(dǎo)體設(shè)備的控制邏輯，很大一部分是關(guān)于報警與互鎖的處理。從理論上來講，設(shè)備控制邏輯中的報警是對于某些異常情況的提示，并會給用戶的下一步操作提供適當(dāng)?shù)倪x項?；ユi是對于某些特定條件的限定，按照預(yù)先設(shè)定的處理邏輯，一般可以分為設(shè)定參數(shù)互鎖以及取值互鎖。設(shè)定參數(shù)互鎖...
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