專利名稱：一種設(shè)備報警與互鎖處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及報警處理方法，特別半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備報警與互鎖處理的方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝涉及到多種學(xué)科的交叉領(lǐng)域，多數(shù)工藝處理都需要在極為苛刻環(huán)境條件，如一定的真空度，溫度等等下才能進(jìn)行。因此在半導(dǎo)體設(shè)備的控制邏輯，很大一部分是關(guān)于報警與互鎖的處理。從理論上來講，設(shè)備控制邏輯中的報警是對于某些異常情況的提示，并會給用戶的下一步操作提供適當(dāng)?shù)倪x項?；ユi是對于某些特定條件的限定，按照預(yù)先設(shè)定的處理邏輯，一般可以分為設(shè)定參數(shù)互鎖以及取值互鎖。設(shè)定參數(shù)互鎖保證當(dāng)一系列條件都滿足的前提下才會對某個值進(jìn)行設(shè)定；而取值互鎖則是當(dāng)某個觸發(fā)變量的值達(dá)到預(yù)設(shè)值后，采取一定的糾正措施，保證系統(tǒng)始終處于安全的狀態(tài)下。在設(shè)備控制領(lǐng)域，互鎖條件通常用于設(shè)定系統(tǒng)的特定工作條件，保證設(shè)備的安全狀態(tài)以及正常工作，而報警機(jī)制則為操作員提供相應(yīng)的異常信息，并提供接觸異常的一系列選項。設(shè)備控制領(lǐng)域的很大一部分報警都與互鎖條件直接相關(guān)，因此將設(shè)備內(nèi)部的互鎖條件與報警處理進(jìn)行關(guān)聯(lián)處理，是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備控制的一項重要內(nèi)容。
目前在半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備控制領(lǐng)域，對于報警與互鎖目前較為通用的處理方式是如圖1所示。
在設(shè)備的運(yùn)行流程邏輯中存在著對報警以及互鎖條件的判斷，如果某些報警條件滿足，則拋出相應(yīng)的報警，并根據(jù)用戶的選擇進(jìn)行相應(yīng)的處理，待處理完成后繼續(xù)判斷報警條件，如果已經(jīng)清除，則繼續(xù)進(jìn)行流程。對于互鎖條件的判斷與報警類似，其區(qū)別在于互鎖條件一旦滿足，在進(jìn)行必要的互鎖處理同時，根據(jù)存在于特定的互鎖判斷以及處理邏輯之中的報警信息產(chǎn)生相應(yīng)的報警。這樣，用戶可以得知發(fā)生互鎖的環(huán)節(jié)，并采取相應(yīng)的恢復(fù)措施。
上述技術(shù)方案的缺點(diǎn)在于，在特定的互鎖處理邏輯內(nèi)部，需要逐一指定與之相關(guān)聯(lián)的報警信息，并等待報警處理的返回結(jié)果。由于半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備的控制邏輯通常會涉及到較為復(fù)雜的報警與互鎖，并且群集化(Cluster Tool)，模塊化(Modularization)的發(fā)展方向也逐漸要求設(shè)備控制邏輯必須能夠處理來自于多個工藝反應(yīng)模塊的相同或相近的互鎖以及報警處理。這樣將使按照現(xiàn)有技術(shù)方案所實(shí)現(xiàn)的軟件程序的維護(hù)變得非常困難，也不利于后續(xù)軟件的升級以及更新。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的本發(fā)明的目的是提供一種軟件程序的維護(hù)容易、后續(xù)軟件的升級以及更新方便的一種半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備的互鎖以及報警處理方法。
技術(shù)方案一種設(shè)備報警與互鎖處理方法，包括以下步驟A.將系統(tǒng)中的所有互鎖賦予統(tǒng)一的互鎖識別號(Interlock ID)和所有報警賦予統(tǒng)一的報警識別號(Alarm ID)；B.利用互鎖識別號和報警識別號建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系；C.查詢來自于系統(tǒng)工作流程的互鎖條件是否滿足；D.當(dāng)互鎖條件滿足時，在互鎖處理邏輯中首先通過互鎖—報警映射關(guān)系查詢與該互鎖識別號相對應(yīng)的報警識別號，然后拋出該報警并進(jìn)行相應(yīng)的報警處理；E.等待報警處理的過程完成并返回系統(tǒng)工作流程。
其中，建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系具體方式是建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系表。
互鎖—報警映射關(guān)系表可在軟件系統(tǒng)每次編譯過程中自動更新。
系統(tǒng)根據(jù)需要隨時對互鎖—報警映射關(guān)系表進(jìn)行更新。
其中，建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系也可以用映射關(guān)系表以外的其他通用的軟件工程實(shí)現(xiàn)方式，如通用數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，數(shù)組等方式。
有益效果應(yīng)用本發(fā)明的方法，可以有效地提高半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備的控制軟件在處理互鎖以及報警方面的效率，極大程度地提升軟件系統(tǒng)的可維護(hù)性并方便系統(tǒng)的升級與更新提高系統(tǒng)的可維護(hù)性，方便軟件的升級與更新。特別是針對半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備需要處理來自多個模塊的相同或類似互鎖條件的情形，該方案可以有效地提升系統(tǒng)的工作效率。


圖1現(xiàn)有互鎖與報警處理方式流程示意2本發(fā)明互鎖與報警處理方式流程示意圖具體實(shí)施方式
以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由各項權(quán)利要求限定。
在半導(dǎo)體真空處理設(shè)備的控制系統(tǒng)中，系統(tǒng)的工作需要在真空條件下進(jìn)行，為此，需要不斷檢測系統(tǒng)的工作壓力是否滿足預(yù)設(shè)條件。例如預(yù)先定義好腔室的工作壓力為小于50mtorr，一旦在系統(tǒng)工作過程中檢測到系統(tǒng)的壓力大于50mtorr，則停止系統(tǒng)當(dāng)前動作，并發(fā)出報警，提示操作員進(jìn)行相應(yīng)的操作，如開啟真空泵閥門，直到系統(tǒng)壓力降至50mtorr以下。
上述半導(dǎo)體真空處理設(shè)備的報警與互鎖處理方法，具體步驟如下將系統(tǒng)中的所有互鎖以及報警分別賦予統(tǒng)一的互鎖識別號Interlock ID以及報警識別號Alarm ID作為其屬性變量即賦予一旦在系統(tǒng)工作過程中檢測到系統(tǒng)的壓力大于50mtorr則停止系統(tǒng)當(dāng)前動作的互鎖條件一個Interlock ID為205，賦予相關(guān)報警識別號為3001。
建立唯一的互鎖—報警映射關(guān)系表，在映射關(guān)系表中設(shè)置205與3001的對應(yīng)關(guān)系如下表

啟動獨(dú)立的線程不斷查詢來自于系統(tǒng)工作流程的互鎖條件是否滿足也就是說系統(tǒng)中存在單獨(dú)的互鎖條件檢測線程(Interlock ServerThread)，用于隨時檢測預(yù)先設(shè)定的互鎖條件(包括205)是否滿足。
當(dāng)互鎖條件滿足時，應(yīng)射表處理線程查詢與該互鎖識別號相對應(yīng)的報警識別號，拋出該報警，并進(jìn)行相應(yīng)的報警處理一旦互鎖條件205滿足，則返回相應(yīng)的互鎖條件編號205，系統(tǒng)首先阻塞住當(dāng)前進(jìn)行的服務(wù)，保證系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。隨后從互鎖與報警映射關(guān)系表中查詢到互鎖205映射的編號3001的報警，繼而拋出3001報警，并進(jìn)行與該報警相關(guān)的處理。
待報警處理的結(jié)束，報警條件清除后返回工作流程如果操作員選擇了適當(dāng)?shù)幕謴?fù)選項，使得系統(tǒng)壓力恢復(fù)到50mtorr以下，則此時首先報警條件被清除，繼而互鎖檢測線程的返回值重新變?yōu)?，被阻塞的服務(wù)可以繼續(xù)向下進(jìn)行。
需要增加系統(tǒng)互鎖條件時，除了改寫互鎖條件檢測線程，并增加相應(yīng)的報警處理之外，只要在上述映射表中增加一項映射關(guān)系即可。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)備報警與互鎖處理方法，其特征在于，包括以下步驟A.將系統(tǒng)中的所有互鎖賦予統(tǒng)一的互鎖識別號，將所有報警賦予統(tǒng)一的報警識別號；B.建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系；C.查詢來自于系統(tǒng)工作流程的互鎖條件是否滿足；D.當(dāng)互鎖條件滿足時，通過互鎖—報警映射關(guān)系查詢與該互鎖識別號相對應(yīng)的報警識別號并拋出該報警，進(jìn)行相應(yīng)的報警處理；E.等待報警處理的過程完成并返回系統(tǒng)工作流程。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備報警與互鎖處理方法，其特征在于，步驟B是建立系統(tǒng)中唯一的互鎖—報警映射關(guān)系表。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備報警與互鎖處理方法，其特征在于，在軟件系統(tǒng)每次編譯過程中自動更新步驟B中所述的互鎖—報警映射關(guān)系表。
4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備報警與互鎖處理方法，其特征在于，系統(tǒng)隨時更新步驟B中所述的互鎖—報警映射關(guān)系表。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種設(shè)備報警與互鎖處理方法，A.將系統(tǒng)中的所有互鎖賦予統(tǒng)一的互鎖識別號和所有報警賦予統(tǒng)一的報警識別號；B.建立系統(tǒng)中唯一的互鎖－報警映射關(guān)系；C.查詢來自于系統(tǒng)工作流程的互鎖條件是否滿足；D.當(dāng)互鎖條件滿足時，通過互鎖－報警映射關(guān)系查詢與該互鎖識別號相對應(yīng)的報警識別號并拋出該報警，進(jìn)行相應(yīng)的報警處理；E.等待報警處理的過程完成并返回系統(tǒng)工作流程等步驟。應(yīng)用本發(fā)明的方法，可以有效地提高半導(dǎo)體工藝處理設(shè)備的控制軟件在處理互鎖以及報警方面的效率，極大程度地提升軟件系統(tǒng)的可維護(hù)性并方便系統(tǒng)的升級與更新，提高系統(tǒng)的可維護(hù)性，方便軟件的升級與更新。
文檔編號G05B19/418GK1851593SQ20051012629
公開日2006年10月25日 申請日期2005年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月5日
發(fā)明者史亞巍 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司