技術編號：6328134
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及自動化控制，具體涉及一種。 背景技術65nm清洗及化學處理設備在集成電路裝備領域中處于非常重要的位置。65nm超精細清洗設備主要用在后道工藝銅互連階段中的多孔性Low-k介質(zhì)材料的清洗。主要去除光刻膠殘留、顆粒、通孔內(nèi)的聚合物。清洗機的化學傳遞系統(tǒng)(Chemical delivery system) 簡稱CDS系統(tǒng)，是清洗設備的供液系統(tǒng)。以ST-250為清洗藥液，對溫度的控制顯得尤為重要。溫度較低，粘性增加，移除率降低。低于30°C時一些組份處于...
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