技術(shù)編號(hào):6554616
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。總的來說,本發(fā)明涉及一種用于設(shè)計(jì)通過半導(dǎo)體制造工藝來制造的集成電路的系統(tǒng)和方法,而更具體而言,涉及一種用于設(shè)計(jì)集成電路的系統(tǒng)和方法,以增強(qiáng)可制造性并因此增加用來生產(chǎn)集成電路的半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)出。背景技術(shù) 半導(dǎo)體制造工業(yè)正在持續(xù)發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)計(jì)及制造工藝,并開發(fā)新工藝以使正在制造的設(shè)計(jì)幾何形狀越來越小,因?yàn)榕c較大的器件相比,較小的半導(dǎo)體器件一般消耗較少的功率、產(chǎn)生較少的熱且以較高速度工作。當(dāng)前,單個(gè)集成電路芯片可包括十億以上的圖案。因此,集成電路設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體...
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