技術(shù)編號：6803591
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于在半導(dǎo)體組件、液晶顯示組件、攝影組件、薄膜磁頭、其它微型組件(micro device)的制造工序所使用的曝光裝置及曝光方法。背景技術(shù) 微型組件之一的液晶顯示組件，通常，在玻璃基板(plate)上使透明薄膜電極以微影蝕刻(lithography)方法加以圖案化成為所期望的形狀，以形成薄膜晶體管TFT(Thin Film Transistor)等的開關(guān)組件(switchingelement)及電極配線加以制造。在使用此微影蝕刻方法的制造工序，使用...
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