技術(shù)編號：6916775
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型公開了一種太陽電池等離子刻蝕模具，屬于太陽電池刻蝕設(shè)備。背景技術(shù)太陽電池實際上是一個面積比較大的非線性PN結(jié)，在制作過程中，需要將擴(kuò)散工序中形成的硅邊緣P-N結(jié)去除，否則，將導(dǎo)致電極正負(fù)極之間并聯(lián)電阻過小，影響電池的輸出特性。大規(guī)模生產(chǎn)中，一般用四氟化碳在高頻電場中電離出氟離子與Si反應(yīng)生成SiF4的方式來去除邊緣PN結(jié)?，F(xiàn)有的太陽電池等離子刻蝕模具，主要由底盤、底板、蓋板、加壓裝置組成?？涛g時，先將底板置于底盤上，再將數(shù)片硅片疊層置于底板上，接...
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