技術(shù)編號(hào):6943203
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及功率用半導(dǎo)體器件,特別涉及具備超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率用半導(dǎo)體器件。 背景技術(shù)在功率用半導(dǎo)體器件中,為了減少能量損失而期望低功耗。例如,作為功率用半導(dǎo) 體器件之一的縱向結(jié)構(gòu)功率MOSFET的功耗較大地依賴于決定導(dǎo)通電阻的傳導(dǎo)層(漂移層) 部分的電阻。而且,決定該漂移層的電阻的雜質(zhì)摻雜量根據(jù)基層與漂移層形成的Pn結(jié)的耐 壓而不會(huì)上升至界限以上。因此,在器件耐壓與導(dǎo)通電阻中存在折衷,在該折衷關(guān)系下進(jìn)行 器件的最佳設(shè)計(jì)。另一方面,在該折衷關(guān)系中,有依賴于器件材料...
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