技術(shù)編號:6955144
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種適用于集成電路芯片的實體層界面排列。 背景技術(shù)集成電路芯片(IC chip)通常包括一基底(例如硅晶片)及配置在基底的一有 源面(active surface)上的集成電路層(IC layer),在此「有源面」是指在基底上配置集 成電路層的那一面。一般來說,集成電路層由多個內(nèi)部元件(例如M0S晶體管、電感、電容 等)、多層介電層以及多層圖案化金屬層等構(gòu)成。多層介電層以及多層圖案化金屬層相互 堆疊,且圖案化金屬層會將內(nèi)部元件的信號傳遞至外界、或...
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