技術(shù)編號：7011244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。本發(fā)明充分利用亞臨界和超臨界水的物理化學(xué)性質(zhì)，將醋酸錳水溶液與二氧化硅前驅(qū)體在亞臨界和超臨界水條件下反應(yīng)生成晶體產(chǎn)物。該方法對環(huán)境污染少、工藝簡單，所述產(chǎn)物具有結(jié)晶度好，純度高，穩(wěn)定性和機械強度好等優(yōu)點，可用作各種銅導(dǎo)線的絕緣材料阻擋體。專利說明[0001]本申請涉及，屬于半導(dǎo)體集成電路制造，具體涉及一種利用亞臨界和超臨界水的特征來制備銅導(dǎo)線絕緣材料阻擋體的方法。背景技術(shù)[0002]銅以其低電阻率和較好的耐電遷移性能已代替鋁作為微電子器件如微處...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。