技術(shù)編號(hào):7090091
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供了一種晶片盒,包括多個(gè)晶片容置單元,還包括連接每個(gè)晶片容置單元的觸碰偵測(cè)器。當(dāng)鍍有導(dǎo)體層的晶片在放入或移出晶片容置單元的過程中,若晶片的邊緣觸碰到晶片容置單元,所述觸碰偵測(cè)器會(huì)進(jìn)行提示。本實(shí)用新型還提供一種機(jī)械手調(diào)節(jié)系統(tǒng),包含上述晶片盒,其機(jī)械手能根據(jù)其承載的鍍有導(dǎo)體的晶片和觸碰偵測(cè)器的指示,調(diào)整其工作軌跡,使其在后續(xù)承載普通晶片進(jìn)行放入和移出工作時(shí),保持晶片不被磨損。專利說明晶片盒和機(jī)械手調(diào)節(jié)系統(tǒng) [0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。