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      包含有雙頭滴涂器的晶粒鍵合機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7164016

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      本發(fā)明涉及一種用于電子器件的晶粒鍵合機(jī),特別是涉及包含有雙滴注頭的晶粒鍵合機(jī),以同時(shí)將一個(gè)或多個(gè)粘合劑(adhesives)滴注在襯底上。背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶?;蛐酒纳a(chǎn)過程中,大量半導(dǎo)體晶粒被一起形成于單獨(dú)的晶圓上。然后將晶圓切割分離成各個(gè)晶粒。其次將這些半導(dǎo)體晶粒中的每一個(gè)被單獨(dú)地裝配在支持表面上,以通過利用晶粒鍵合工序進(jìn)一步處理。其后,在晶粒和外圍器件之間形成電氣連接,以后使用塑性混合料將晶粒灌封以保護(hù)它們避免環(huán)境的干擾。在現(xiàn)有的晶粒鍵合機(jī)中,晶粒鍵...
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