技術(shù)編號(hào):7180188
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造工藝方法,特別是涉及一種在CM0S(互補(bǔ)金 屬氧化物半導(dǎo)體)工藝中集成光電二極管的方法。背景技術(shù)現(xiàn)今光電二極管在CMOS器件上的集成已經(jīng)比較常見(jiàn),其主要用于成像器,一般所 需的光刻層次較多,成本較高。本發(fā)明所涉及的光電二極管的用途是較為廉價(jià)的紅光鼠標(biāo),光電二極管作為光接 受器,而CMOS器件則用做控制電路部分。這種用途決定了對(duì)這種光電二極管有以下要求首先,功能上這種光電二極管必須對(duì)紅光敏感,產(chǎn)生光電流并且對(duì)放電響應(yīng)時(shí)間有一定...
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