技術(shù)編號：7190485
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種在等離子體化學(xué)氣相沉積 設(shè)備中沉積PIN層前對太陽能電池逐步加熱的裝置。背景技術(shù)在現(xiàn)有太陽能電池生產(chǎn)過程中，等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對太陽能電池進(jìn)行沉 積PIN層的過程之前，要求太陽能電池達(dá)到一定的溫度，以方便下一步工序沉積的速度和 達(dá)到沉積的效果，所以在沉積工序之前要對太陽能電池進(jìn)行加熱。 以往的加熱過程為讓太陽能電池通過設(shè)置一定溫度的加熱爐，對太陽能電池進(jìn) 行加熱。因為加熱溫度一般在18(TC，所以加熱爐...
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