專利名稱：一種等離子體化學(xué)氣相沉積前的太陽能電池加熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種在等離子體化學(xué)氣相沉積 設(shè)備中沉積PIN層前對太陽能電池逐步加熱的裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有太陽能電池生產(chǎn)過程中，等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對太陽能電池進(jìn)行沉 積PIN層的過程之前，要求太陽能電池達(dá)到一定的溫度，以方便下一步工序沉積的速度和 達(dá)到沉積的效果，所以在沉積工序之前要對太陽能電池進(jìn)行加熱。 以往的加熱過程為讓太陽能電池通過設(shè)置一定溫度的加熱爐，對太陽能電池進(jìn) 行加熱。因?yàn)榧訜釡囟纫话阍?8(TC，所以加熱爐的溫度要稍大于18(TC，而電池直接進(jìn)入 該溫度的加熱爐，急劇的溫度變化會使電池的表面應(yīng)力產(chǎn)生很大的變化，嚴(yán)重時(shí)會發(fā)生碎 片現(xiàn)象。所以需要尋找一種合適的加熱裝置對太陽能電池進(jìn)行加熱，而不會對太陽能電池 造成損害。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要提供一種在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對太陽能電池進(jìn) 行沉積前的加熱裝置，該裝置能夠?qū)μ柲茈姵剡M(jìn)行循序漸進(jìn)的分級加熱，不會導(dǎo)致電池 的表面應(yīng)力產(chǎn)生過大的變化和造成太陽能電池?fù)p害。 本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的該加熱裝置包括并排設(shè)置的三個(gè)加熱箱、電池 掛片箱、傳送導(dǎo)軌，所述的傳送導(dǎo)軌設(shè)置在兩個(gè)加熱箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導(dǎo)軌 上。 所述的前面加熱箱的加熱溫度設(shè)置為6(TC，中間加熱箱的加熱溫度設(shè)置為 12(TC，后面加熱箱的加熱溫度設(shè)置為180°C。 本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)使得太陽能電池在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中 沉積PIN層前對太陽能電池逐步加熱，不會導(dǎo)致電池的表面應(yīng)力產(chǎn)生過大的變化和造成太 陽能電池?fù)p害。

圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本實(shí)用新型側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式由附圖所示該加熱裝置包括并排設(shè)置的三個(gè)加熱箱1、2、3電池掛片箱4、傳送導(dǎo) 軌5，所述的傳送導(dǎo)軌5設(shè)置在兩個(gè)加熱箱1、2、3的上面，電池掛片箱4掛裝在傳送導(dǎo)軌5 上。 所述的加熱箱1的加熱溫度設(shè)置為60°C ，加熱箱2的加熱溫度設(shè)置為120°C ，加熱箱3的加熱溫度設(shè)置為180°C。 工作過程描述如下電池被裝在電池掛片箱4內(nèi)，電池掛片箱4在傳送導(dǎo)軌5的作 用下運(yùn)動，在進(jìn)行等離子體化學(xué)氣相沉積PIN層之前，電池溫度需要達(dá)到大約18(TC，所以 對其進(jìn)行加熱，加熱過程如下先通過第一個(gè)加熱箱1對其進(jìn)行加熱，使太陽能電池升溫至 60°C ，再通過第二個(gè)加熱箱2，升溫至120°C ，最后進(jìn)入第三個(gè)加熱箱3進(jìn)行加熱，從第三個(gè) 加熱箱3出來以后，溫度達(dá)到18(TC，達(dá)到對太陽能電池加熱的目的，然后就可以很安全的 進(jìn)入到沉積倉室中。
權(quán)利要求一種等離子體化學(xué)氣相沉積前的太陽能電池加熱裝置，其特征在于該加熱裝置包括并排設(shè)置的三個(gè)加熱箱(1)、(2)、(3)電池掛片箱(4)、傳送導(dǎo)軌(5)，所述的傳送導(dǎo)軌(5)設(shè)置在兩個(gè)加熱箱(1)、(2)、(3)的上面，電池掛片箱(4)掛裝在傳送導(dǎo)軌(5)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體化學(xué)氣相沉積前的太陽能電池加熱裝置，其特 征在于所述的加熱箱(1)的加熱溫度設(shè)置為6(TC，加熱箱(2)的加熱溫度設(shè)置為120°C， 加熱箱(3)的加熱溫度設(shè)置為1S(TC。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種等離子體化學(xué)氣相沉積前的太陽能電池加熱裝置，該加熱裝置包括并排設(shè)置的三個(gè)加熱箱、電池掛片箱、傳送導(dǎo)軌，所述的傳送導(dǎo)軌設(shè)置在兩個(gè)加熱箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導(dǎo)軌上。本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)使得太陽能電池在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中沉積PIN層前對太陽能電池逐步加熱，不會導(dǎo)致電池的表面應(yīng)力產(chǎn)生過大的變化和造成太陽能電池?fù)p害。
文檔編號H01L31/18GK201532961SQ20092009471
公開日2010年7月21日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者劉萬學(xué), 劉志才, 張兵, 朱艷偉, 楊繼澤, 王德宏, 鐘福建, 魏含芳 申請人:吉林慶達(dá)新能源電力股份有限公司