技術(shù)編號：7201208
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制作工藝中的熱處理設(shè)備，特別涉及一種快速熱退火機(jī)臺o背景技術(shù)在半導(dǎo)體加工過程中，需要將晶片(wafer)放置在晶片盒(cassette)中，然后 將晶片盒放置在機(jī)臺上進(jìn)行熱退火處理。目前，美國Mattson公司生產(chǎn)的快速熱退火 RTP 2800機(jī)臺，在其放置晶片盒的平臺(port)上設(shè)置有三個晶片盒傳感器(Cassette Sensor)，用來探測晶片盒是否已放置在了平臺上以及是否放置平穩(wěn)。如圖l所示，三個晶 片盒傳感器分別位于平臺的三...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。