技術(shù)編號(hào)：7201621
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及石英制品領(lǐng)域，特別是涉及用于集成電路半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用的石 英保溫筒。背景技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路芯片生產(chǎn)線中，石英制品以其優(yōu)越的物理化學(xué)性能，得到了廣 泛的應(yīng)用。如石英舟，石英鐘，石英方箱，石英保溫筒等，隨著信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)石英 制品的市場(chǎng)需求與日俱增。石英保溫筒用于支撐放置裝有半導(dǎo)體芯片的石英舟，由于處于大生產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán) 境中，半導(dǎo)體芯片受環(huán)境的影響，其溫度會(huì)發(fā)生變化，石英保溫筒使半導(dǎo)體芯片的散熱更 慢，使處于相對(duì)穩(wěn)定的恒溫狀態(tài)下，因此石...
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