專利名稱：石英保溫筒的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及石英制品領域，特別是涉及用于集成電路半導體芯片生產(chǎn)用的石 英保溫筒。
背景技術：
在半導體集成電路芯片生產(chǎn)線中，石英制品以其優(yōu)越的物理化學性能，得到了廣 泛的應用。如石英舟，石英鐘，石英方箱，石英保溫筒等，隨著信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對石英 制品的市場需求與日俱增。石英保溫筒用于支撐放置裝有半導體芯片的石英舟，由于處于大生產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán) 境中，半導體芯片受環(huán)境的影響，其溫度會發(fā)生變化，石英保溫筒使半導體芯片的散熱更 慢，使處于相對穩(wěn)定的恒溫狀態(tài)下，因此石英保溫筒的結構必須簡單，且保溫效果好。
發(fā)明內(nèi)容針對上述領域中的不足，本實用新型提供一種石英保溫筒，其結構簡單，保溫效果 好，成本低。石英保溫筒，包括水平的石英天板和石英受臺，以及固定于石英天板和石英受臺 之間的至少三根石英支撐棒，其特征在于在石英天板和石英受臺之間固定有若干塊水平 的不透明板，所述石英天板、石英受臺，不透明板的中心在同一垂直線上，所述石英受臺下 表面有石英支撐柱，所述石英天板上表面有石英支撐柱。所述石英天板、石英受臺，不透明板為水平的圓形板。所述石英支撐棒為三根，分別位于以垂直線為中心的圓周上。石英支撐棒垂直于石英天板、石英受臺、不透明板。所述不透明板之間等距設置。所述不透明板有10-15塊。所述石英受臺下表面的石英支撐柱為四個大基準釘，分布在與石英受臺同心的圓 周上。所述石英天板上表面的支撐柱為四個大基準釘和四個小基準釘，四個大基準釘分 布在與石英天板同心的圓周上，四個小基準釘分布在與石英天板同心的另一圓周上。所述石英天板、石英受臺，不透明板的中心有一個圓孔。本實用新型是放置在半導體芯片的生產(chǎn)線上，因此，在石英保溫筒的外周采用的 均為石英材料，如石英天板、石英受臺，石英支撐棒以及石英支撐柱，而在石英天板和石英 受臺的中間設置有不透明板，降低了成本，且本保溫筒的設計非常簡潔，采用多層不透明板 使得保溫效果得到提高。石英天板、石英受臺，不透明板采用圓形板的話，整個石英保溫筒看起來就象是一 個圓柱筒，各個板面的加工也很方便。石英受臺下表面的石英支撐柱采用四個大基準釘，用于支撐整個石英保溫筒及保溫筒上的被支撐物如石英舟等，石英天板上表面的支撐柱為四個大基準釘和四個小基準 釘，用于支撐固定其表面的石英舟，配合生產(chǎn)線的使用。石英天板、石英受臺，不透明板的中心有一個圓孔，用于插入專用的溫度檢測儀，隨時檢測石英保溫筒內(nèi)的溫度情況。本實用新型石英保溫筒，結構簡單，造價低，保溫效果好，值得推廣使用。
圖1本實用新型主視圖，圖2本實用新型俯視圖，圖3本實用新型仰視圖，圖4圖1中A-A向視圖，圖中各標號列示如下1-石英天板，2-石英受臺，3-石英支撐棒，4-大基準釘，5-小基準釘，6_不透明 板，7-孔。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步的詳細說明。石英保溫筒，包括水平的圓形石英天板1和圓形石英受臺2，以及固定于石英天板 和石英受臺之間的三根石英支撐棒3，在石英天板1和石英受臺2之間固定有13塊水平的 不透明板6，所述石英天板1、石英受臺2，不透明板6的中心在同一垂直線上，三根石英支 撐棒3分別位于以垂直線為中心的圓周上，石英受臺2下表面有四個大基準釘4，石英天板 1上表面有四個大基準釘4和四個小基準釘5，這些基準釘均為石英制品。本實用新型是放 置在半導體芯片的生產(chǎn)線上，因此，在石英保溫筒的外周采用的均為石英材料，如石英天板 1、石英受臺2，石英支撐棒3以及石英基準釘，而在石英天板1和石英受臺2的中間設置有 不透明板6，降低了成本，且本保溫筒的設計非常簡潔，采用多層不透明板6使得保溫效果 得到提高。石英受臺2下表面的四個大基準釘4，用于支撐整個石英保溫筒及保溫筒上的被 支撐物如石英舟等，石英天板1上表面的四個大基準釘4和四個小基準釘5，用于支撐固定 其表面的石英舟，配合生產(chǎn)線的使用。石英天板1和石英受臺2可以是其它多邊形，本實施例優(yōu)選圓形；石英支撐棒3也 可以是多根，但為了支撐穩(wěn)固，事實上，至少需要3根，不透明板6可以根據(jù)保溫的需要，設 置多塊，優(yōu)選是10-15塊，本實施例采用13塊，不透明板6之間的間距設置為等間距。大基 準釘4，小基準釘5都是起支撐作用的，為了支撐穩(wěn)固，其分布在以上述垂直線為圓心的不 同圓周上。所述石英天板1、石英受臺2，不透明板6的中心有一個孔7，用于插入專用的溫度 檢測儀，隨時檢測石英保溫筒內(nèi)的溫度情況。本實用新型石英保溫筒，結構簡單，造價低，保溫效果好，值得推廣使用。
權利要求石英保溫筒，包括水平的石英天板和石英受臺，以及固定于石英天板和石英受臺之間的至少三根石英支撐棒，其特征在于在石英天板和石英受臺之間固定有若干塊水平的不透明板，所述石英天板、石英受臺，不透明板的中心在同一垂直線上，所述石英受臺下表面和石英天板上表面有石英支撐柱。
2.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英天板、石英受臺，不透明 板為水平的圓形板。
3.根據(jù)權利要求2所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英支撐棒為三根，分別位于 以垂直線為中心的圓周上。
4.根據(jù)權利要求3所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英支撐棒垂直于石英天板、 石英受臺、不透明板。
5.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述不透明板之間等距設置。
6.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述不透明板有10-15塊。
7.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英受臺下表面的石英支撐 柱為四個大基準釘，分布在與石英受臺同心的圓周上。
8.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英天板上表面的支撐柱為 四個大基準釘和四個小基準釘，四個大基準釘分布在與石英天板同心的圓周上，四個小基 準釘分布在與石英天板同心的另一圓周上。
9.根據(jù)權利要求1所述的石英保溫筒，其特征在于所述石英天板、石英受臺，不透明 板的中心有一個圓孔。
專利摘要本實用新型涉及“石英保溫筒”，屬于石英制品領域。石英保溫筒，包括水平的石英天板和石英受臺，以及固定于石英天板和石英受臺之間的至少三根石英支撐棒，其特征在于在石英天板和石英受臺之間固定有若干塊水平的不透明板，所述石英天板、石英受臺，不透明板的中心在同一垂直線上，所述石英受臺下表面和石英天板上表面有石英支撐柱。本實用新型石英保溫筒，結構簡單，造價低，保溫效果好，值得推廣使用。
文檔編號H01L21/673GK201556609SQ200920277658
公開日2010年8月18日 申請日期2009年12月4日 優(yōu)先權日2009年12月4日
發(fā)明者盧愛國, 呂炳益, 張忠恕, 李翔星, 楊繼盛, 邊占寧, 陳強, 韋冬寒 申請人:北京凱德石英塑料制品有限公司