技術(shù)編號：7211472
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及利用激光對半導(dǎo)體薄膜進行退火(以下稱為激光退火)的方法和進行激光退火的激光裝置(該裝置包括激光器和將從激光器輸出的激光引導(dǎo)到處理對象的光學(xué)系統(tǒng))。本發(fā)明還涉及利用包括激光退火步驟的制造工藝制造的半導(dǎo)體器件以及該制造工藝方法。其中該半導(dǎo)體器件包括如液晶顯示器和EL顯示器之類的電子光學(xué)器件和將電子光學(xué)器件作為其部件之一的電子裝置。近年來，薄膜晶體管(以下稱為TFTs)有了很大的發(fā)展，并且使用多晶硅薄膜(polysilicon films)作為結(jié)晶半導(dǎo)...
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