技術(shù)編號：7212034
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體裝置制造中的故障檢測，更為具體地說，涉及一種用于確定半導(dǎo)體裝置中開路和短路的線路測試結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 線路測試結(jié)構(gòu)通常形成于半導(dǎo)體晶片的切口(表層)區(qū)域，以便識別各種可能指示處理問題的電路故障(例如，開路和短路)。此類測試結(jié)構(gòu)應(yīng)該優(yōu)選地允許盡可能多的測試，使用最少的區(qū)域，且同時最少“遺漏(即，忽略的缺陷)”地檢測所有故障，以促進(jìn)最大化短路和開路的效率。此外，這種結(jié)構(gòu)優(yōu)選地允許在可能的情況下同時實現(xiàn)開路和短路測試，還允許施加用于獲得非常精細(xì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。