專利名稱：確定半導(dǎo)體裝置中開路和短路的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體裝置制造中的故障檢測(cè)，更為具體地說，涉及一種用于確定半導(dǎo)體裝置中開路和短路的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
線路測(cè)試結(jié)構(gòu)通常形成于半導(dǎo)體晶片的切口(表層)區(qū)域，以便識(shí)別各種可能指示處理問題的電路故障(例如，開路和短路)。此類測(cè)試結(jié)構(gòu)應(yīng)該優(yōu)選地允許盡可能多的測(cè)試，使用最少的區(qū)域，且同時(shí)最少“遺漏(即，忽略的缺陷)”地檢測(cè)所有故障，以促進(jìn)最大化短路和開路的效率。此外，這種結(jié)構(gòu)優(yōu)選地允許在可能的情況下同時(shí)實(shí)現(xiàn)開路和短路測(cè)試，還允許施加用于獲得非常精細(xì)幾何結(jié)構(gòu)的交錯(cuò)相移掩模(ALT-PSM)。
某些現(xiàn)有的測(cè)試結(jié)構(gòu)(例如，梳狀結(jié)構(gòu))配置為檢測(cè)短路，而不是開路。此外，實(shí)際在梳狀結(jié)構(gòu)中存在的一些短路可能在存在其他故障(例如，開路)時(shí)被遺漏。而另外一些測(cè)試結(jié)構(gòu)，例如，蛇狀測(cè)試結(jié)構(gòu)，配置為檢測(cè)開路而非短路。當(dāng)蛇狀測(cè)試結(jié)構(gòu)中存在短路時(shí)，此結(jié)構(gòu)中的開路可能就被遺漏。
因此，希望測(cè)試結(jié)構(gòu)能夠檢測(cè)由于各種類型的故障或故障組合而出現(xiàn)的開路或短路，而沒有或幾乎沒有出現(xiàn)“遺漏”。沒有開路和短路的測(cè)試結(jié)構(gòu)在其用于參數(shù)測(cè)試(例如，線路電阻、電容)之前可由電子開路和短路測(cè)試檢測(cè)而使其有效。此外，配置為允許很少遺漏開路和短路的測(cè)試結(jié)構(gòu)允許此結(jié)構(gòu)為更為有用地處理監(jiān)視器，因?yàn)閰?shù)度量不太可能受故障影響，因?yàn)楣收媳旧韺⒈桓叨瓤尚诺貦z測(cè)出來。還希望此類結(jié)構(gòu)可以配置為與ALT-PSM的使用一致。

發(fā)明內(nèi)容
現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)和不足可以通過包括以交錯(cuò)螺旋圖形配置的多條線路的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)克服或緩解。其中這多條線路中至少一條被配置為用于開路測(cè)試，至少一對(duì)被配置為用于其之間的短路測(cè)試。
在其他實(shí)施例中，用于形成線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的方法包括形成多條交錯(cuò)螺旋圖形的線路，在這多條線路中配置至少一條用于其中開路測(cè)試的線路，配置至少一對(duì)用于其間短路測(cè)試的線路。


參考示例附圖，其中類似的元件以類似的數(shù)字標(biāo)出圖1是用于檢測(cè)短路的常規(guī)配置的梳狀線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是用于檢測(cè)開路的常規(guī)配置的蛇狀線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；圖3是用于檢測(cè)短路和開路的常規(guī)配置的混合梳狀/蛇狀線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4(a)是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4(b)是圖4(a)的測(cè)試結(jié)構(gòu)的可選實(shí)施例的示意圖；圖5(a)是根據(jù)本發(fā)明的可選實(shí)施例的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；圖5(b)是圖5(a)的測(cè)試結(jié)構(gòu)的可選實(shí)施例的示意圖；以及圖5(c)示出了可以用于形成圖5(b)的測(cè)試結(jié)構(gòu)的示例ALT-PSM掩模。
具體實(shí)施例方式
此處所揭示的是可以在其中有效檢測(cè)開路和短路的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)。簡(jiǎn)單地說，該測(cè)試結(jié)構(gòu)的示例性實(shí)施例利用交錯(cuò)且向內(nèi)盤旋的圖形來測(cè)試開路和短路。在下文中將會(huì)明白，螺旋結(jié)構(gòu)至少在兩個(gè)方面非常高效。首先，螺旋結(jié)構(gòu)很難遺漏故障。其次，由于螺旋結(jié)構(gòu)中的每條線都可以用于測(cè)試開路和短路，它在面積及極大降低短路或開路遺漏的可能性上會(huì)較之傳統(tǒng)的蛇狀和梳狀測(cè)試圖形更為有效。
此外(除了特別適于施加交錯(cuò)相掩模之外)，交錯(cuò)螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)還具有如線寬參數(shù)處理監(jiān)視器及可擴(kuò)展到參數(shù)測(cè)量(例如，電阻和電容)的優(yōu)點(diǎn)。該方法特別適用于測(cè)試FET柵和金屬鍍層，也可用于諸如柵導(dǎo)體到柵導(dǎo)體、金屬線之間以及/或柵導(dǎo)體到擴(kuò)散測(cè)量的線路電阻和電容測(cè)量的之類的參數(shù)測(cè)試。
為了檢測(cè)開路和短路，示例性實(shí)施例中的雙螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)可以主要實(shí)現(xiàn)在一個(gè)平面上，但是可以在其他平面上實(shí)現(xiàn)少量的布線。可選的是，雙螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)可以單獨(dú)在一個(gè)平面上建立，但是需要或是主要設(shè)計(jì)為開路測(cè)試結(jié)構(gòu)(作為蛇狀結(jié)構(gòu)的替代)，或是設(shè)計(jì)為短路測(cè)試結(jié)構(gòu)(作為梳狀結(jié)構(gòu)的替代)。
先參看圖1，其中示出了用于檢測(cè)短路的常規(guī)配置的梳狀測(cè)試結(jié)構(gòu)100。如圖所示，梳狀結(jié)構(gòu)100包括一個(gè)第一網(wǎng)102和第二網(wǎng)104，它們具有互鎖的指狀物，但是名義上是相互絕緣的。使用本領(lǐng)域熟知的測(cè)試裝置在片106檢測(cè)第一網(wǎng)102，而在片108檢測(cè)第二網(wǎng)104。結(jié)構(gòu)100名義上可以檢測(cè)出位于如110或112的短路，而不能檢測(cè)位于如114或116的開路。此外，116上出現(xiàn)的開路實(shí)際上會(huì)導(dǎo)致測(cè)試結(jié)構(gòu)100無法檢測(cè)位于112上的短路，由此出現(xiàn)遺漏的例子。因此，結(jié)構(gòu)100的故障組合將導(dǎo)致短路檢測(cè)的遺漏。
盡管如圖1所示的梳狀測(cè)試結(jié)構(gòu)可以用于測(cè)量片106和108之間的電容(假設(shè)沒有短路)，但是任何開路的存在就意味著測(cè)定的電容不代表導(dǎo)線間的平均電容，由此這種參數(shù)測(cè)量與要監(jiān)視的實(shí)際處理的關(guān)系便不確定了。那么，這也降低了該結(jié)構(gòu)的可用性，可能帶來額外的工作，如在將測(cè)試結(jié)構(gòu)用作處理監(jiān)視器之前來檢查測(cè)試結(jié)構(gòu)以確保其完整性。另外，由于使用交錯(cuò)相移掩模(ALT-PSM)來構(gòu)圖梳狀測(cè)試結(jié)構(gòu)，從梳狀的線路端處到交錯(cuò)的目標(biāo)都必須允許多余的空間。
圖2示出了用于檢測(cè)開路的常規(guī)配置的蛇狀測(cè)試結(jié)構(gòu)200。與圖1的梳狀結(jié)構(gòu)100相反，圖2的蛇狀測(cè)試結(jié)構(gòu)200具有單個(gè)的網(wǎng)徑202，它名義上是電連續(xù)的，并且在片204和206上探測(cè)。這種蛇狀結(jié)構(gòu)可以用于檢測(cè)如在208和210示出的開路，但無法配置為檢測(cè)如在212和214的短路。此外，212處存在的短路實(shí)際上可導(dǎo)致測(cè)試結(jié)構(gòu)200無法檢測(cè)位于210的開路，由此出現(xiàn)檢測(cè)遺漏的又一個(gè)例子。
假設(shè)蛇狀測(cè)試結(jié)構(gòu)200不存在故障，則它可以用作電阻、線寬的處理監(jiān)視和/或線路截面積監(jiān)視的參數(shù)測(cè)試。但是，結(jié)構(gòu)200作為處理監(jiān)視器的用處在如212和214出現(xiàn)不可檢測(cè)的短路或在如210出現(xiàn)漏檢的開路(由于212出現(xiàn)的短路)時(shí)則被削弱。如同梳狀結(jié)構(gòu)100的情況，這種故障可以導(dǎo)致額外工作，通過在用作處理監(jiān)視裝置之前檢查測(cè)試結(jié)構(gòu)200以確保其完整性。
現(xiàn)在參看圖3，仍示出了另一個(gè)提供一些測(cè)試開路(在其中某些位置)和短路(在其中某些位置)功能的常規(guī)配置的測(cè)試結(jié)構(gòu)300。如圖所示，混合測(cè)試結(jié)構(gòu)300包括梳狀組件(即，線302和304)和蛇狀組件(即，線306)。蛇狀線路306在相互嚙合的線路302和304之間延伸。出于測(cè)試目的，可以分別在片308和310上探測(cè)線路302和304，而可以在片312和314上探測(cè)線路306?？梢岳斫?，盡管結(jié)構(gòu)300可以檢測(cè)某些開路和短路，但并不是結(jié)構(gòu)300中的所有導(dǎo)線都可以同時(shí)檢測(cè)開路和短路。
特別是，結(jié)構(gòu)300可以檢測(cè)如蛇狀線路306上316所示的開路(通過探測(cè)片312和314)，但不可以檢測(cè)318或320處的開路，因?yàn)樗鼈兾挥谑釥罹€路302。另一方面，結(jié)構(gòu)300可以檢測(cè)如在322和324所示的短路。但是，在發(fā)現(xiàn)320處的開路的情況下可能遺漏如在326處的短路。因此，盡管混合測(cè)試結(jié)構(gòu)300在一定程度上可以同時(shí)檢測(cè)開路和短路，但是仍存在未檢測(cè)出的故障組合。此外，結(jié)構(gòu)300中的每條線路都可以進(jìn)行短路測(cè)試，而僅有一半的線路可用于開路測(cè)試，因?yàn)闊o法在線路302和304檢測(cè)開路。
總之，圖1-3所示的任何一種常規(guī)結(jié)構(gòu)(即，梳狀、蛇狀或混合)都無法提供將所有導(dǎo)線用于開路和短路測(cè)試的功能，這樣便限制了將開路和短路測(cè)試有效封裝在小的區(qū)域內(nèi)。此外，上述測(cè)試結(jié)構(gòu)的每一種都容易遺漏故障，不管是系統(tǒng)的(因?yàn)椴皇窃谒芯€路上測(cè)試所有故障)還是與其他故障的組合(由此限制將此類結(jié)構(gòu)用于處理監(jiān)視目的)。
相應(yīng)地，圖4(a)是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)400的示意圖。如圖所示，測(cè)試結(jié)構(gòu)400的特征在于交錯(cuò)且向內(nèi)盤旋的線402和404。在描述的實(shí)施例中，將螺旋線402和404形成于在晶片中限定的第一布線平面中，將用于線路402和404的探測(cè)片406和408同樣形成在所述平面中。當(dāng)線路402和404朝向第一布線平面的中心位置向內(nèi)螺旋，它們名義上彼此絕緣。最后，線路402與第一通路410相交，而線路404與第二通路412相交。通路410和412延伸到第二布線平面，后者可以位于相對(duì)于第一布線平面的下部金屬鍍層或相對(duì)于第一布線平面的上部金屬鍍層。
換句話說，通路410和412可以向上或向下延伸到與包含線路402和404的金屬層不同的金屬層。在這兩種情況下，線路414(位于不同于線路402和404的線路層)將通路410連接到探測(cè)片416。相對(duì)地，另一線路418將通路412連接到探測(cè)片420。注意，線路414、418和探測(cè)片416、420優(yōu)選位于同一金屬層。如此配置，測(cè)試結(jié)構(gòu)400一方面可以為其中出現(xiàn)的開路提供完整而全面的測(cè)試。第一(名義上連通的)布線路徑由片406、線402、通路410、線路414和片416限定。這樣，第一布線路徑上的開路可以通過在片406和416上適當(dāng)?shù)奶綔y(cè)檢測(cè)出來。此外，第二(名義上為連通的)布線路徑由片408、線404、通路412、線路418和片420限定。該第二布線路徑上的開路可以通過在片408和420的適當(dāng)探測(cè)檢測(cè)出來。
此外，圖4(a)的測(cè)試結(jié)構(gòu)還提供通過在片406和408的探測(cè)對(duì)螺旋配置中的任何兩個(gè)相鄰線路之間的短路的完整檢測(cè)。即使在檢測(cè)出開路的位置(例如在422)，也不會(huì)妨礙檢測(cè)出在424處的短路，因?yàn)榭梢酝ㄟ^在片408和416的探測(cè)識(shí)別短路。
注意，此處，將交錯(cuò)螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)400描述為以直角向內(nèi)盤旋。但是，也可以考慮其他螺旋配置，例如圓形螺旋或以其他角度盤旋(例如，形成八邊形測(cè)試結(jié)構(gòu)的45度螺旋)。直角方形螺旋配置的一個(gè)特殊優(yōu)點(diǎn)是構(gòu)圖相對(duì)簡(jiǎn)單及與ALT-PSM處理兼容。因?yàn)榻诲e(cuò)的雙線，在ALT-PSM使用領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將這種類型的測(cè)試結(jié)構(gòu)制作為更精細(xì)的幾何形狀，因?yàn)榇祟惤Y(jié)構(gòu)使其自身適于兩種類型的交錯(cuò)掩模區(qū)域。
圖4(b)是線路測(cè)試結(jié)構(gòu)450的可選實(shí)施例的示意圖，它提供了有效的開路和短路檢測(cè)，但具有比圖4(a)的實(shí)施例400更少的“平面外”線路。特別是，測(cè)試結(jié)構(gòu)450提供形成于在晶片中限定的第一布線平面上的交錯(cuò)且向內(nèi)盤旋的線452、454、456和458，各個(gè)探測(cè)片460、462、464和466也同樣形成于所述平面上。當(dāng)線路452、454、456和458朝第一布線平面的中心位置向內(nèi)盤旋時(shí)，它們最初(名義上)彼此絕緣。但是，第一對(duì)線路(例如，線路454和458)最后在結(jié)構(gòu)450的中心附近的第一布線平面中彼此相交。結(jié)果，第一(名義上連通的)布線路徑由片462、線454、線458和片466定義。則該第一布線路徑整個(gè)位于第一布線平面內(nèi)。
相反，第二對(duì)線路(例如，線460和464)朝結(jié)構(gòu)450的中心向內(nèi)盤旋，直至它們到達(dá)線454和458間連接的相對(duì)端。此處，通路468和470分別將線路454和458繼續(xù)到第二布線平面，所述第二布線平面可以位于包含螺旋圖形的第一布線平面的上方或下方。最后，小的線路突出472用于連接第二布線平面的線454和458。因此，第二(名義上為連通的)布線路徑由片460、線452、通路468、突出472、通路470、線456和片464定義。該第二布線路徑大部分位于第一布線平面內(nèi)，但是有一些位于第二布線平面(例如，突出472)，以便不造成短路地越過第一布線路徑。
從功能方面，圖4(b)的測(cè)試結(jié)構(gòu)450提供了和圖4(a)的測(cè)試結(jié)構(gòu)400同樣有效及完整的開路和短路測(cè)試功能。例如，對(duì)線454/458的開路檢查通過對(duì)片462、466的探測(cè)實(shí)現(xiàn)，而對(duì)線452/456的開路檢查通過對(duì)片460/464的探測(cè)實(shí)現(xiàn)。任何兩個(gè)相鄰線路間的短路可以通過相應(yīng)地探測(cè)第一布線路徑的片和第二布線路徑的片來檢測(cè)。如同測(cè)試結(jié)構(gòu)400的情況，測(cè)試結(jié)構(gòu)450也特別適合通過ALT-PSM處理有效實(shí)施。根據(jù)探測(cè)測(cè)試裝置的性質(zhì)和配置，更有利的是，將四個(gè)探測(cè)片置于同一布線平面(如圖4(b)所示)，或?qū)⑵怪狈胖?如圖4(a)所示)。
盡管圖4(a)和4(b)的實(shí)施例提供了完整、有效的開路和短路測(cè)試功能(除了處理監(jiān)視功能)，但是結(jié)構(gòu)的至少部分在單獨(dú)的布線平面形成，而不是相對(duì)于主交錯(cuò)螺旋線路形成。在希望在單個(gè)布線層制作整個(gè)結(jié)構(gòu)的情況下(取決于測(cè)試結(jié)構(gòu)位于的特定金屬層)，還可以使用交錯(cuò)螺旋配置。但是，在此過程中，會(huì)導(dǎo)致降低有關(guān)開路測(cè)試或短路測(cè)試的完整功能。
例如，圖5(a)為根據(jù)本發(fā)明的可選實(shí)施例的用于提供有效開路和短路檢測(cè)的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)500的示意圖。注意，交錯(cuò)螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)500基本與圖4(b)的實(shí)施例450相同，不同的是未提供平面外的布線。因此，盡管線454和458仍限定名義上連通的線路，而線452和456則彼此絕緣(也與線454和458絕緣)。盡管本實(shí)施例仍提供任何相鄰線路對(duì)之間的基本完全的短路測(cè)試，但是僅線454和458配置用于開路測(cè)試。此外，故障的組合也可能導(dǎo)致一個(gè)或多個(gè)此類故障遺漏檢測(cè)。在該意義上，測(cè)試結(jié)構(gòu)500提供了與圖3的混合結(jié)構(gòu)300類似的功能。但是，交錯(cuò)螺旋結(jié)構(gòu)500仍表現(xiàn)了相比于常規(guī)混合結(jié)構(gòu)在區(qū)域效率和與使用ALT-PSM處理的有效實(shí)施的兼容性方面的改善。
最后，如果相比于整個(gè)范圍的短路測(cè)試，更希望整個(gè)范圍的開路測(cè)試(假設(shè)整個(gè)結(jié)構(gòu)在單個(gè)布線平面內(nèi)形成)，則圖5(b)為根據(jù)本發(fā)明的可選實(shí)施例的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)550的示意圖。如圖所示，線452和458限定了第一名義上連通的線路，而線454和456限定了第二名義上連通的線路。如此配置，整個(gè)螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)550可以測(cè)試開路。本實(shí)施例的不利之處在于僅可以檢測(cè)相鄰線路之間的一半數(shù)量的可能短路。例如，線452和454之間的短路或線456和458之間的短路是可以檢測(cè)的。但是，線454和456或452和458之間的短路則檢測(cè)不出。
此外，雖然圖5(a)和圖5(b)的單個(gè)布線平面實(shí)施例不提供完整范圍的開路和短路測(cè)試，此處不同于圖4(a)和圖4(b)的多布線平面實(shí)施例，但是仍具有對(duì)圖3的常規(guī)混合實(shí)施例的改善。其極大地降低了遺漏開路或短路的幾率，此外，在雙螺旋測(cè)試結(jié)構(gòu)中的電阻測(cè)量更可靠。不僅在常規(guī)混合結(jié)構(gòu)的梳狀部分中遺漏開路，而且梳狀結(jié)構(gòu)中的開路還導(dǎo)致遺漏在混合結(jié)構(gòu)中的梳狀結(jié)構(gòu)和蛇狀結(jié)構(gòu)之間的短路。相比之下，必定存在造成圖5(b)的兩個(gè)線路連接的故障，例如，切換偶數(shù)次而遺漏檢測(cè)。該方案相比于常規(guī)梳狀、蛇狀或混合測(cè)試結(jié)構(gòu)的情況可以更少地遺漏。
如上所述，用于測(cè)試結(jié)構(gòu)實(shí)施例的交錯(cuò)螺旋配置與使用ALT-PSM處理的有效實(shí)施兼容。例如，圖5(c)中除了示出一組ALT-PSM掩模的示例性配置(如其中的圖例所示，包括塊掩模、180度相移掩模及一個(gè)0度相移掩模)，還示出了圖5(b)的測(cè)試結(jié)構(gòu)。
盡管已經(jīng)從各個(gè)芯片制造水平方面揭示了測(cè)試結(jié)構(gòu)實(shí)施例，仍然需要理解，這些結(jié)構(gòu)也可以與其他類型的電子封裝，例如，印刷電路板或給定產(chǎn)品的特定電子監(jiān)視器(例如，用于檢測(cè)腐蝕或運(yùn)輸過程的其他情況或現(xiàn)場(chǎng)使用)結(jié)合使用。
雖然通過優(yōu)選實(shí)施例或其他實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的那些技術(shù)人員將理解，可以在不背離本發(fā)明范圍的前提下做出各種改變及用對(duì)等物替代元件。此外，可以在不背離本發(fā)明基本范圍的前提下對(duì)本發(fā)明所介紹的方法進(jìn)行修改以適應(yīng)特定環(huán)境或事物。因此，本發(fā)明旨在不限于公開為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的最佳模式的特定實(shí)施例，而是包括落入所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)所有實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括多條被配置為交錯(cuò)螺旋圖形的線路；所述多條線路中的至少一條線路，其被配置為用于測(cè)試其中的開路；所述多條線路中的至少一對(duì)線路，其被配置為用于測(cè)試其之間的短路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，其中所述多條線路的每一條都被配置為從與其連接的相應(yīng)探測(cè)片向內(nèi)盤旋。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，其中所述多個(gè)線路以直角向內(nèi)盤旋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，還包括第一布線平面，其包含在其中形成的所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路；第二布線平面，其具有至少一條導(dǎo)線，所述導(dǎo)線通過至少一個(gè)通路連接到所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路的至少一條所述線路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，還包括第一布線路徑，所述第一布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第一通路、在所述第二布線平面內(nèi)的第一導(dǎo)線、以及在所述第二布線平面內(nèi)的第三探測(cè)片；以及第二布線路徑，所述第二布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第二探測(cè)片、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形路線、第二通路、在所述第二布線平面內(nèi)的第二導(dǎo)線、以及在所述第二布線平面內(nèi)的第四探測(cè)片。
6.根據(jù)權(quán)利要求4中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，還包括第一布線路徑，所述第一布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第一通路、在所述第二布線平面內(nèi)的導(dǎo)線、第二通路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、以及在所述第一布線平面內(nèi)的第二探測(cè)片；以及第二布線路徑，所述第二布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第三探測(cè)片、第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、以及在所述第一布線平面內(nèi)的第四探測(cè)片。
7.根據(jù)權(quán)利要求1中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，還包括第一布線路徑，所述第一布線路徑包括第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第二探測(cè)片；第二布線路徑，所述第二布線路徑包括第三探測(cè)片和第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路；以及第三線路，所述第三線路包括第四探測(cè)片和第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路；所述第一、第二和第三線路中的每一個(gè)都在單個(gè)布線平面中形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，其中所述交錯(cuò)螺旋圖形線路的每一條都被配置為用于測(cè)試相對(duì)于與其相鄰的線路的短路；以及所述第一布線路徑被配置為用于測(cè)試其中的開路。
9.根據(jù)權(quán)利要求1中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，還包括第一布線路徑，所述第一布線路徑包括第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第二探測(cè)片；以及第二布線路徑，所述第二布線路徑包括第三探測(cè)片、第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第四探測(cè)片；以及所述第一和第二布線路徑都在單個(gè)布線平面內(nèi)形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求9中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，其中所述第一和第二布線路徑都被配置為用于測(cè)試其中的開路；以及所述第一和第二交錯(cuò)螺旋圖形線路都被配置為用于測(cè)試相關(guān)于所述第三和第四交錯(cuò)螺旋圖形線路的短路。
11.根據(jù)權(quán)利要求1中的線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，其中所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路在其中沒有開路和短路的情況下被進(jìn)一步配置為用于測(cè)量電阻和電容中的至少一個(gè)。
12.一種用于形成線路測(cè)試結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括形成多條交錯(cuò)螺旋圖形的線路；將所述多條線路中的至少一條線路配置為用于測(cè)試其中的開路；將所述多條線路中的至少一對(duì)線路配置為用于測(cè)試其之間的短路。
13.根據(jù)權(quán)利要求12中的方法，其中所述多條線路中每一條都被配置為從與其連接的相應(yīng)探測(cè)片以直角向內(nèi)盤旋。
14.根據(jù)權(quán)利要求13中的方法，其中通過利用交錯(cuò)相移掩模(ALT-PSM)形成所述多條線路。
15.根據(jù)權(quán)利要求12中的方法，還包括第一布線平面，其包含在其中形成的所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路；第二布線平面，其具有至少一條導(dǎo)線，所述導(dǎo)線通過至少一個(gè)通路連接到所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路的至少一條所述線路。
16.根據(jù)權(quán)利要求15中的方法，還包括配置第一布線路徑，所述第一布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第一通路、在所述第二布線平面內(nèi)的第一導(dǎo)線和在所述第二布線平面內(nèi)的第三探測(cè)片；以及配置第二布線路徑，所述第二布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第二探測(cè)片、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第二通路、在所述第二布線平面內(nèi)的第二導(dǎo)線和在所述第二布線平面內(nèi)的第四探測(cè)片。
17.根據(jù)權(quán)利要求15中的方法，還包括配置第一布線路徑，所述第一布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第一通路、在所述第二布線平面內(nèi)的導(dǎo)線、第二通路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和在所述第一布線平面內(nèi)的第二探測(cè)片；以及配置第二布線路徑，所述第二布線路徑包括在所述第一布線平面內(nèi)的第三探測(cè)片、第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和在所述第一布線平面內(nèi)的第四探測(cè)片。
18.根據(jù)權(quán)利要求12中的方法，還包括配置第一布線路徑，所述第一布線路徑包括第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第二探測(cè)片；配置第二布線路徑，所述第二布線路徑包括第三探測(cè)片和第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路；以及配置第三線路，所述第三線路包括第四探測(cè)片和第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路；將所述第一、第二和第三線路中的每一個(gè)都形成在單個(gè)布線平面中；其中所述交錯(cuò)螺旋圖形線路的每一條都被配置為用于測(cè)試相對(duì)于與其相鄰的線路的短路，所述第一布線路徑被配置為用于測(cè)試其中的開路。
19.根據(jù)權(quán)利要求12中的方法，還包括配置第一布線路徑，所述第一布線路徑包括第一探測(cè)片、第一所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第二所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第二探測(cè)片；以及配置第二布線路徑，所述第二布線路徑包括第三探測(cè)片、第三所述交錯(cuò)螺旋圖形線路、第四所述交錯(cuò)螺旋圖形線路和第四探測(cè)片。將所述第一和第二布線路徑都形成在單個(gè)布線平面內(nèi)；其中所述第一和第二布線路徑都被配置為用于測(cè)試其中的開路，以及所述第一和第二交錯(cuò)螺旋圖形線路都被配置為用于測(cè)試相關(guān)于所述第三和第四交錯(cuò)螺旋圖形線路的短路。
20.根據(jù)權(quán)利要求12中的方法，其中所述多個(gè)交錯(cuò)螺旋圖形線路在其中沒有開路和短路的情況下被進(jìn)一步配置為用于測(cè)量電阻和電容中的至少一個(gè)。
全文摘要
一種線路測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括多條被配置為交錯(cuò)螺旋圖形的線路。所述多條線路中至少一條被配置為用于測(cè)試其中的開路，所述多條線路中至少一對(duì)被配置為用于測(cè)試其間的短路。
文檔編號(hào)H01L21/70GK1953173SQ20061013553
公開日2007年4月25日 申請(qǐng)日期2006年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月19日
發(fā)明者M·E·斯卡曼, 柳澤俊昭 申請(qǐng)人:國際商業(yè)機(jī)器公司