技術(shù)編號：7223790
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明系大致有關(guān)半導(dǎo)體制造，且尤系有關(guān)一種使用與行結(jié)朿(End Of Line;簡稱EOL)相關(guān)的參數(shù)以提供用于處理控制之回饋之方法 及裝置。R尿孜不制造業(yè)中技術(shù)的急速發(fā)展已導(dǎo)致了許多新穎且原創(chuàng)的制造工藝。 現(xiàn)今的制造工藝(尤其是半導(dǎo)體制造工藝)需要許多的重要步驟。這些工 藝步驟通常是極其重要的，因而需要通常被精細調(diào)整的一些輸入，以 便保持適當(dāng)?shù)闹圃炜刂啤０雽?dǎo)體裝置的制造需要一些獨立的工藝步驟，以便從半導(dǎo)體原料 作出封裝的半導(dǎo)體裝置。自半導(dǎo)體材料的起始生長...
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