技術(shù)編號:7224932
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件及其 制造方法。背景技術(shù)使用以氮化鎵(GaN)為首的III-V族氮化物半導(dǎo)體材料(AlxGayIni.x-yN (0《x《l、 0《y《l)制造的藍紫色半導(dǎo)體激光器,是用于通過光盤裝置 實現(xiàn)超高密度記錄的關(guān)鍵器件,現(xiàn)在正達到實用水平。藍紫色半導(dǎo)體激光 器的高輸出化,不僅使光盤的高速寫入成為可能,而且還是向激光顯示器 的應(yīng)用等開拓新的所需的技術(shù)。近年來,作為用于制造氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件所必需的基板,主要...
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