技術(shù)編號(hào):7254067
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種碳化硅半導(dǎo)體器件(100),其包括絕緣膜(126);碳化硅層(109),該碳化硅層進(jìn)一步包括被絕緣膜(126)覆蓋的表面。該表面包括第一區(qū)域(R1)。第一區(qū)域(R1)至少部分地具有第一面取向。該第一面取向是(0-33-8)面、(30-3-8)面、(-330-8)面、(03-3-8)面、(-303-8)面和(3-30-8)面中的任何一個(gè)。專利說明碳化硅半導(dǎo)體器件[0001]本發(fā)明涉及碳化硅半導(dǎo)體器件,更具體地講,涉及包括具有被絕緣膜覆蓋的表面的碳化娃層的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。