技術(shù)編號(hào)：72699
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及其制造工藝，更具體地，涉及具有鐵電電容器的半導(dǎo)體器件及其制造工藝。 背景技術(shù)人們正在作出巨大的努力來發(fā)展鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(FeRAM)，其中，鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器是一種通過利用鐵電膜的極化將信息保存在鐵電電容器中的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器器件。鐵電存儲(chǔ)器是非易失性的，因?yàn)榧词巩?dāng)向其所供應(yīng)的電源被關(guān)斷時(shí)，鐵電存儲(chǔ)器也能保存住信息，因此考慮到實(shí)現(xiàn)高密度集成、高速驅(qū)動(dòng)、高持久性和低電能消耗的存儲(chǔ)器器件的可能性，鐵電存儲(chǔ)器吸引了廣泛的注意。 對(duì)于構(gòu)成鐵電電容器的鐵電膜的材料，使用了具有鈣鈦礦晶體結(jié)構(gòu)的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。