技術(shù)編號(hào):8083900
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器,屬于電子儀器設(shè)備領(lǐng)域,包含一個(gè)整體機(jī)箱,機(jī)箱前面板上設(shè)有匹配器控制顯示部分,電容位置調(diào)節(jié),匹配器控制按鍵,整體機(jī)箱內(nèi)部設(shè)有一塊電路板,電路板上含有一個(gè)進(jìn)行采樣的射頻匹配傳感器,還包含兩個(gè)可變電容與一個(gè)可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分,與該部分相連接的是伺服電機(jī)和匹配控制電路;再連有一個(gè)獨(dú)立的射頻電壓采集電路,采集射頻高壓數(shù)據(jù);將傳感器和射頻電壓兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片。該自動(dòng)匹配器有效地解決了射頻大氣壓等離子放電調(diào)節(jié)困難,放電不穩(wěn)定的問題,達(dá)到匹配速度快和精確...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。