大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器的制造方法
【專利摘要】一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器，屬于電子儀器設(shè)備領(lǐng)域，包含一個(gè)整體機(jī)箱，機(jī)箱前面板上設(shè)有匹配器控制顯示部分，電容位置調(diào)節(jié)，匹配器控制按鍵，整體機(jī)箱內(nèi)部設(shè)有一塊電路板，電路板上含有一個(gè)進(jìn)行采樣的射頻匹配傳感器，還包含兩個(gè)可變電容與一個(gè)可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是伺服電機(jī)和匹配控制電路；再連有一個(gè)獨(dú)立的射頻電壓采集電路，采集射頻高壓數(shù)據(jù)；將傳感器和射頻電壓兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片。該自動(dòng)匹配器有效地解決了射頻大氣壓等離子放電調(diào)節(jié)困難，放電不穩(wěn)定的問(wèn)題，達(dá)到匹配速度快和精確，放電穩(wěn)定。
【專利說(shuō)明】大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于電子儀器設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及到一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器。
【背景技術(shù)】
[0002]用射頻驅(qū)動(dòng)大氣壓下的等離子體放電，在越來(lái)越多的領(lǐng)域引起廣泛重視.包括大氣等離子清洗，大氣等離子改性，大氣等離子鍍膜等。但到目前止沒(méi)有專用的自動(dòng)匹配器。在已有技術(shù)中主要用手動(dòng)的匹配器，它們調(diào)節(jié)困難，放電時(shí)不容易點(diǎn)火和維持穩(wěn)定放電。由于大氣壓放電位置要求得非常精準(zhǔn)，、臨界，手動(dòng)很難把握，容易出現(xiàn)不到位，手微微動(dòng)一下，易出現(xiàn)調(diào)節(jié)過(guò)頭的狀況，需要操作人員非常熟練和有經(jīng)驗(yàn)才能成功放電和維持穩(wěn)定放電。嚴(yán)重阻礙了國(guó)內(nèi)研制大氣壓下放電儀器的發(fā)展.[0003]大氣壓等離子體的微小擾動(dòng)，都會(huì)對(duì)阻抗形成大的影響，要求匹配器隨時(shí)跟蹤等離子體的阻抗變化，這樣就要求操作人員不停地檢測(cè)阻抗，隨時(shí)微調(diào)。由于對(duì)操作人員的要求過(guò)高，使其在工業(yè)生產(chǎn)中不能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化和連續(xù)生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述手動(dòng)匹配器中調(diào)節(jié)困難、放電不易點(diǎn)火以及不易穩(wěn)定維持放電等諸多困難問(wèn)題，為了克服這些困難，就需要對(duì)通用的匹配器進(jìn)行重新設(shè)計(jì)，使其能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)火，自動(dòng)匹配和維持穩(wěn)定放電。
[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器。為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，所采用的技術(shù)方案如下，一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器，包含一個(gè)整體機(jī)箱，機(jī)箱前面板上設(shè)有匹配器控制顯示部分，電容位置調(diào)節(jié)，匹配器控制按鍵，其特征在于，整體機(jī)箱內(nèi)部設(shè)有一塊電路板，電路板上含有一個(gè)進(jìn)行采樣的射頻匹配傳感器，還設(shè)有包含兩個(gè)可變`電容與一個(gè)可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是伺服電機(jī)部分和匹配控制電路部分；針對(duì)大氣壓放電高電壓的特點(diǎn)，采用一個(gè)獨(dú)立的射頻電壓采集電路，采集射頻高壓數(shù)據(jù)；在電路主板上將傳感器和射頻電壓兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片，實(shí)現(xiàn)對(duì)該匹配器的整體控制。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是，該自動(dòng)匹配器是專門用于大氣壓等離子放電的，有效地解決了射頻大氣壓等離子放電調(diào)節(jié)困難，放電不穩(wěn)定的問(wèn)題，達(dá)到匹配速度快和精確，放電穩(wěn)定。為今后大氣壓等離子體的工業(yè)應(yīng)用奠定基礎(chǔ).使其能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化控制和連續(xù)生產(chǎn)?
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器的整體機(jī)箱圖；
[0008]圖2為機(jī)箱前面板示意圖；
[0009]圖3為自動(dòng)匹配器整體機(jī)箱內(nèi)部電路連接關(guān)系圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0010]參照?qǐng)D1，表示大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器的整體機(jī)箱示意圖，圖中I為整體機(jī)箱外形，前面板上包含有匹配器控制顯示部分1-1，電容位置調(diào)節(jié)，匹配器控制按鍵1-2，射頻電源通過(guò)射頻輸入接頭輸入到射頻傳感器2-1中，該傳感器測(cè)量射頻信號(hào)的幅值和相位，輸入到電壓采集電路2-5采集射頻電壓，輸入到電路主板2，主板按照設(shè)定的算法計(jì)算得到ca、cb電容的容量，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)控制2-3將可調(diào)電容、電感的組合部分2-2調(diào)節(jié)到計(jì)算的數(shù)值，達(dá)到將負(fù)載阻抗調(diào)到50歐的目的。射頻電壓采集電路2-5負(fù)責(zé)將射頻高壓分壓后，采集輸入到計(jì)算處理單元2-6參與匹配計(jì)算。
【權(quán)利要求】
1.一種大氣壓等離子放電專用射頻自動(dòng)匹配器，包含一個(gè)整體機(jī)箱，機(jī)箱前面板上設(shè)有匹配器控制顯示部分，電容位置調(diào)節(jié)，匹配器控制按鍵，其特征在于，整體機(jī)箱內(nèi)部設(shè)有一塊電路板，電路板上含有一個(gè)進(jìn)行采樣的射頻匹配傳感器，還設(shè)有包含兩個(gè)可變電容與一個(gè)可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是伺服電機(jī)部分和匹配控制電路部分；再連有一個(gè)獨(dú)立的射頻電壓采集電路，采集射頻高壓數(shù)據(jù):在電路主板上將傳感器和射頻電壓兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片，實(shí)現(xiàn)對(duì)該匹配器的整體控制。
【文檔編號(hào)】H05H1/46GK203492260SQ201320649525
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年10月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月22日
【發(fā)明者】李樹瑜 申請(qǐng)人:北京吉兆源科技有限公司