技術(shù)編號(hào)：8171828
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于液晶(LCD)面板或有機(jī)EL面板等顯示面板的試驗(yàn)探測器及其試驗(yàn)裝置。背景技術(shù) 于以半導(dǎo)體晶圓為測定對象的晶圓探測器中，為提高測定精度與速度，專利文獻(xiàn)1或2所揭示的晶圓探測器為眾所周知。于此等晶圓探測器中，由于需要施加電壓于半導(dǎo)體的基板，因此便可施加電壓于夾盤。該電位并非僅限于接地電位，因此專利文獻(xiàn)2的圖2中揭示有使用活性式卡作為噪音對策，以卡電位進(jìn)行屏蔽的技術(shù)。另外，如專利文獻(xiàn)1的圖3，由于EMI遮罩而以導(dǎo)體包圍包含夾盤與測定對象的區(qū)域的技術(shù)為眾所周知。另外，在用于液晶(LCD)面板或有機(jī)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。