專利名稱：顯示面板試驗用探測器及試驗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于液晶(LCD)面板或有機EL面板等顯示面板的試驗探測器及其試驗裝置。
背景技術(shù)：
于以半導(dǎo)體晶圓為測定對象的晶圓探測器中，為提高測定精度與速度，專利文獻1或2所揭示的晶圓探測器為眾所周知。于此等晶圓探測器中，由于需要施加電壓于半導(dǎo)體的基板，因此便可施加電壓于夾盤。該電位并非僅限于接地電位，因此專利文獻2的圖2中揭示有使用活性式卡作為噪音對策，以卡電位進行屏蔽的技術(shù)。另外，如專利文獻1的圖3，由于EMI遮罩而以導(dǎo)體包圍包含夾盤與測定對象的區(qū)域的技術(shù)為眾所周知。
另外，在用于液晶(LCD)面板或有機EL面板等顯示面板的試驗的顯示面板用探測器中，顯示面板于絕緣體的玻璃上使硅成長，因此理論上為采取SOI(Silicon-on-Insulator，絕緣硅)構(gòu)造，所以無需賦予電位到絕緣體的玻璃，夾盤的電位基本為接地電位即可。由此，于測定中也未充分考慮噪聲的影響，如專利文獻3的圖8中可見，于夾盤及其屏蔽構(gòu)造上并無特別考究。
然而，最近由于成本降低，大型玻璃板的使用成為主流，所以對于顯示面板也開始需要考慮其影響。例如，于非晶硅制作過程中，由于使用第5代1米見方強的玻璃板，因此夾盤臺的運作范圍需要3米見方左右，若由于屏蔽而完全包圍此區(qū)域，則對于成本的影響非常大。
進而，伴隨玻璃板的大型化，夾盤自身大型化的影響也需要考慮。對于夾盤面積S的寄生電容(對地電容)C于將夾盤與對地的間隔設(shè)為d，夾盤與對地之間介在有絕緣體的情形時，將該材質(zhì)的介電常數(shù)作為εr，便以
C＝εr*(S/d)表示，但于第7代面板中，變成大約2米見方，因此一邊的長度即為第5代的2倍，寄生電容成為第5代的4倍。因此，第7代面板的交流阻抗在高頻下變得比第5代小很多。這是意味著，在測定第7代面板時，在夾盤中容易發(fā)生噪音作用。另外，即使以傳統(tǒng)方式充分增加成本屏蔽夾盤，試驗用測定器仍容易自其它路徑受噪音影響。
因此，于顯示面板試驗用的探測器及試驗裝置中，與用于半導(dǎo)體晶圓者不同，需要更加完善的噪音對策。
專利文獻1日本專利特開平6-53297號公報，圖專利文獻2日本專利特開平7-84003號公報，圖2、圖專利文獻3日本專利特開2001-296547號公報，圖8發(fā)明所欲解決的問題本發(fā)明所欲解決的問題在于提供一種降低噪音影響的顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置。
本發(fā)明所欲解決的另外的問題在于提供一種可高速及高精度測定的顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置。
本發(fā)明進而所欲解決的另外問題在于提供一種于顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置中，交流保持夾盤臺于高阻抗，并有效實施靜電屏蔽的探測器及其試驗裝置。
本發(fā)明進而所欲解決的另外問題在于提供一種于顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置中，減少因探測器的發(fā)動機驅(qū)動系列造成的噪音影響的探測器及其試驗裝置。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種可解決上述問題的顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置。此目的通過權(quán)利要求書中獨立項所揭示的特征組合達成。另外，附屬項規(guī)定本發(fā)明的更加有利的具體實例。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的顯示面板試驗用探測器中，包含夾盤，支持臺，其支持夾盤，第1內(nèi)部遮罩，其屏蔽夾盤，以及外部遮罩，其屏蔽夾盤及第1內(nèi)部遮罩；且，外部遮罩于底盤接地，夾盤通過第1電纜連接于第1連接器，第1內(nèi)部遮罩通過第2電纜經(jīng)由阻抗連接于第2連接器。
另外，本發(fā)明的探測器包含，具備第3連接器，通過第3電纜連接于第2電纜與第1內(nèi)部遮罩相連接的位置的方面，以及第1到第3中任一者的電纜為同軸電纜，各自的外皮導(dǎo)體連接于底盤的方面。進而，也包含于上述遮罩內(nèi)，具備屏蔽夾盤上方的第2內(nèi)部遮罩，第1內(nèi)部遮罩屏蔽夾盤的下部與側(cè)部的方面。進而，也包含上述阻抗為電感器的方面以及為電阻的方面。
進而，本發(fā)明的另外的顯示面板試驗用探測器包含夾盤，支持臺，其支持夾盤，第1內(nèi)部遮罩，其屏蔽夾盤，以及外部遮罩，其屏蔽夾盤及第1內(nèi)部遮罩；且，外部遮罩于底盤接地，夾盤通過第1電纜連接于第1連接器，第1內(nèi)部遮罩通過第2電纜經(jīng)由阻抗連接于底盤。
進而，本發(fā)明的試驗裝置包含上述構(gòu)造的探測器，第1電壓源，其供給第1特定電壓到第1連接器，以及第2電壓源，其連接于第2及第3連接器，并供給第2特定電壓。進而本發(fā)明的另外試驗裝置也包含具備自第1電壓源，經(jīng)由探測卡將供給到第1連接器的特定電壓供給到第2內(nèi)部遮罩的第4電纜的方面。
發(fā)明效果通過本發(fā)明的顯示面板用探測器及其試驗裝置，由于交流保持夾盤臺于高阻抗，并有效實施靜電屏蔽，因此可有效保證夾盤的電位不受噪音的影響，故而具有在電性測定中也可進行高速、高精度的試驗的優(yōu)點。


圖1為表示本發(fā)明的第1實施例的試驗裝置構(gòu)造的模式圖。
圖2為表示本發(fā)明的第2實施例的試驗裝置構(gòu)造的模式圖。
具體實施例方式
使用圖1說明作為本發(fā)明的第1實施例的顯示面板試驗用探測器110及其試驗裝置100。被測定對象(顯示面板)122放置于夾盤124，通過設(shè)置于探測卡118的探測器針120測定。探測器針120連接于未圖示的測定器。于此例中，探測器針120從探測卡118的中心開口部探測于被測定對象。夾盤124夾絕緣體126，通過第1內(nèi)部遮罩128屏蔽。較好的是第1內(nèi)部遮罩128覆蓋夾盤124的底面及側(cè)面，而側(cè)面較好的是延伸到高于被測定對象的上面高度的位置，對于夾盤及被測定對象有效屏蔽外來噪音。
夾盤124、絕緣體126、內(nèi)部遮罩128構(gòu)成夾盤臺129。夾盤臺129通過支持零件160與支持臺132成為一體而運作，支持臺132通過控制于伺服放大器140的伺服發(fā)動機142，可于X、Y、Z方向移動。夾盤臺129、被測定對象122以及探測卡118通過外部遮罩112包圍。圖中，雖僅為概念性表示，但支持零件160為依據(jù)公知技術(shù)，成為可靈活移動而于外部遮罩112的下部平面未留下多余的開口的構(gòu)造。
外部遮罩112于上部具備開口部115，用于探測器針120前端接觸狀態(tài)的確認等。圖中雖未特別表示，但探測卡118或被測定對象122的裝卸使外部遮罩112的部分可開閉，于該處裝卸，或，以在橫方向設(shè)置可進出的托盤等方式進行。在開口部115之下，以探測卡118表面電位不影響夾盤124及被測定對象122的方式，設(shè)有環(huán)狀的第2內(nèi)部遮罩114。第2內(nèi)部遮罩114通過將其剖面設(shè)為L形狀，不僅上下方向，于橫方向、斜方向也可有效屏蔽。第2內(nèi)部遮罩114同時具保持探測卡118的作用。較好的是第2內(nèi)部遮罩114的水平部分為大致覆蓋探測卡118的下部，除作為探測器針120的貫通部分的中央部的形狀。
夾盤124通過電纜136連接于探測器A COM端子144，通過電纜161連接于測定裝置(MEAS UNIT)148的A COM端子。測定裝置148及其A COM端子可為作為測定裝置部分的試驗頭與設(shè)置于此的A COM端子。另外，測定裝置148的A COM端子較好的是為測定裝置的共通電位，且可供給干凈的直流電壓，即，即使有干擾噪音進入，也僅供給不含交流成份的直流電壓的端子。
外部遮罩112通過電纜134，連接于探測器的底盤的機架地線(FG)點而接地(156)。
第1內(nèi)部遮罩128通過電纜138，經(jīng)由阻抗(Z)130連接于第四端子(F)155，通過電纜166連接于接地單元(GDU)152的第四端子。于此處，阻抗(Z)130可作為電感器、電阻或電感器及電阻二者。作為電感器的情形時，可不影響直流成份，對于交流成份可作為的高阻抗。此時，較好的是卷有于環(huán)形鐵芯中流過電流的元件的電感器元件，并較好的是以不損害直流特性的方式使用較粗的線材。作為電阻的情形時，較好的是作為低電阻，進而雖直流成份產(chǎn)生一些損失，但交流成份可不受頻率影響賦予特定阻抗。另外，阻抗(Z)130較好的是設(shè)置于盡量接近第1內(nèi)部遮罩128的位置，例如，設(shè)置于支持臺132內(nèi)部空間等。
第1內(nèi)部遮罩通過電纜139連接于感測端子(S)151，通過電纜164連接于接地單元152的感測端子，形成開耳芬連接。此開耳芬連接較好的是于接地單元152與第1內(nèi)部遮罩128之間，設(shè)計為足夠吸收噪音的寬帶區(qū)。接地單元可不必為測定裝置148的A COM端子，但較好的是可供給較干凈的直流電壓。
較好的是電纜136、138、139為同軸電纜，外皮導(dǎo)體均連接于探測器的底盤的機架地線(FG)點，而被屏蔽。
另外，測定裝置148的A COM端子通過電纜162，經(jīng)由設(shè)置于探測卡118的端子170，進而經(jīng)由跨接線172或探測卡上的圖案(未圖示)，進而經(jīng)由螺絲或電纜等的電性連接手段116連接于第2內(nèi)部遮罩114。
通過以上構(gòu)造，例如即使噪音重疊于探測器的底盤，外部遮罩112的電位產(chǎn)生改變，第1內(nèi)部遮罩128經(jīng)由阻抗130自外部連接，因此電位難以變化。另外，第1內(nèi)部遮罩與第2內(nèi)部遮罩間幾乎無電位差，因此即使于此兩個內(nèi)部遮罩之間存有寄生電容，也可大致控制噪音電流的輸入輸出，影響較小。故而，可保持夾盤的電位不受噪音影響。進而，可以高速、高精度進行于被測定對象122上的電性試驗。
另外，于以上說明中，是以開耳芬連接表示接地單元152與第1內(nèi)部遮罩128的連接，但也可依據(jù)噪音的程度，不進行開耳芬連接，拆掉電纜139，于第四端子155連接來自接地單元152的第四電纜166與感測電纜進行試驗。
繼而使用圖2說明作為本發(fā)明的第2實施例的顯示面板試驗用探測器210及其試驗裝置200。另外，在圖2中，與圖1相同的構(gòu)成要素賦予相同參照編號，省略其說明。
與圖1的不同點在于，于第1內(nèi)部遮罩128，為通過電纜238，經(jīng)由阻抗130連接于探測器底盤的機架地線，以及將電纜238作為單線電纜。進而，可提供一種探測器及試驗裝置，其雖然也受到探測器底盤的噪音程度的影響，但無需接地單元，可以低成本保持夾盤電位不受噪音的影響。
以上就本發(fā)明加以說明，但在本發(fā)明的顯示面板的試驗中，并非僅限于發(fā)光元件形成后的顯示面板試驗，也包含于形成矩陣電路后，形成發(fā)光元件前的顯示面板試驗。另外，本發(fā)明的上述實施例的細節(jié)形狀、參數(shù)為例示，本發(fā)明并非僅限于此等實施例，可通過組合眾所周知的技術(shù)進行各種變更及修正。例如，第1內(nèi)部遮罩的側(cè)壁自夾盤上面突出延伸，但其形狀可采用各種形狀，并非僅限于筆直延伸，也可為前端折向內(nèi)側(cè)的彎曲形狀。
權(quán)利要求
1.一種顯示面板試驗用探測器，其特征在于包含夾盤，支持臺，其支持上述夾盤，第1內(nèi)部遮罩，其屏蔽上述夾盤，以及外部遮罩，其包圍上述夾盤及上述第1內(nèi)部遮罩；且，上述外部遮罩于底盤接地，上述夾盤通過第1電纜連接于第1連接器，上述第1內(nèi)部遮罩通過第2電纜經(jīng)由阻抗連接于第2連接器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探測器，其中上述第1或第2電纜為同軸電纜，各自的外皮導(dǎo)體連接于底盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探測器，其中具有第3連接器，通過第3電纜連接于上述第2電纜與上述第1內(nèi)部遮罩相連接的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探測器，其中上述第1至第3中的任一電纜為同軸電纜，各自的外皮導(dǎo)體連接于底盤。
5.一種顯示面板試驗用探測器，其特征在于包含夾盤，支持臺，其支持上述夾盤，第1內(nèi)部遮罩，其屏蔽上述夾盤，以及外部遮罩，其包圍上述夾盤及上述第1內(nèi)部遮罩；且上述外部遮罩于底盤接地，上述夾盤通過第1電纜連接于第1連接器，上述第1內(nèi)部遮罩通過第2電纜經(jīng)由阻抗連接于底盤。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探測器，其中上述第1電纜為同軸電纜，其外皮導(dǎo)體連接于底盤。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述阻抗包含電感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述阻抗包含使用環(huán)形鐵芯的電感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述阻抗包含電阻。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至69中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述阻抗設(shè)置于第1內(nèi)部遮罩附近。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的探測器，其中上述阻抗設(shè)置于上述支持臺內(nèi)部。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中于上述外部遮罩內(nèi)，進而包含屏蔽上述夾盤的上方的第2內(nèi)部遮罩，上述第1內(nèi)部遮罩為屏蔽上述夾盤的下部與側(cè)部。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的探測器，其中上述第2內(nèi)部遮罩為環(huán)狀形狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的探測器，其中上述第2內(nèi)部遮罩的剖面為L形狀。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的探測器，其中上述第2內(nèi)部遮罩具有與收容于該第2內(nèi)部遮罩上部的探測卡的特定信號線相連接的手段。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述外部遮罩于上部具有開口部。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述外部遮罩含有并包圍上述夾盤的移動區(qū)域整體。
18.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的探測器，其中上述第1內(nèi)部遮罩覆蓋上述夾盤的底部與側(cè)部，該側(cè)部的覆蓋自夾盤的上面突出延伸。
19.一種顯示面板試驗裝置，其特征在于其包含權(quán)利要求1或2所述的探測器，第1電壓源，其供給第1特定電壓到上述第1連接器，以及第2電壓源，其供給第2特定電壓到上述第2連接器。
20.一種顯示面板試驗裝置，其特征在于其包含權(quán)利要求5或6所述的探測器，以及第1電壓源，其供給第1特定電壓到上述第1連接器。
21.一種顯示面板試驗裝置，其特征在于其包含權(quán)利要求3至4中任一權(quán)利要求所述的探測器，第1電壓源，其供給第1特定電壓到上述第1連接器，以及第2電壓源，其連接于上述第2及第3連接器，并供給第2特定電壓。
22.根據(jù)權(quán)利要求12所述的試驗裝置，其中具備第4電纜，該第4電纜從上述第1電壓源，經(jīng)由上述探測卡，將供給到上述第1連接器的特定電壓供給到上述第2內(nèi)部遮罩。
全文摘要
本發(fā)明的目的為于顯示面板試驗用探測器及其試驗裝置中，提供一種交流保持夾盤臺于高阻抗，并有效實施靜電屏蔽的探測器及試驗裝置。于本發(fā)明的顯示面板試驗用探測器或使用它的試驗裝置中，具有夾盤124，支持夾盤的支持臺132，屏蔽夾盤的第1內(nèi)部遮罩128，以及屏蔽夾盤及第1內(nèi)部遮罩的外部遮罩112，外部遮罩于探測器的底盤接地，夾盤通過第1電纜136連接于第1連接器144，第1內(nèi)部遮罩通過第2電纜138，經(jīng)由阻抗130連接于第2連接器155。
文檔編號H05B33/12GK1619314SQ20041009083
公開日2005年5月25日 申請日期2004年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月21日
發(fā)明者岸田明人 申請人:安捷倫科技公司