技術(shù)編號：8283753
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體器件用于各種電子應(yīng)用中，諸如個(gè)人計(jì)算機(jī)、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和其它電子設(shè)備。通過在半導(dǎo)體襯底上方依次沉積絕緣或介電層、導(dǎo)電層和半導(dǎo)體層，并且使用光刻和蝕刻工藝圖案化各個(gè)材料層以在半導(dǎo)體襯底上形成電路部件和元件，從而制造半導(dǎo)體器件。隨著半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)進(jìn)入了追求更高的器件密度、更高的性能和更低成本的納米技術(shù)工藝節(jié)點(diǎn)，來自制造和設(shè)計(jì)問題的挑戰(zhàn)已經(jīng)導(dǎo)致諸如鰭式場效應(yīng)晶體管(FinFET)的三維設(shè)計(jì)的發(fā)展。FinFET制造為具有從襯底延伸出的薄的垂直“鰭”(或鰭結(jié)構(gòu)...
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