技術(shù)編號(hào)：8446733
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。簡(jiǎn)易酸槽(Wet Bench)不同于旋轉(zhuǎn)式腐蝕機(jī)(SEZ之類)，作業(yè)DM0S/IGBT/肖特基產(chǎn)品的背面硅腐蝕工藝時(shí)經(jīng)常遇見一系列的表觀異常，比如背面水痕、白條、色差等。硅腐蝕酸液由硝酸、氫氟酸、冰乙酸按照一定比例配置而成，溶液濃度較高，硅腐蝕速率較快。簡(jiǎn)易酸槽無(wú)攪拌裝置，水槽無(wú)鼓泡，很容易導(dǎo)致硅腐蝕和沖水不均勻，在硅片背面形成色差、水痕、片架印等表觀缺陷。如圖1所示，減薄機(jī)完成減薄后，硅片01的背面殘留大量的硅屑硅粉02，如減薄完成的硅片01直接放入酸槽...
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