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      三維半導(dǎo)體元件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:8473848

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      非易失性存儲器元件在設(shè)計上有一個很大的特性是,當存儲器元件失去或移除電源后仍能保存數(shù)據(jù)狀態(tài)的完整性。目前業(yè)界已有許多不同型態(tài)的非易失性存儲器元件被提出。不過相關(guān)業(yè)者仍不斷研發(fā)新的設(shè)計或是結(jié)合現(xiàn)有技術(shù),進行含存儲單元的存儲器平面的疊層以達到具有更高儲存容量的存儲器結(jié)構(gòu)。例如已有一些多層薄膜晶體管疊層的與非門(NAND)型閃存結(jié)構(gòu)被提出。相關(guān)業(yè)者已經(jīng)提出各種不同結(jié)構(gòu)的三維存儲器元件,例如具單柵極(Single-Gate)的存儲單元、雙柵極(double gat...
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