技術編號：8521997
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，在TFT(薄膜晶體管)產業(yè)中，為保護涂布機噴嘴，需要Particle Sensor(包括投光器和受光器)檢測玻璃表面是否存在過高Particle (顆?；蚧覊m)，防風擋板的作用是避免氣流導致Particle Sensor誤檢，如圖1所示，承載基臺5兩側也設置有投光器I和收光器2，防風的現有擋板3分布在涂布機承載基臺5的兩側，為直角平面設計，Rubber (橡膠擦板)刮拭Nozzle (噴嘴)不良可能造成Nozzle (噴嘴)底部殘余膠狀物(膠狀物，屬...
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