技術(shù)編號(hào)：8635076
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著全球能源日趨緊張，太陽(yáng)能成為新型能源得到了大力開發(fā)，太陽(yáng)能電池作為綠色環(huán)保的清潔能源，安裝量與日俱增。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，擴(kuò)散爐在太陽(yáng)能電池鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝中扮演著非常重要的角色。在太陽(yáng)能電池鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝中，選擇磷酸作為擴(kuò)散源，在整個(gè)擴(kuò)散工藝的前道工序中，磷酸通過噴涂機(jī)均勻噴涂在硅片表面，然后硅片通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)入擴(kuò)散爐，這樣硅片表...
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