一種擴(kuò)散爐腔體的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造工藝，具體是涉及一種擴(kuò)散爐腔體。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著全球能源日趨緊張，太陽(yáng)能成為新型能源得到了大力開發(fā)，太陽(yáng)能電池作為綠色環(huán)保的清潔能源，安裝量與日俱增。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，擴(kuò)散爐在太陽(yáng)能電池鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝中扮演著非常重要的角色。在太陽(yáng)能電池鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝中，選擇磷酸作為擴(kuò)散源，在整個(gè)擴(kuò)散工藝的前道工序中，磷酸通過(guò)噴涂機(jī)均勻噴涂在硅片表面，然后硅片通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)入擴(kuò)散爐，這樣硅片表面的磷酸會(huì)在擴(kuò)散爐升溫階段揮發(fā)，從而附著在擴(kuò)散爐腔體上方保溫材料的表面，并且在高溫下保溫材料會(huì)被磷酸腐蝕而掉落，會(huì)影響電池片的表面外觀以及電性能，目前的方法是在擴(kuò)散爐腔內(nèi)保溫材料下安裝一塊二氧化硅板，這樣可以在短期內(nèi)防止保溫材料被磷酸腐蝕，但是長(zhǎng)期情況下二氧化硅板同樣會(huì)被腐蝕，從而依然有異物掉落，沒有從根本上解決問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供一種能夠保證電池片的外觀和電性能穩(wěn)定性擴(kuò)散爐腔體。
[0004]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的擴(kuò)散爐腔體，包括腔本體、設(shè)于所述腔本體內(nèi)的若干層爐體、設(shè)于所述爐體下方的保溫層、設(shè)于所述保溫層下方的碳化硅防護(hù)板、設(shè)于所述碳化硅防護(hù)板下方的網(wǎng)帶以及設(shè)于所述網(wǎng)帶下方的加熱板。
[0005]進(jìn)一步地，所述碳化娃防護(hù)板厚度為6?8mm。
[0006]進(jìn)一步地,所述爐體包括3層。
[0007]進(jìn)一步地，所述保溫層是由硅酸鋁陶瓷制造。
[0008]進(jìn)一步地，還包括散熱器，所述散熱器設(shè)于所述腔本體頂部。
[0009]有益效果:本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)與現(xiàn)有設(shè)計(jì)比較，具有的優(yōu)點(diǎn)是:
[0010]1、通過(guò)設(shè)計(jì)碳化硅防護(hù)板代替現(xiàn)有技術(shù)中的二氧化硅防護(hù)板，碳化硅防護(hù)板不與聚磷酸等反應(yīng)，可長(zhǎng)期使用，從而可以長(zhǎng)期解決保溫材料因被腐蝕形成雜物掉落問題，從而減少雜物污染電池片，減少電池片外觀產(chǎn)生不良，保證電池片電性能的高效、穩(wěn)定；
[0011]2、可以減少設(shè)備停機(jī)及維護(hù)時(shí)間。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是擴(kuò)散爐腔體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:1、腔本體；2、爐體；3、保溫層；4、碳化硅防護(hù)板；5、網(wǎng)帶；6、加熱板；7、散熱器。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0015]實(shí)施例:
[0016]參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型提供的一種擴(kuò)散爐腔體，包括腔本體1、設(shè)于所述腔本體
I內(nèi)的若干層爐體2，所述爐體2包括3層，分別為一區(qū)(Z0NE1)、二區(qū)(Z0NE2)以及三區(qū)(Z0NE3)，還包括設(shè)于所述爐體2下方的保溫層3、所述保溫層3是由硅酸鋁陶瓷制造，還包括設(shè)于所述保溫層3下方的碳化硅(SIC)防護(hù)板4、所述SIC防護(hù)板厚度為6?8_，設(shè)于所述碳化硅(SIC)防護(hù)板4下方的網(wǎng)帶5以及設(shè)于所述網(wǎng)帶5下方的加熱板6，所述腔體還包括散熱器7，所述散熱器7設(shè)于所述腔本體頂部，目的是將擴(kuò)散爐產(chǎn)生的一部分熱量通過(guò)散熱帶走，從而避免廠房環(huán)境溫升過(guò)高；在太陽(yáng)能電池制造鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝中，首先通過(guò)噴涂機(jī)上的噴嘴將磷酸(H3PO4)均勻噴涂在電池片表面，噴涂后，硅片表面形成H3POJf，硅片8通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)入擴(kuò)散爐，H3PO4進(jìn)入擴(kuò)散爐后，在升溫階段會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)現(xiàn)象，由于在保溫層3下方設(shè)有SIC防護(hù)板4，而新型的SIC防護(hù)板4不與H3PO4等反應(yīng)，可以長(zhǎng)期使用，所以解決了現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)在保溫材料下方安裝二氧化硅(S12)板而S12板會(huì)與磷酸反應(yīng)的問題，這樣即使H3PO4不斷揮發(fā)，也不會(huì)影響到碳化硅(SIC)防護(hù)板4上方的保溫層3，保證了電池片的外觀和電性能穩(wěn)定性。
[0017]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種擴(kuò)散爐腔體，其特征在于:包括腔本體(I)、設(shè)于所述腔本體(I)內(nèi)的若干層爐體(2)、設(shè)于所述爐體(2)下方的保溫層(3)、設(shè)于所述保溫層(3)下方的碳化硅防護(hù)板(4)、設(shè)于所述碳化硅防護(hù)板(4)下方的網(wǎng)帶(5)以及設(shè)于所述網(wǎng)帶(5)下方的加熱板(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐腔體，其特征在于:所述碳化硅防護(hù)板(4)厚度為6?8mm ο
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐腔體，其特征在于:所述爐體(2)包括3層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐腔體，其特征在于:所述保溫層(3)是由硅酸鋁陶瓷制造。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐腔體，其特征在于:還包括散熱器(7)，所述散熱器(7)設(shè)于所述腔本體頂部。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種擴(kuò)散爐腔體，包括腔本體、設(shè)于所述腔本體內(nèi)的若干層爐體，設(shè)于所述爐體下方的保溫層、設(shè)于所述保溫層下方的碳化硅防護(hù)板、設(shè)于所述碳化硅防護(hù)板下方的網(wǎng)帶以及設(shè)于所述網(wǎng)帶下方的加熱板，本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)與現(xiàn)有設(shè)計(jì)比較，具有的優(yōu)點(diǎn)是：通過(guò)設(shè)計(jì)碳化硅防護(hù)板代替現(xiàn)有技術(shù)中的二氧化硅防護(hù)板，碳化硅防護(hù)板不與聚磷酸等反應(yīng)，可長(zhǎng)期使用，從而可以長(zhǎng)期解決保溫材料因被腐蝕形成雜物掉落問題，從而減少雜物污染電池片，減少電池片外觀產(chǎn)生不良，保證電池片電性能的高效、穩(wěn)定；可以減少設(shè)備停機(jī)及維護(hù)時(shí)間。
【IPC分類】C30B31-00
【公開號(hào)】CN204342921
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420797971
【發(fā)明人】向益雙, 包文訚, 劉林華
【申請(qǐng)人】無(wú)錫德鑫太陽(yáng)能電力有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年12月17日