技術(shù)編號(hào)：8725492
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical System)，簡(jiǎn)稱MEMS，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的集微型機(jī)械、微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理、智能控制于一體的一項(xiàng)新興科學(xué)技術(shù)。其中，MEMS慣性傳感器包括加速度傳感器、角速度傳感器、IMU慣性測(cè)量單元、姿態(tài)航向參考系統(tǒng)等。目前MEMS器件的電子封裝的趨勢(shì)是向更快、更小、更便宜的方向發(fā)展，要求增加性能的同時(shí)還縮小尺寸，現(xiàn)有MEMS慣性傳感器裸片(MEMS DIE)進(jìn)行表面貼裝時(shí)，一般...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。