技術(shù)編號：8839628
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在液晶顯示器件例如陣列基板和彩色濾光片基板的制作過程中，需要通過多道光刻制程在玻璃基板上制作形成各種薄膜，每道光刻制程通常包括涂布光阻、曝光、顯影、蝕刻、剝離光阻等多道工藝。其中，在蝕刻工藝中，為了獲得理想的加工效果，蝕刻液的濃度需要保證在一定的范圍內(nèi)，因此就需要在制造過程中通過濃度控制系統(tǒng)時刻對蝕刻液的濃度進行檢測與控制。通常，檢測藥劑盛放于儲存裝置的內(nèi)桶中，通過送液設(shè)備將檢測藥劑送往蝕刻設(shè)備內(nèi)對蝕刻液進行檢測。為了防止藥液的揮發(fā)對外界環(huán)境造成的影響及保...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。