蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及顯示器件的加工制造領(lǐng)域，尤其是一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示器件例如陣列基板和彩色濾光片基板的制作過程中，需要通過多道光刻制程在玻璃基板上制作形成各種薄膜，每道光刻制程通常包括涂布光阻、曝光、顯影、蝕刻、剝離光阻等多道工藝。其中，在蝕刻工藝中，為了獲得理想的加工效果，蝕刻液的濃度需要保證在一定的范圍內(nèi)，因此就需要在制造過程中通過濃度控制系統(tǒng)時刻對蝕刻液的濃度進行檢測與控制。
[0003]通常，檢測藥劑盛放于儲存裝置的內(nèi)桶中，通過送液設(shè)備將檢測藥劑送往蝕刻設(shè)備內(nèi)對蝕刻液進行檢測。為了防止藥液的揮發(fā)對外界環(huán)境造成的影響及保護檢測藥劑，在內(nèi)桶的外部還需要設(shè)置一個保護外殼。為了便于觀察內(nèi)桶中檢測藥劑的剩余量，保護外殼一般由透明且材質(zhì)較軟的PVC板制成。然而隨著內(nèi)桶中檢測藥劑的不斷揮發(fā)，保護外殼的內(nèi)壁會發(fā)生嚴(yán)重的霧化，阻擋工作人員的視線，使工作人員不易把握內(nèi)桶中檢測藥劑的剩余量，不能在檢測藥劑剩余量過低時及時對檢測藥劑進行補充。一旦內(nèi)桶中檢測藥劑的剩余量過低，就會使?jié)舛瓤刂葡到y(tǒng)發(fā)生異常，從而對液晶顯示器的質(zhì)量造成影響。為了清除保護外殼內(nèi)壁上的霧氣，需要經(jīng)常打開保護外殼對儲存裝置進行清理，這樣不僅降低了生產(chǎn)效率，同時也容易造成藥劑的揮發(fā)，對工作人員造成危害。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，一般會在保護外殼上增設(shè)一抽氣孔，通過抽氣泵或排風(fēng)扇等將保護外殼內(nèi)的水氣抽出，然而此種方法因為空氣流通的不暢而不能很好地解決霧化現(xiàn)象。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的在于提供一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置，該儲存裝置可以防止在內(nèi)壁上生成霧氣，以便準(zhǔn)確地把握內(nèi)桶中檢測藥劑的剩余量，實現(xiàn)對內(nèi)桶中檢測藥劑進行準(zhǔn)確及時的更換。
[0006]本實用新型實施例提供了一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置，包括儲存液體的內(nèi)桶及罩于所述內(nèi)桶外的保護外殼，所述保護外殼的側(cè)壁上開設(shè)有抽氣孔與進氣孔，所述抽氣孔與抽氣裝置相連，所述進氣孔所在的側(cè)壁上設(shè)置有加強板，所述加強板增加所述進氣孔周圍保護外殼的強度。
[0007]進一步地，所述抽氣孔的開口位置位于所述保護外殼側(cè)壁的上部，所述進氣孔的開口位置位于所述抽氣孔相對側(cè)的所述保護外殼側(cè)壁的下部。
[0008]進一步地，所述加強板上形成有與所述進氣孔形狀相同的豁口，所述加強板在所述進氣孔的周邊位置通過粘性材料與所述保護外殼相連。
[0009]進一步地，所述加強板通過螺栓固定于所述保護外殼的側(cè)壁上。
[0010]進一步地，所述加強板的截面為倒置的L形，包括固定于所述保護外殼頂部的頂部加強板及通過所述粘性材料粘接于所述進氣孔周邊的側(cè)壁加強板。
[0011]進一步地，所述加強板與所述保護外殼之間，除通過粘性材料連接區(qū)域以外的部分，存在有間隙。
[0012]進一步地，所述進氣孔與氣體輸送裝置相連。
[0013]進一步地，所述保護外殼頂部的內(nèi)表面設(shè)有傾斜狀的導(dǎo)水板，所述保護外殼的底部與所述導(dǎo)水板的最低位置相對應(yīng)處設(shè)有收容槽，所述收容槽與所述導(dǎo)水板的最低位置處相對應(yīng)。進一步地，所述導(dǎo)水板從靠近所述進氣孔的一側(cè)向靠近所述抽氣孔的一側(cè)傾斜，所述導(dǎo)水板的下表面與所述保護外殼底部之間的距離，從遠(yuǎn)離所述抽氣孔的一側(cè)到靠近所述抽氣孔的一側(cè)逐漸變小。
[0014]進一步地，所述導(dǎo)水板靠近所述抽氣孔一側(cè)邊緣的高度高于所述抽氣孔的上邊緣或與抽氣孔的上邊緣平齊。
[0015]綜上所述，在本實用新型中，通過增加進氣孔及在進氣孔周圍增設(shè)加強板，使儲存裝置內(nèi)部形成一完整的空氣循環(huán)，通過該循環(huán)將儲存裝置中的水氣從保護外殼中排出，避免了保護外殼上霧氣的產(chǎn)生，使得操作人員能夠更清楚地觀察到儲存裝置內(nèi)部的情況，以便及時添加檢測藥液，從而能夠準(zhǔn)確地監(jiān)控蝕刻液的濃度，同時由于基本不用清理保護外殼上的霧氣，因此也能夠提高生產(chǎn)效率，保護工作環(huán)境。進一步地，通過導(dǎo)水板及收容槽的設(shè)置，使得凝結(jié)于保護外殼頂部的冷凝水能夠通過導(dǎo)水板流入收容槽內(nèi)，減少對保護外殼底部積水的清理次數(shù)。
[0016]上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型的一個實施例中蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為圖1所示儲存裝置的左視圖。
[0019]圖3為本實用新型另一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]為更進一步闡述本實用新型為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對本實用新型進行詳細(xì)說明如下。
[0021]圖1為本實用新型的一個實施例中蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1所示儲存裝置的左視圖。如圖1和圖2所示，儲存裝置包括內(nèi)桶10及罩于內(nèi)桶10外的保護外殼20，保護外殼20及內(nèi)桶10都位于基座30上，內(nèi)桶10設(shè)置在基座30上，保護外殼20罩設(shè)在內(nèi)桶10外并與基座30結(jié)合，使內(nèi)桶10密閉容納在保護外殼20內(nèi)。檢測藥劑儲存于內(nèi)桶10中，通過一個藥劑供給設(shè)備11將內(nèi)桶10中的檢測藥劑引出儲存裝置夕卜，并將檢測藥劑送往一個蝕刻設(shè)備(圖未示)中以對該蝕刻設(shè)備所采用的蝕刻液進行檢測，其中蝕刻液是在蝕刻工藝中所用到的一種蝕刻藥液，在蝕刻工藝中需要對蝕刻液的濃度進行檢測，并控制蝕刻液的濃度在所需范圍內(nèi)，以獲得理想的蝕刻效果。儲存于內(nèi)桶10中的檢測藥劑即是用于檢測蝕刻液的濃度。在液晶顯示器件的制作過程中，檢測蝕刻液的濃度需要多種檢測藥劑，每種檢測藥劑都單獨地位于一個儲存裝置內(nèi)，每一儲存裝置的結(jié)構(gòu)基本相同。
[0022]以一個儲存裝置為例，在保護外殼20的側(cè)壁上開設(shè)有抽氣孔21，該抽氣孔21與抽氣裝置40相連，在本實施例中，抽氣裝置40可以為排風(fēng)扇或抽氣泵。為了便于儲存裝置內(nèi)氣體的流通，在保護外殼20的側(cè)壁上還開設(shè)有進氣孔22，抽氣裝置40將儲存裝置內(nèi)的水氣抽出后，新的空氣從進氣孔22進入儲存裝置內(nèi)，使儲存裝置內(nèi)的空氣形成一個完整的循環(huán)。為了防止空氣在進入儲存裝置時，較大的氣流對保護外殼20造成沖擊并損傷保護外殼20，在開設(shè)有進氣孔22的保護外殼20的側(cè)壁上還設(shè)置有加強板50，加強板50用以增加保護外殼20上進氣孔22周圍的強度。進一步地，為了使儲存裝置內(nèi)空氣的循環(huán)更加的充分，抽氣孔21的開口位置位于保護外殼20側(cè)壁的上部，進氣孔22的開口位置位于抽氣孔21相對側(cè)的保護外殼20側(cè)壁的下部。為了增加空氣的流動，進氣口還可以與氣體輸送裝置60相連，氣體輸送裝置60可以向儲存裝置內(nèi)輸送空氣。
[0023]具體地，加強板50也由透明的材料制成，加強板50上形成有與進氣孔22形狀相同的豁口(圖未標(biāo)示)，在安裝時該豁口與進氣孔22的位置相重合。在本實施例中，加強板50通過螺栓等固定件固定于保護外殼20的側(cè)壁上，然后在進氣孔22周