技術(shù)編號：9454490
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。對于銅通孔(via)的側(cè)壁阻擋層的觀察，一般通過FIB的聚焦離子束制備透射電鏡樣品，然后將其放置銅柵上，最后將銅柵放置于透射電鏡中對透射樣品進行觀察和分析，所以銅柵是傳統(tǒng)的TEM分析樣品的承載裝置。因為某些產(chǎn)品的阻擋層厚度非常薄，通常只有幾個納米，且由于通孔是圓孔狀以及銅的影響，制備出來的透射樣品在TEM里面很難清晰的觀察出阻擋層的厚度。因此要將銅去除后才能得到非常清晰的阻擋層圖片，但是傳統(tǒng)的承載樣品的銅柵是不能放入硝酸進行銅的去除，導致無法清晰的觀察阻擋...
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