技術(shù)編號(hào):9583010
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在利用化學(xué)氣相沉積法(W下,也稱為"CVD法")等制造碳納米管(W下,也稱為 "CNT")時(shí),有時(shí)在制造爐內(nèi)會(huì)附著由原料氣體中包含的碳等構(gòu)成的碳系副產(chǎn)物下,也 稱為"碳垢")。作為除去運(yùn)樣的碳垢的方法,已知有專利文獻(xiàn)1~3中記載的方法。 在專利文獻(xiàn)1中記載了向CNT的制造中使用的反應(yīng)管內(nèi)供給蒸汽從而將碳垢氣化 的方法。在專利文獻(xiàn)2中記載了向碳纖維的制造中使用的反應(yīng)爐內(nèi)導(dǎo)入二氧化碳,通過使 碳垢和二氧化碳反應(yīng),使碳垢成為一氧化碳?xì)怏w而排出的方法。在專利文獻(xiàn)...
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