技術(shù)編號：9599192
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著半導(dǎo)體工藝進入超大規(guī)模集成化(ULSI)時代，芯片上晶體管的幾何尺寸被不斷縮小以致接近物理極限。更小的器件提高了芯片的集成度，用以滿足日益復(fù)雜的電路功能需求。但是隨著線寬的減小，晶體管電學(xué)參數(shù)對幾何尺寸的敏感性越來越高。一些在長溝道器件中可以忽略的邊緣效應(yīng)成為了影響電學(xué)參數(shù)波動的主要因素。閾值電壓(Threshold Voltage)作為晶體管最重要的電學(xué)參數(shù)之一，一直被用來對其電學(xué)性能進行表征。電路的速度，噪聲容限都需要對閾值電壓做出精確的預(yù)測。由于...
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