技術編號：9634100
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，在一些聲學元件中，復合層結構中氧化物與氧化物絕緣層之間結合通常需要在超過1000°c的溫度中進行退火處理，才能形成良好的固定。然而，在市場中，比較傾向于使用較低的溫度進行退火處理，但是直接在較低的溫度中進行退火處理，氧化物與氧化物之間的結合效果并不理想，現(xiàn)有技術中，為了能夠實現(xiàn)在較低的溫度中進行退火處理，會在需要結合的氧化物表面進行等離子處理，如此，制作工藝便較為繁瑣。因此，有必要提供一種新的復合層結構來克服上述缺點。發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于提供一種...
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