技術(shù)編號：9764651
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 隨著光學(xué)制造技術(shù)的發(fā)展，干設(shè)測量技術(shù)已得到廣泛應(yīng)用。傳統(tǒng)的干設(shè)儀，如斐索 干設(shè)儀和泰曼-格林干設(shè)儀，一般采用標(biāo)準(zhǔn)透鏡來產(chǎn)生參考波前，其可達(dá)到的測量精度受標(biāo) 準(zhǔn)透鏡精度限制。點(diǎn)衍射干設(shè)儀利用一點(diǎn)衍射波前作為理想的球面參考波前，克服了由于 標(biāo)準(zhǔn)元件的精度限制，在高精度球面和平面等面形檢測W及=維坐標(biāo)絕對測量中得到了廣 泛應(yīng)用。相比于傳統(tǒng)的針孔點(diǎn)衍射干設(shè)儀W及單模光纖點(diǎn)衍射干設(shè)儀，亞微米孔徑光纖點(diǎn) 衍射干設(shè)儀由于可同時(shí)獲得大數(shù)值孔徑波前和高點(diǎn)衍射光能量，極大的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。