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      半導(dǎo)體疊層用粘接劑組合物的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9815968

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      本發(fā)明涉及一種在多層三維半導(dǎo)體的制造中疊層半導(dǎo)體芯片時(shí)使用的粘接劑組 合物。本申請主張2013年9月27日在日本申請的日本特愿2013-201592號(hào)、及2014年4月10日 在日本申請的日本特愿2014-081102號(hào)的優(yōu)先權(quán),將其內(nèi)容引用于此。背景技術(shù) 隨著電子設(shè)備的小型輕量化、大容量化,要求將半導(dǎo)體芯片高集成。但是,在電路 的微細(xì)化中,難以充分應(yīng)對該要求。因此,近年來,通過將多片半導(dǎo)體芯片縱向疊層來高集 成化。 在半導(dǎo)體芯片的疊層中使用粘接劑。作為...
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