專利名稱：半導(dǎo)體元件的除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種除塵裝置，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體元件的除塵裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體元件在完成封裝作業(yè)后通常會排列裝盛于一托盤內(nèi)，以方便日后運送及組 裝。然而，空氣中的污染塵會在存放與運送過程中附著于該托盤內(nèi)的所述半導(dǎo)體元件上，污 染塵會造成半導(dǎo)體元件操作特性變差，甚至導(dǎo)致半導(dǎo)體元件損壞，因此必須在組裝前對置 放于托盤內(nèi)的半導(dǎo)體元件進(jìn)行清潔，以確保組裝后的產(chǎn)品品質(zhì)。參閱圖1所示，現(xiàn)有用于半導(dǎo)體元件的除塵方式是使用一能輸出高壓氣流的高壓 氣槍13對所述半導(dǎo)體元件11進(jìn)行除塵，將附著于所述半導(dǎo)體元件11上的污染塵吹落并達(dá) 到清潔的效果。然而因承載所述半導(dǎo)體元件11的托盤12只設(shè)置多數(shù)凹槽121供容納各半導(dǎo)體元 件11，缺乏任何固定所述半導(dǎo)體元件11的設(shè)計，以致當(dāng)該高壓氣槍13對于所述半導(dǎo)體元件 11吹送高壓氣體進(jìn)行清潔的同時，一旦風(fēng)力大小控制不妥或是該高壓氣槍13對所述半導(dǎo) 體元件11的吹風(fēng)距離拿捏不當(dāng)，非常容易吹亂所述半導(dǎo)體元件11的排序，甚至將所述半導(dǎo) 體元件11自該托盤12吹落，造成必須再以人力將掉落的半導(dǎo)體元件11放回該托盤12的 凹槽121內(nèi)而導(dǎo)致作業(yè)上虛耗人力，所述半導(dǎo)體元件11甚至也可能因碰撞而損壞，造成生 產(chǎn)成本的損失。另外，該高壓氣槍13形成的高壓氣流過于集中，容易使吹入所述凹槽121內(nèi)的氣 流反彈形成擾流氣旋，造成污染塵四處飛揚并污染環(huán)境，進(jìn)而附著于其他的半導(dǎo)體元件11 形成二次污染，難以確實達(dá)到清潔的效果。由此可見，上述現(xiàn)有的半導(dǎo)體元件的除塵裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不 便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀 求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切結(jié)構(gòu)能 夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新的半導(dǎo)體元 件的除塵裝置，實屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于，克服現(xiàn)有的半導(dǎo)體元件的除塵裝置存在的缺陷，而提供 一種新的半導(dǎo)體元件的除塵裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其用以清潔并防止半導(dǎo)體元件 掉落，非常適于實用。本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本實 用新型提出的半導(dǎo)體元件的除塵裝置，包含有一個導(dǎo)引單元；一個限位單元，設(shè)置于該導(dǎo)引單元上，該限位單元包括一個用以對所述半導(dǎo)體元 件提供限位作用的遮罩網(wǎng)件，及多數(shù)個間隔設(shè)置于該導(dǎo)引單元上并與該遮罩網(wǎng)件相連接且能帶動該遮罩網(wǎng)件升降位移的升降驅(qū)動件；及一個除塵單元，包括一個設(shè)于該導(dǎo)引單元的除塵本體，及一個設(shè)于該除塵本體內(nèi) 的送風(fēng)管，該送風(fēng)管具有一個形成于該除塵本體上且供一外界氣體輸入的入風(fēng)孔、一個形 成于該除塵本體上且朝向該遮罩網(wǎng)件的出風(fēng)孔，借此所述外界氣體輸入該入風(fēng)孔并經(jīng)該送 風(fēng)管而由該出風(fēng)孔朝向該遮罩網(wǎng)件輸出，以對所述半導(dǎo)體元件進(jìn)行吹風(fēng)清潔作用。本實用新型的目的以及解決其技術(shù)問題還可以采用以下的技術(shù)措施來進(jìn)一步實 現(xiàn)。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，還包含一固設(shè)于該導(dǎo)引單元并朝向該限位單元而能 收集該除塵單元所吹揚的污染塵的吸塵單元。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，該吸塵單元具有一個固設(shè)于該導(dǎo)引單元的吸塵本 體、一個形成于該吸塵本體內(nèi)的容室、一個形成于該吸塵本體且與該容室相連通并朝向該 限位單元的吸塵孔，及一個形成于該吸塵本體并與該容室相連通且用以外接一抽風(fēng)機(jī)的排 出孔。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，該除塵單元的該送風(fēng)管還具有一個形成于該入風(fēng)孔 與該出風(fēng)孔間并用以將擾流氣旋整流成穩(wěn)定除塵氣流的整流室。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，該導(dǎo)引單元包括二個相間隔的滑軌，及一個可滑動 地設(shè)于所述滑軌上的滑動座，該除塵單元與該吸塵單元是設(shè)置于該滑動座上。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，還包含一驅(qū)動單元，該驅(qū)動單元與該導(dǎo)引單元的滑 動座相連接并用以驅(qū)動該滑動座沿所述滑軌往返移動。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，所述半導(dǎo)體元件是以多數(shù)個排列置于一托盤上，該 托盤可置于該導(dǎo)引單元的所述滑軌上并位于該遮罩網(wǎng)件下方，借由該驅(qū)動單元可使該除塵 單元與該吸塵單元對該托盤上的所述半導(dǎo)體元件進(jìn)行除塵與吸塵。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，該遮罩網(wǎng)件具有一個設(shè)于所述升降驅(qū)動件上的框 架、一個設(shè)于該框架上的網(wǎng)體，及多數(shù)個間隔排列地形成于該網(wǎng)體上的網(wǎng)孔。前述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，該導(dǎo)引單元還包括一個設(shè)于所述滑軌間的輸送帶， 及一個用以驅(qū)動該輸送帶的輸送驅(qū)動件。借由上述技術(shù)方案，本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置至少具有下列優(yōu)點及有益 效果借由該遮罩網(wǎng)件遮蔽所述半導(dǎo)體元件，該除塵單元透過該遮罩網(wǎng)件吹送除塵氣流對 所述半導(dǎo)體元件進(jìn)行清潔，借由該遮罩網(wǎng)件避免所述半導(dǎo)體元件在清潔的過程中被吹落， 并防止所述半導(dǎo)體元件因為碰撞而損壞。綜上所述，本實用新型是有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件的除塵裝置，包含一導(dǎo)引單元、一 限位單元，及一除塵單元。該限位單元包括一個用以將所述半導(dǎo)體元件限位于一托盤內(nèi)的 遮罩網(wǎng)件。該除塵單元設(shè)置于該導(dǎo)引單元上，并可以透過該遮罩網(wǎng)件對所述半導(dǎo)體元件吹 送除塵氣流以進(jìn)行清潔。借由該遮罩網(wǎng)件可使所述半導(dǎo)體元件穩(wěn)固地置于該托盤內(nèi)，并避 免所述半導(dǎo)體元件被除塵氣流吹落。該除塵單元包括一整流室，該整流室可將輸入的氣流 整流成穩(wěn)定的除塵氣流并避免污染塵在清潔的過程中飛揚而造成二次污染。本實用新型在 技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技 術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
圖1是說明現(xiàn)有使用高壓氣槍的除塵方式的示意圖。圖2是說明本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置的第一較佳實施例的局部剖視圖。圖3是說明該第一較佳實施例的驅(qū)動單元的伸縮桿伸長時的態(tài)樣的俯視圖。圖4是說明該第一較佳實施例的該遮罩網(wǎng)件下降時的態(tài)樣的側(cè)視圖。圖5是說明該第一較佳實施例的驅(qū)動單元的伸縮桿縮短時的態(tài)樣的俯視圖。圖6是說明本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置的第二較佳實施例的俯視圖。
具體實施方式
為更進(jìn)一步闡述本實用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下 結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的半導(dǎo)體元件的除塵裝置其具體實施方 式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。在本實用新型被詳細(xì)描述前，要注意的是，在以下的說明內(nèi)容中，類似的元件是以 相同的編號來表示。參閱圖2與圖3所示，本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置的第一較佳實施例，所述 半導(dǎo)體元件21是分別放置于一托盤22的多數(shù)凹槽221內(nèi)。該除塵裝置包含一導(dǎo)引單元3、一限位單元4、一除塵單元5、一吸塵單元6，及一驅(qū) 動單元7。該導(dǎo)引單元3包括二個彼此相間隔的支撐件30、二個分別設(shè)置于所述支撐件30內(nèi) 側(cè)的滑軌31，及一可滑動地設(shè)于所述滑軌31上的滑動座32。該限位單元4包括一個可將該托盤22上的半導(dǎo)體元件21限位于凹槽221內(nèi)的遮 罩網(wǎng)件41，及多數(shù)個固設(shè)于該支撐件30的升降驅(qū)動件42。該遮罩網(wǎng)件41具有一框架411、 一設(shè)于該框架411上的網(wǎng)體412，及多數(shù)個間隔排列地形成于該網(wǎng)體412上并可以使氣流通 過的網(wǎng)孔413。每一升降驅(qū)動件42具有一固設(shè)于該支撐件30的作動缸421，及一延伸自該 作動缸421的升降桿422，該升降桿422遠(yuǎn)離該作動缸421的一端連接于該遮罩網(wǎng)件41的 框架411上。借由該作動缸421驅(qū)動該升降桿422伸縮活動以連動該遮罩網(wǎng)件41升降位 移。該除塵單元5包括一固設(shè)于該導(dǎo)引單元3的滑動座32上的除塵本體51，及一設(shè)于 該除塵本體51內(nèi)的送風(fēng)管52。該送風(fēng)管52具有一形成于該除塵本體51上并用以外接一 送風(fēng)機(jī)8的入風(fēng)孔521、一形成于該除塵本體51上且朝向該遮罩網(wǎng)件41的出風(fēng)孔522，及 一形成該入風(fēng)孔521與該出風(fēng)孔522間用以將該送風(fēng)機(jī)8所輸入的氣流整理成除塵氣流的 整流室523。該吸塵單元6包括一固設(shè)于該導(dǎo)引單元3的滑動座32上的吸塵本體61、一形成于 該吸塵本體61內(nèi)的容室62、一形成于該吸塵本體61并與該容室62相連通且用以朝向該遮 罩網(wǎng)件41而收集該除塵單元5所吹揚的污染塵的吸塵孔63，及一形成于該吸塵本體61且 與該容室62相連通并用以外接一抽風(fēng)機(jī)9的排出孔64。在本實施例中，該吸塵單元6是外接于該抽風(fēng)機(jī)9來產(chǎn)生吸力，但是只要能達(dá)到相
5同功效，當(dāng)然也可以使用真空幫浦(又稱真空泵)、排風(fēng)扇取代該抽風(fēng)機(jī)9。該驅(qū)動單元7具有一驅(qū)動缸71，及一延伸自該驅(qū)動缸71的伸縮桿72，該伸縮桿72 遠(yuǎn)離該驅(qū)動缸71的一端連接于該滑動座32并可驅(qū)動該滑動座32沿所述滑軌31來回移動。 在本實施例中，該驅(qū)動缸71是以氣動的形式連動該伸縮桿72，當(dāng)然也可以使用油壓或其他 方式作動。參閱圖2與圖4所示，在使用時，所述升降驅(qū)動件42先是驅(qū)動該遮罩網(wǎng)件41上升， 使得裝盛有半導(dǎo)體元件21的托盤22可置于所述滑軌31上并位于該遮罩網(wǎng)件41下方，待 該托盤22置妥后，所述升降驅(qū)動件42再驅(qū)動該遮罩網(wǎng)件41下降，使得該遮罩網(wǎng)件41覆蓋 住該托盤22并將所述半導(dǎo)體元件21限位于所述凹槽221內(nèi)。參閱圖2與圖3所示，當(dāng)所述半導(dǎo)體元件21被該遮罩網(wǎng)件41遮蔽于該托盤22內(nèi) 后，啟動該送風(fēng)機(jī)8及該抽風(fēng)機(jī)9，借該送風(fēng)機(jī)8將氣流輸入該除塵單元5的入風(fēng)孔521并 經(jīng)由該整流室523整流成穩(wěn)定的除塵氣流，進(jìn)而由該出風(fēng)孔522朝向該遮罩網(wǎng)件41吹出， 并透過該遮罩網(wǎng)件41對該托盤22內(nèi)的所述半導(dǎo)體元件21進(jìn)行吹風(fēng)清潔，再利用該抽風(fēng)機(jī) 9對該吸塵單元6的容室62抽風(fēng)，進(jìn)而使前述被吹揚的污染塵經(jīng)由該吸塵單元6的吸塵孔 63被吸入該容室62中再由該排出孔64排出。參閱圖3與圖5所示，借由該驅(qū)動單元7的伸縮桿72的伸縮以帶動該滑動座32 沿所述滑軌31相對于該遮罩網(wǎng)件41來回移動。該除塵單元5與該吸塵單元6并隨著該滑 動座32同步位移，同時借除塵氣流將所述半導(dǎo)體元件21的污染塵吹起，再以該吸塵單元6 將污染塵吸收排出，達(dá)到對所述半導(dǎo)體元件21進(jìn)行清潔的效果。當(dāng)該滑動座32沿所述滑軌31往返一趟后，該除塵單元5與該吸塵單元6就停止 運作，接著所述升降驅(qū)動件42會驅(qū)動該遮罩網(wǎng)件41上升，使該托盤22易于取出。特別說明的是，在本實施例中，該除塵單元5與該吸塵單元6是往返皆進(jìn)行除塵與 吸塵，當(dāng)然也可以只在該驅(qū)動單元7的伸縮桿72將該滑動座32拉靠近該驅(qū)動缸71時進(jìn)行 清潔，當(dāng)該伸縮桿72將時該滑動座32推遠(yuǎn)離該驅(qū)動缸71時，該除塵單元5與吸塵單元6 就停止運作。相較于現(xiàn)有對于半導(dǎo)體元件21的除塵方式而言，本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵 裝置借由該遮罩網(wǎng)件41所提供的限位功能，使所述半導(dǎo)體元件21經(jīng)過氣流吹襲卻依然不 會脫離該托盤22，避免所述半導(dǎo)體元件21因為被該除塵單元5吹落或被該吸塵單元6吸入 而造成損壞與作業(yè)上的不便。并以該除塵單元5的整流室523將輸入的氣體整理成穩(wěn)定的 除塵氣流，避免污染塵脫離所述半導(dǎo)體元件21后四處飛揚造成所述半導(dǎo)體元件21 二次污
^fe ο此外，制程(又稱制造工藝)上不須針對各種形式的托盤22進(jìn)行更換，該遮罩網(wǎng) 件41可相對各種形式的托盤22進(jìn)行覆蓋限位的功能，所以各式托盤22可直接使用，增進(jìn)
工作效率。參閱圖6所示，本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置的第二較佳實施例大致類似于 該第一較佳實施例，不同的地方是在于該導(dǎo)引單元3還包括一設(shè)于所述滑軌31間并用以 將該托盤22輸送通過該遮罩網(wǎng)件41下方的輸送帶33，及一設(shè)于該導(dǎo)引單元3的所述支撐 件30上并用以連動該輸送帶33轉(zhuǎn)動的輸送驅(qū)動件34。在本實施例中，該輸送驅(qū)動件34為 可以連動該輸送帶33的滾輪，當(dāng)然也可以使用鏈條或其他可以連動輸送帶33的方式。[0048]在使用時，該托盤22由該輸送帶33送入并位于該遮罩網(wǎng)件41下方時，該輸送驅(qū) 動件34會停止運作，然后所述升降驅(qū)動件42會驅(qū)動該遮罩網(wǎng)件41下降，并將所述半導(dǎo)體 元件21限位于所述凹槽221內(nèi)。接著再以該驅(qū)動單元7使該除塵單元5與該吸塵單元6 沿所述滑軌31來回移動并進(jìn)行清潔。在完成來回一趟的清潔后，所述升降驅(qū)動件42驅(qū)動 該遮罩網(wǎng)件41升起，該輸送驅(qū)動件34連動該輸送帶33進(jìn)而將該托盤22送出。借由該輸 送帶33與該輸送驅(qū)動件34將該托盤22送入并進(jìn)行清潔的自動化作業(yè)模式可進(jìn)一步提升 作業(yè)效率。如上述，本實用新型半導(dǎo)體元件的除塵裝置是借由該限位單元4的遮罩網(wǎng)件41將 所述半導(dǎo)體元件21遮蔽限位于該托盤22的所述凹槽221內(nèi)，該除塵單元5透過該遮罩網(wǎng) 件41吹送穩(wěn)定的除塵氣流對所述半導(dǎo)體元件21進(jìn)行清潔，可避免所述半導(dǎo)體元件21在清 潔的過程中被吹落而造成損壞，另在除塵過程中，同時借該吸塵單元6吸收揚起的污染塵， 避免污染塵四處飛揚以致二次污染所述半導(dǎo)體元件21。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上 的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟 悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容 作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi) 容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍 屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于，包含一個導(dǎo)引單元；一個限位單元，設(shè)置于該導(dǎo)引單元上，該限位單元包括一個用以對所述半導(dǎo)體元件提供限位作用的遮罩網(wǎng)件，及多數(shù)個間隔設(shè)置于該導(dǎo)引單元上并與該遮罩網(wǎng)件相連接且能帶動該遮罩網(wǎng)件升降位移的升降驅(qū)動件；及一個除塵單元，包括一個設(shè)于該導(dǎo)引單元的除塵本體，及一個設(shè)于該除塵本體內(nèi)的送風(fēng)管，該送風(fēng)管具有一個形成于該除塵本體上且供一外界氣體輸入的入風(fēng)孔、一個形成于該除塵本體上且朝向該遮罩網(wǎng)件的出風(fēng)孔，借此所述外界氣體輸入該入風(fēng)孔并經(jīng)該送風(fēng)管而由該出風(fēng)孔朝向該遮罩網(wǎng)件輸出，以對所述半導(dǎo)體元件進(jìn)行吹風(fēng)清潔作用。
2.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于還包含一固設(shè)于該導(dǎo)引單 元并朝向該限位單元而能收集該除塵單元所吹揚的污染塵的吸塵單元。
3.如權(quán)利要求2所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于該吸塵單元具有一個固設(shè) 于該導(dǎo)引單元的吸塵本體、一個形成于該吸塵本體內(nèi)的容室、一個形成于該吸塵本體且與 該容室相連通并朝向該限位單元的吸塵孔，及一個形成于該吸塵本體并與該容室相連通且 用以外接一抽風(fēng)機(jī)的排出孔。
4.如權(quán)利要求3所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于該除塵單元的該送風(fēng)管還 具有一個形成于該入風(fēng)孔與該出風(fēng)孔間并用以將擾流氣旋整流成穩(wěn)定除塵氣流的整流室。
5.如權(quán)利要求4所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于該導(dǎo)引單元包括二個相間 隔的滑軌，及一個可滑動地設(shè)于所述滑軌上的滑動座，該除塵單元與該吸塵單元是設(shè)置于 該滑動座上。
6.如權(quán)利要求5所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于還包含一驅(qū)動單元，該驅(qū)動 單元與該導(dǎo)引單元的滑動座相連接并用以驅(qū)動該滑動座沿所述滑軌往返移動。
7.如權(quán)利要求6所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于所述半導(dǎo)體元件是以多數(shù) 個排列置于一托盤上，該托盤可置于該導(dǎo)引單元的所述滑軌上并位于該遮罩網(wǎng)件下方，借 由該驅(qū)動單元可使該除塵單元與該吸塵單元對該托盤上的所述半導(dǎo)體元件進(jìn)行除塵與吸
8.如權(quán)利要求7所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于該遮罩網(wǎng)件具有一個設(shè)于 所述升降驅(qū)動件上的框架、一個設(shè)于該框架上的網(wǎng)體，及多數(shù)個間隔排列地形成于該網(wǎng)體 上的網(wǎng)孔。
9.如權(quán)利要求8所述半導(dǎo)體元件的除塵裝置，其特征在于該導(dǎo)引單元還包括一個設(shè) 于所述滑軌間的輸送帶，及一個用以驅(qū)動該輸送帶的輸送驅(qū)動件。
專利摘要本實用新型是有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件的除塵裝置，包含一導(dǎo)引單元、一限位單元，及一除塵單元。該限位單元包括一個用以將所述半導(dǎo)體元件限位于一托盤內(nèi)的遮罩網(wǎng)件。該除塵單元設(shè)置于該導(dǎo)引單元上，并可以透過該遮罩網(wǎng)件對所述半導(dǎo)體元件吹送除塵氣流以進(jìn)行清潔。借由該遮罩網(wǎng)件可使所述半導(dǎo)體元件穩(wěn)固地置于該托盤內(nèi)，并避免所述半導(dǎo)體元件被除塵氣流吹落。該除塵單元包括一整流室，該整流室可將輸入的氣流整流成穩(wěn)定的除塵氣流并避免污染塵在清潔的過程中飛揚而造成二次污染。
文檔編號B08B13/00GK201632453SQ201020000420
公開日2010年11月17日 申請日期2010年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月13日
發(fā)明者朱文慶, 薛伯承 申請人:薛伯承;朱文慶