專利名稱：一種玻璃晶圓清洗治具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種治具，尤其涉及一種玻璃晶圓清洗治具。
背景技術(shù)：
光學(xué)玻璃晶圓主要應(yīng)用在精密的電子、數(shù)碼產(chǎn)品、儀器儀表及光學(xué)元件等領(lǐng)域，對晶圓的表面要求有極高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精準(zhǔn)度。玻璃晶圓的生產(chǎn)制程精密，其中，清洗工藝也是生產(chǎn)制程中關(guān)鍵的一環(huán)。當(dāng)前的清洗工藝主要采用超聲波清洗機(jī)進(jìn)行操作，在清洗工藝中既要保證玻璃晶圓表面的有機(jī)物、顆粒、雜質(zhì)、自然氧化層等物質(zhì)的有效去除，又要有效地保護(hù)玻璃晶圓表面特性。因此，產(chǎn)品在清洗過程中如何放置也是影響清洗效果的重要因素，將產(chǎn)品放置在專用的清洗治具上可大大提高清洗效果。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種玻璃晶圓清洗用的治具，以達(dá)到提高清洗效果，保證產(chǎn)品質(zhì)量的目的。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:—種玻璃晶圓清洗治具,其包括:兩側(cè)擋板和連接兩側(cè)擋板的至少三根擋條；所述各擋條上對應(yīng)設(shè)有多個卡槽，每個擋條上的一個卡槽均能與其他擋條上的一個卡槽落在同一平面內(nèi)；所述兩側(cè)擋板上對稱設(shè)有一對通孔。優(yōu)選的，所述擋條與兩側(cè)所述擋板通過螺栓鎖緊固定。優(yōu)選的，所述擋板上還設(shè)有用于調(diào)整擋條位置的附加鎖緊螺孔。
優(yōu)選的，所述擋條包括四根。通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型所公開的玻璃晶圓清洗治具，是將玻璃晶圓一片片插置在對應(yīng)設(shè)置的卡槽內(nèi)，可同時清洗多片，該治具結(jié)構(gòu)簡單，體積小巧結(jié)實(shí)，兩側(cè)的擋板上還設(shè)有通孔，便于清洗液流通順暢，使玻璃晶圓得到充分清洗，不僅提高了清洗效果，還保證了產(chǎn)品質(zhì)量。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種玻璃晶圓清洗治具的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種玻璃晶圓清洗治具，如圖1所示，該清洗治具，包括:兩側(cè)擋板I和四根擋條2，擋條兩端分別與兩側(cè)擋板通過螺栓連接鎖緊，形成一邊框體。各擋條上都對應(yīng)設(shè)有多個卡槽3，每個擋條上的一個卡槽均能與其他擋條上的一個卡槽落在同一平面內(nèi)，這樣玻璃晶圓可插放在位于同一平面上的四個卡槽內(nèi)，支撐該晶圓平穩(wěn)放置。兩側(cè)的擋板I上還對稱設(shè)有一對通孔4，便于清洗液體在治具內(nèi)流動通暢，使治具上的玻璃晶圓能充分得到清洗。兩側(cè)擋板上還設(shè)有用于調(diào)整擋條位置的附加鎖緊螺孔5，根據(jù)要清洗的玻璃晶圓的尺寸可調(diào)整擋條的位置，以符合玻璃晶圓的放置。上述實(shí)施例中，擋條為四根，在其它實(shí)施例中，擋條也可以為三根或五根等，本實(shí)用新型不作限定。本實(shí)用新型所公開的玻璃晶圓清洗治具，是將玻璃晶圓一片片插置在對應(yīng)設(shè)置的卡槽內(nèi)，可同時清洗多片，該治具結(jié)構(gòu)簡單，體積小巧結(jié)實(shí)，兩側(cè)的擋板上還設(shè)有通孔，便于清洗液流通順暢，使玻璃晶圓得到充分清洗，不僅提高了清洗效果，還保證了產(chǎn)品質(zhì)量。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神之內(nèi)所做的修改及 同等變換，均應(yīng)落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種玻璃晶圓清洗治具，其特征在于，包括:兩側(cè)擋板和連接兩側(cè)擋板的至少三根擋條；所述各擋條上對應(yīng)設(shè)有多個卡槽，每個擋條上的一個卡槽均能與其他擋條上的一個卡槽落在同一平面內(nèi)；所述兩側(cè)擋板上對稱設(shè)有一對通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶圓清洗治具，其特征在于，所述擋條與兩側(cè)所述擋板通過螺栓鎖緊固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶圓清洗治具，其特征在于，所述擋板上還設(shè)有用于調(diào)整擋條位置的附加鎖緊螺孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的一種玻璃晶圓清洗治具，其特征在于，所述擋條包括四 根。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種玻璃晶圓清洗治具，其包括兩側(cè)擋板和連接兩側(cè)擋板的至少三根擋條；所述各擋條上對應(yīng)設(shè)有多個卡槽，每個擋條上的一個卡槽均能與其他擋條上的一個卡槽落在同一平面內(nèi)；所述兩側(cè)擋板上對稱設(shè)有一對通孔，通過本實(shí)用新型提出的玻璃晶圓清洗用的治具，可以達(dá)到提高清洗效果，保證產(chǎn)品質(zhì)量的目的。
文檔編號B08B13/00GK203140395SQ20132007685
公開日2013年8月21日 申請日期2013年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月19日
發(fā)明者平尾誠 申請人:泰庫尼思科電子(蘇州)有限公司