一種晶振片回收裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種晶振片回收裝置，包括：密封腔體，所述腔體中設有用于盛放待回收晶振片的承載臺，所述腔體上設有排氣口；用于對待回收晶振片進行加熱的加熱器。本實用新型的晶振片回收裝置將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節(jié)約了成本。
【專利說明】一種晶振片回收裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶振片回收利用領域，特別是涉及一種晶振片回收裝置。
【背景技術】
[0002]晶振片在膜厚控制領域是必不可少的控制元器件。晶振片的基本原理就是晶振的頻率會隨著膜厚的增加而改變，通過測試頻率的變化來確定膜厚和速率。同時，晶振片又屬于消耗型源器件，在使用后往往會報廢掉，產生一筆很大的費用。
[0003]常用的晶振片回收方法是:針對有機的晶振片采用溶液清洗，金屬的晶振片采用酸液清洗。這些方法都屬于化學方法，晶振片處理完成后精度和壽命都會下降，影響到晶振片的重復利用的精度。
實用新型內容
[0004]為了解決現(xiàn)有的晶振片在回收利用時采用化學方法清洗，晶振片處理完成后精度和壽命都會下降的問題。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型的實施例提供一種晶振片回收裝置，包括:
[0006]密封腔體，所述腔體中設有用于盛放待回收晶振片的承載臺，所述腔體上設有排氣口 ；
[0007]用于對待回收晶振片進行加熱的加熱器，所述加熱器設置在承載臺上方與待回收晶振片相對的位置。
[0008]進一步地，還包括用于對待回收晶振片進行冷卻的液體冷卻器，所述液體冷卻器設置在所述承載臺上。
[0009]進一步地，所述液體冷卻器采用循環(huán)液體。
[0010]進一步地，所述液體冷卻裝置包括水、油或乙二醇溶液中的一種或多種。
[0011 ] 進一步地，所述加熱器為電子束加熱器、紅外加熱器、微波加熱器、電阻加熱器或者紫外加熱器。
[0012]進一步地，所述加熱器包括電子束加熱器，所述電子束加熱器與各個待回收晶振片 對應設置。
[0013]進一步地，還包括用于對所述腔體進行真空處理的真空器，所述真空器與所述排氣口相連接。
[0014]進一步地，所述真空器為真空栗。
[0015]進一步地，還包括控制單元，所述控制單元與加熱器相連接，用于向加熱器發(fā)送加熱的控制信號。
[0016]進一步地，還包括控制單元，所述控制單元與真空器相連接，用于向真空器發(fā)送抽真空的控制信號。
[0017]本實用新型的上述技術方案的有益效果如下:本實用新型的晶振片回收裝置將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節(jié)約了成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型提供的一種實施例晶振片回收裝置的結構示意圖；
[0019]圖2為本實用新型的一種實施例的加熱器的結構示意圖；
[0020]圖3為本實用新型的一種實施例的承載臺的結構示意圖；
[0021]圖4為電子束加熱器的結構示意圖；
[0022]圖5為本實用新型提供的第二種實施例晶振片回收裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]為使本實用新型要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0024]如圖1所示，為本實用新型提供的一種實施例的結構示意圖，該晶振片回收裝置包括:
[0025]密封腔體100，所述密封腔體中設有用于盛放待回收晶振片200的承載臺101和排氣口，承載臺101上設有多個容納空間，待回收晶振片200放置在承載臺101的容納空間中;
[0026]加熱器300，用于對待回收晶振片進行加熱，以蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物，所述加熱器設置在與待回收晶振片相對的位置，即設置于空腔中承載臺的上方與晶振片相對應的位置。
[0027]本實用新型的晶振片回收裝置將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節(jié)約了成本。
[0028]參閱圖1和3，本實用新型的晶振片回收裝置還包括用于對待回收晶振片進行冷卻的液體冷卻器400，所述液體冷卻器設置在所述承載臺上，用于對承載臺進行液體冷卻。本實用新型的腔體可以是各種適合的形狀，優(yōu)選地，該腔體上設有排氣口，便于排出氣體。為了便于放入和取出晶振片，還在腔體上設有腔門。
[0029]如圖3所示，為本實用新型的一種實施例的承載臺的結構示意圖，承載臺101的一側設有待回收晶振片200，另一側設有液體冷卻器400。該液體冷卻器用于防止晶振片加熱溫度過高，避免溫度驟升，破壞晶振片有機材料的性能。該液體冷卻器可以是水或者油，優(yōu)選地，為循環(huán)液體，所述循環(huán)液體設置在承載臺101放置晶振片相反的一側。由于待回收晶振片的周圍設有液體，使得加熱的溫度較為緩慢升高，避免了溫度的驟升所造成的晶振片損壞。該液體冷卻器400也可以確保晶振片在整個工藝過程中處于一個相對低的溫度環(huán)境中，防止溫度驟升所造成的性質發(fā)生改變。
[0030]如圖2所示，為本實用新型的一種實施例的加熱器的結構示意圖，該加熱器300用于對待回收晶振片進行加熱，以蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物。該加熱器可以是電子束加熱器、紅外加熱器、微波加熱器、電阻加熱器中的一種或多種，加熱器可以設置成線狀或者平面狀。優(yōu)選地，本實用新型的加熱器200包括比例-積分-微分(Proportion IntegrationDifferentiatiomPID)控制器，所述PID控制器用于對待回收晶振片的溫度進行控制。其中，PID控制器是一個在工業(yè)控制應用中常見的反饋回路部件。這個控制器把收集到的數(shù)據(jù)和一個參考值進行比較，然后把這個差別用于計算新的輸入值，這個新的輸入值的目的是可以讓系統(tǒng)的數(shù)據(jù)達到或者保持在參考值。PID控制器可以根據(jù)歷史數(shù)據(jù)和差別的出現(xiàn)率來調整輸入值，使系統(tǒng)更加準確而穩(wěn)定。
[0031]如圖4所示，為本實施例的電子束加熱器的結構示意圖，該加熱器為電子束加熱器，所述電子束加熱器與各個待回收晶振片一一對應設置。該電子束加熱器包括燈絲301、聚束極302、陽極303、聚焦線圈304、x軸偏轉線圈305、y軸偏轉線圈306等，電子束在燈絲生成，通過聚束極(陰極)聚集后加速到陽極，通過陽極后在磁場作用下加熱到各個晶振片對應設置，從而可以對各個晶振片進行加熱回收。電子束加熱器為現(xiàn)有技術，在此不再贅述。
[0032]再次參閱圖1，本實用新型的晶振片回收裝置還包括用于對所述腔體進行真空處理的真空器500，所述真空器與所述排氣口相連接，用于對腔體進行真空處理，使得晶振片回收過程是在真空環(huán)境下完成，避免了晶振片受到污染。該真空器可以為各種實現(xiàn)真空處理的裝置，優(yōu)選為真空栗，真空栗通過腔體上的排氣口來抽真空。
[0033]如圖5所示，為本本實用新型第二種實施例的晶振片回收裝置的結構示意圖，該實施例與第一種實施例基本相同，其區(qū)別是:還包括控制單元600，所述控制單元與加熱器相連接，用于向加熱器發(fā)送加熱的控制信號。本實用新型的控制單元600還可以與真空器500相連接，用于向真空器發(fā)送抽真空的控制信號。
[0034]該實施例還在各個待回收晶振片上連接有溫度傳感器，各個溫度傳感器分別與該控制單元600相連接，用于向控制單元發(fā)送待回收晶振片的溫度。此時，控制單元可以根據(jù)接收到的溫度來控制加熱器進行加熱的溫度。例如，可以預先設置一標準溫度，當控制單元接收到晶振片的溫度低于該標準溫度時，給加熱器發(fā)出升溫的控制信號，使得加熱單元對晶振片進行加熱，使得晶振片表面的有機物蒸發(fā)掉；當接收到的溫度低于該標準溫度時，給加熱器發(fā)出降溫的控制信號，使得加熱器停止或者暫停加熱，避免了能量的浪費。
[0035]以下對本實用新型一種實施例的晶振片回收裝置的工作過程進行說明:
[0036]步驟一:將報廢晶振片放在晶振片載物臺上；
[0037]步驟二:封閉密封腔體，對腔體進行抽真空，開冷卻水；
[0038]步驟三:使用電子束加熱，對晶振片進行加熱，使得晶振片表面有機物蒸發(fā)。
[0039]步驟四:泄真空，將處理完的晶振片取出。
[0040]本實用新型采用物理的方法來處理晶振片，將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發(fā)掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節(jié)約了成本。
[0041]以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種晶振片回收裝置，其特征在于，包括: 密封腔體，所述腔體中設有用于盛放待回收晶振片的承載臺，所述腔體上設有排氣P; 用于對待回收晶振片進行加熱的加熱器，所述加熱器設置在承載臺上方與待回收晶振片相對的位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括用于對待回收晶振片進行冷卻的液體冷卻器，所述液體冷卻器設置在所述承載臺上。
3.根據(jù)權利要求2所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述液體冷卻器采用循環(huán)液體。
4.根據(jù)權利要求3所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述循環(huán)液體為水、油或者乙二醇溶液。
5.根據(jù)權利要求1-4任何一項所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述加熱器為電子束加熱器、紅外加熱器、微波加熱器、電阻加熱器或者紫外加熱器。
6.根據(jù)權利要求5所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述加熱器包括電子束加熱器，所述電子束加熱器與各個待回收晶振片一一對應設置。
7.根據(jù)權利要求1-4任何一項所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括用于對所述腔體進行真空處理的真空器，所述真空器與所述排氣口相連接。
8.根據(jù)權利要求7所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述真空器為真空栗。
9.根據(jù)權利要求1-4任何一項所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元與加熱器相連接，用于向加熱器發(fā)送加熱的控制信號。
10.根據(jù)權利要求7所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元與真空器相連接，用于向真空器發(fā)送抽真空的控制信號。
【文檔編號】B08B3/10GK203599144SQ201320591113
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年9月24日 優(yōu)先權日:2013年9月24日
【發(fā)明者】趙德江, 張家奇 申請人:京東方科技集團股份有限公司