用于制造半導(dǎo)體和顯示器的工藝的清潔劑組合物的制作方法
【專利摘要】本申請案涉及用于制造半導(dǎo)體和顯示器的工藝的清潔劑組合物。清潔劑組合物包括0.01wt%到3wt%氨基酸螯合劑、0.01wt%到0.5wt%有機(jī)酸、0.01wt%到1.0wt%無機(jī)酸、0.01wt%到5wt%堿化合物和0.01wt%到98wt%去離子DI水，從而使得所述組合物是pH為8到13的基于水的堿且能在防止反向吸附和銅腐蝕的同時移除顆粒和有機(jī)污染物。此外，所述清潔劑組合物可進(jìn)一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑。另外，可用所述苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑替代所述氨基酸螯合劑。因此，本發(fā)明可提供清潔劑組合物，其具有改良的金屬雜質(zhì)移除能力且能在抑制銅腐蝕和反向吸附的同時移除有機(jī)污染物。通過控制蝕刻速率，本發(fā)明可提供能用于銅蝕刻、殘余物移除和各種其它應(yīng)用的清潔劑組合物。
【專利說明】用于制造半導(dǎo)體和顯示器的工藝的清潔劑組合物
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于制造半導(dǎo)體和顯示器的工藝的清潔劑組合物。更具體來說，本發(fā)明涉及在制造半導(dǎo)體和TFT-1XD的工藝中具有清潔、蝕刻和移除功能的組合物。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著信息技術(shù)快速發(fā)展，已開始執(zhí)行大規(guī)模集成電路(LS1、ULSI, VLSI)的小型化、高密度和高度集成，而且業(yè)內(nèi)正在研發(fā)多層布線技術(shù)。為完成多層導(dǎo)線，需要減小導(dǎo)線之間的間距和容量。為此，最近已使用具有低電阻率的銅(Cu)作為導(dǎo)線材料。
[0003]在制造半導(dǎo)體裝置的過程中，半導(dǎo)體裝置可經(jīng)受清潔以移除諸如顆粒、金屬原子、有機(jī)材料等污染物，由此提高半導(dǎo)體裝置的可靠性。然而，由于這一清潔過程可造成腐蝕或銅的反向粘著，典型清潔劑組合物很難在防止出現(xiàn)所述問題的同時具有增強(qiáng)的移除顆?；蛴袡C(jī)污染物的功能。
[0004]朝鮮專利公開案第10-2004-003211IA號揭示經(jīng)緩沖的含有氟化物的水性蝕刻殘余物移除劑和清潔劑，其PH為大于7.0到約11.0。所述發(fā)明涉及使用弱酸或質(zhì)子化堿作為緩沖溶液的能移除抗蝕劑并蝕刻殘余物的組合物，其在大于7.0到約11.0的pH范圍內(nèi)有效。然而，這種組合物的問題在于，這種組合物不能靠螯合劑和緩沖劑功能同時實現(xiàn)對Cu腐蝕和反向吸附的足夠防護(hù)與顆?；蛴袡C(jī)污染物的移除。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目標(biāo)是提供清潔劑組合物，其為pH在8到13范圍內(nèi)的基于水的堿且能在防止反向吸附和銅腐蝕的同時移除顆粒和有機(jī)污染物。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一個方面,清潔劑組合物包括0.01重量％(wt%)到3wt%氨基酸螯合劑、0.01wt%到0.5wt%有機(jī)酸、0.01wt%到1.0wt%無機(jī)酸、0.01wt%到5wt%堿化合物和0.01wt%到98wt%去離子(DI)水，從而使得所述組合物是pH介于8到13范圍內(nèi)的基于水的堿且能在防止反向吸附和銅腐蝕的同時移除顆粒和有機(jī)污染物。
[0007]氨基酸螯合劑可包括選自由以下組成的群組的至少一者:Ac-甘氨酸、甘氨酸、甘氨酸-13C、甘氨酸-2，2-d、甘氨酸-N，N, Ο-d、甘氨酸-d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨酸、Z-甘氨酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸芐酯、甘氨酸芐酯、甘氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸檸檬酸鹽、甘氨酸鈷鹽、甘氨酸甲酚紅、甘氨酸甲酚紅、甘氨酸乙基酯、甘氨酸-d2-N-Fmoc、甘氨酸延胡索酸鹽、大豆(glycine max)、甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨酸-15N、醫(yī)藥級甘氨酸、 甘氨酸磷酸鹽、試劑級甘氨酸、甘氨酸鈉鹽、甘氨酸硫酸鹽、甘氨酸百里酚藍(lán)、甘氨二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲苯胺、甘氨酸鋅鹽、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸鹽、黃豆黃苷、糖基、葡萄糖胺、山柑子堿、MTH-甘氨酸、聚甘氨酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸、三甘氨酸、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸-13C4、乙二胺四乙酸-dl、乙二胺四乙酸-d4、乙二胺四乙-dl2酸、乙二胺四乙酸銨鹽、乙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸鈣、乙二胺四乙酸鈣二鈉鹽、乙二胺四乙酸銅鹽、乙二胺四乙酸二銨銅鹽溶液、乙二胺四乙酸銅二銨鹽、乙二胺四乙酸二銨鹽水合物、乙二胺四乙酸二鈣鹽、乙二胺四乙酸二鈣鹽、乙二胺四乙酸二鋰鹽、乙二胺四乙酸二鋰鹽水合物、乙二胺四乙酸二鉀鎂鹽、乙二胺四乙酸二鉀鹽、乙二胺四乙酸二鉀鹽2-水合物、乙二胺四乙酸二鉀鹽、乙二胺四乙酸二鈉鋇鹽、乙二胺四乙酸二鈉鈣鹽、乙二胺四乙酸二鈉鈷鹽、乙二胺四乙酸二鈉銅鹽、乙二胺四乙酸二鈉鉛鹽、乙二胺四乙酸二鈉鎂鹽、乙二胺四乙酸二鈉鎂鹽、乙二胺四乙酸二鈉錳鹽、乙二胺四乙酸二鈉鎳鹽、乙二胺四乙酸二鈉鹽、乙二胺四乙酸二鈉鹽2-水合物、乙二胺四乙酸二鈉鹽溶液、乙二胺四乙酸二鈉鋅鹽、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸鐵(III)銨鹽、乙二胺四乙酸鐵(III) 一鈉鹽、乙二胺四乙酸鐵(III)鉀鹽、乙二胺四乙酸鐵
(III)鈉鹽、乙二胺四乙酸鐵(III)鈉鹽3-水合物、乙二胺四乙酸鐵(III)鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸鎂二鈉鹽、乙二胺四乙酸錳鹽、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸、單酸酐、乙二胺四乙酸一鈉鉍鹽、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四天冬氨酸八[酰胺基[N-(2-氨基乙基)馬來酰亞胺]]、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四[N-(2-氨基乙基)馬來酰亞胺]、乙二胺四乙酸四甲基酯、乙二胺四乙酸四甲基酯硫酸鹽、乙二胺四乙酸四鉀鹽、乙二胺四乙酸四鈉鹽、乙二胺四乙酸四鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽2-水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽
4-水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸三乙基酯鹽酸鹽、乙二胺四乙酸三鉀鹽、乙二胺四乙酸三鉀鹽2-水合物、乙二胺四乙酸三鈉鹽、乙二胺四乙酸三鈉鹽、乙二胺四乙酸三鈉鹽1-水合物、乙二胺四乙酸三鈉鹽1-水合物、乙二胺四乙酸三鈉鹽3-水合物、乙二胺四乙酸鋅二鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸鋅鹽、乙二胺四乙酸二酸酐、環(huán)己二胺四乙酸、反式-1，2-環(huán)己二胺四乙酸、反式-1，2-環(huán)己二胺四乙酸
1-水合物、1，2-二氨基丙烷四乙酸、二乙基氨基-乙酸、二亞乙基三胺五乙酸二酸酐、乙二胺四乙酸二鈉、(乙烷二硫 代亞基四)四乙酸、乙二胺四(亞甲基膦酸)、二乙酸乙二胺、二乙酰胺乙酸乙二胺、乙二胺四乙腈、乙二胺四(亞甲基膦酸)、乙二胺四丙酸、六亞甲基二胺四亞甲基膦酸、六亞甲基二胺四(亞甲基膦酸)、乙二胺四乙酸鐵(III)、甲氧基亞氨基-乙酸、2-甲基乙酰乙酸、(2-甲基苯甲?；?氨基乙酸、亞甲基二水楊酸、甲基亞氨基二乙酸、苯基氨基乙酸、鄰亞苯基二乙酸、對亞苯基二乙酸、N，N，N' ,N' -1，4-亞苯基二胺四乙酸、1，3-丙二胺五乙酸、1,3-丙二胺-N，N，N' ,N'-四乙酸、丙二胺四乙酸、胸腺嘧啶-1-乙酸、1-(亞芐基氨基)仲班酸、2-二乙基氨基甲基丙烯酸、4-二乙基氨基水楊酸、二甲基二苯胺對苯二甲酸、乙-d4-二胺-1-N-叔Boc、二(乙二胺)氯化鈷、乙二胺二鹽酸鹽、乙二胺氫溴酸鹽、乙二胺鹽酸鹽、(乙二胺)氯化鈀(II)、乙二胺二-L-(+)_酒石酸鹽、4-(甲基氨基)丁酸、2_(甲基氨基)乙磺酸、甲基β-神經(jīng)氨酸、12-甲基十四烷酸、13-甲基十四烷酸、間苯二胺-4-磺酸、對亞苯基二胺-2-磺酸、對苯二胺-鄰-磺酸和吡嗪四甲酸。
[0008]此外，有機(jī)酸可包括選自由以下組成的群組的至少一者:乳酸、(+/-)_乳酸、D-(-)_乳酸、DL-乳酸、L(+)_乳酸、(S)-(-)乳酸芐酯、D-乳酸-芐酯、乳酸正丁基酯、L-乳酸鈣鹽、乳酸十二烷基酯、L-(-)_乳酸乙基酯、乳酸乙基酯、L-(+)_乳酸半鋅鹽、乳酸異戊基酯、(R)_(+)_乳酸異丁基酯、D-(-)_乳酸鋰鹽、DL-乳酸鋰鹽、DL-乳酸鋰鹽、L-(+)_乳酸鋰鹽、L-乳酸鋰鹽、乳酸鋰鹽、L-乳酸鎂鹽3-水合物、乳酸薄荷基酯、D-(+)_乳酸甲基酯、乳酸甲基酯、DL-乳酸、L-乳酸鉀鹽、乳酸粉末、DL-乳酸、L-(+)_乳酸銀鹽、DL-乳酸-14C鈉、D-乳酸鈉鹽、L- (+)-乳酸鈉鹽、DL-乳酸鈉鹽、L (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、L- (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、乙酸、乙酸d4、乙酸-1-13C，d4、乙酸-13C2、乙酸-1802、乙酸_2，2，2_d3、乙酸-2-13C，2，2，2-d3、乙酸_dl、乙酸_d4、乙-2，2，2_d3酸、乙酸鋁鈉鹽、草酸銨甲酯、乙酸銨銅鹽、乙酸銨鋅鹽、乙酸正戊基酯、乙-1，2-13C2酸1，I'-酐、乙-1-14C酸1，I'-酐、3-乙酸苯硼酸、4-乙酸-苯硼酸、乙酸溴二苯基甲基酯、乙酸2-溴乙基酯、乙酸3- 丁烯-1-基酯、乙酸3- 丁烯-2-基酯、乙酸反式-2- 丁烯基酯、乙酸2-叔丁基環(huán)己基酯、乙酸正丁基酯、乙酸叔丁基酯、乙酸4-叔丁基苯基酯、乙酸2- 丁炔基酯、乙酸-1-13C、乙酸-2-13C、乙酸
2-氯乙基酯、乙酸6-氯-1H-吲哚-3-基酯、乙酸肉桂基酯、乙酸鈷鹽、乙酸銅鹽、乙酸1-氰基-2-丙烯基酯、乙酸1-氰基乙烯基酯、乙酸環(huán)己基酯、乙酸環(huán)己基乙基酯、乙-d3酸-D1、乙酸9-癸烯-1-基酯、乙酸反式-2-癸烯-1-基酯、乙酸正癸基酯、乙酸二乙氧基甲基酯、乙酸2- 二甲基氨基乙基酯、乙酸2，5- 二甲基苯基酯、乙酸正十二烷基酯、乙酸2-乙基丁基酯、乙酸乙基酯、乙酸2-乙基己基酯、乙酸2-乙基苯基酯、乙酸4-乙基苯基酯、乙酸甲?；?、乙酸5-甲?；?2-呋喃基甲基酯、乙酸香葉基酯、冰乙酸、乙酸反式-2-庚烯-1-基酯、乙酸正庚基酯、乙酸5-己烯-1-基酯、乙酸順式-3-己烯-1-基酯、乙酸反式-2-己烯-1-基酯、乙酸正己基酯、乙酸2-羥基乙基酯、乙酸N-羥基琥珀酰亞胺酯、N-乙酸-吲哚-3-甲醛、乙酸4-碘-丁基酯、乙酸異戊基酯、乙酸異冰片基酯、乙酸異丁基酯、乙酸異丙烯基酯、乙酸4-異丙基芐酯、乙酸異丙基酯、乙酸亞異丙基-酰肼、乙酸薰衣草酯、乙酸4-甲氧基芐酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、乙酸3-甲氧基-3-甲基丁基酯、乙酸2-甲氧基苯基酯、乙酸甲氧基丙基酯、乙酸4-甲基芐酯、乙酸2-甲基丁基酯、乙酸2-甲基環(huán)己基酯、乙酸順式-4-甲基環(huán)己基酯、乙酸反式-3-甲基環(huán)己基酯、乙酸4-甲基環(huán)己基甲基酯、乙酸甲基酯、乙酸3-甲基己基酯、乙酸1-甲基-2-氧代丙基酯、乙酸2-甲基-4-戊烯-2-基酯、乙酸2-甲基戊基酯、乙酸3-甲基戊基酯、乙酸4-甲基-2-戊基酯、乙酸甲基硫代甲基酯、乙酸4-甲基傘形基酯、乙酸單甘油酯、乙酸4-硝基芐酯、乙酸2-硝基苯基酯、乙酸4-硝基苯基酯、乙酸對硝基苯基酰肼、乙酸8-壬烯-1-基酯、乙酸順式-6-壬烯-1-基酯、乙酸2-壬基酯、乙酸正壬基酯、乙酸正十八烷基酯、乙酸7-辛烯-1-基酯、乙酸正辛基酯、乙酸油基酯、乙酸2-氧代-環(huán)己-3-烯基酯、乙酸6-氧代-環(huán)己-1-烯基酯、乙酸4-氧代-環(huán)己基酯、乙酸2-氧代-丙基酯、乙酸4-戊烯-1-基 酯、乙酸2-苯氧基乙基酯、乙酸苯基酯、乙酸1-苯基乙基酯、乙酸
2-苯基乙基酯、乙酸炔丙基酯、乙酸2-丙酰基苯基酯、乙酸正丙基酯、3-(乙酸)吡啶鹽酸鹽、乙酸吡啶基鹽、乙-d3酸鈉鹽、[1-14C]乙酸鈉鹽、乙酸溶液、乙酸間甲苯基酯、乙酸鄰甲苯基酯、乙酸對甲苯基酯、乙酸1-對甲苯基-乙基酯、乙酸正十三烷基酯、乙酸三乙胺溶液、乙酸3，5，5-三甲基己基酯、乙酸乙烯基酯、乙酸2-乙烯基苯基酯和乙酸4-乙烯基苯基酯。
[0009]無機(jī)酸可包括選自由以下組成的群組的至少一者:鹽酸和磷酸。
[0010]堿化合物可包括選自由以下組成的群組的至少一者:四甲基氫氧化銨、四甲基乙酸銨、四甲基苯甲酸銨、四甲基碳酸氫銨、四甲基硫酸氫銨1-水合物、四甲基硼氫化銨、四甲基溴化銨、四甲基氯化銨、四甲基氟化銨、四甲基氟化銨3-水合物、四甲基氟化銨4-水合物、四甲基甲酸銨、四甲基甲酸銨溶液、四甲基[α _( β -D-吡喃葡萄糖基)苯亞乙烯基氨基]硫酸銨、四甲基六氟磷酸銨、四甲基鄰苯二甲酸氫銨、四甲基硫酸氫銨、四甲基硫酸氫銨水合物、四甲基氫氧化銨、四甲基氫氧化銨5-水合物、四甲基氫氧化銨溶液、四甲基按(1_羥基亞乙基)五擬基絡(luò)、四甲基[4_羥基-α - (1-硫代-β-D-吡喃匍萄糖基)苯亞乙烯基氨基]硫酸銨、四甲基碘化銨、四甲基銨甲基硫酸鹽、四甲基硝酸銨、四甲基八氫三硼酸銨、四甲基高氯酸銨、四甲基磷酸銨、四甲基硅酸銨、四甲基硅酸銨溶液、四甲基硫酸銨、四甲基四氟硼酸銨、四甲基四苯基硼酸銨、四甲基硫代乙酸銨、四甲基對甲苯磺酸銨、四甲基三乙酰氧基硼氫化銨、四甲基三溴化銨、四甲基三氟甲醇銨、芐基三乙基氫氧化銨、芐基三甲基甲氧化銨、十六烷基三甲基溴化銨、己基三甲基溴化銨、甲基溴化銨、十八烷基三甲基氯化銨、四正丁基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨30-水合物、四丁基(4-羥基)氫氧化銨、十四烷基三甲基溴化銨、十四烷基三甲基氯化銨、四乙醇?xì)溲趸@、四乙基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨溶液、四乙基氫氧化銨溶液、四正己基氫氧化銨、四甲基-dl2-溴化銨、四甲基-dl2-氯化銨、四甲基硫酸氫銨、四正辛基氫氧化銨、四戊基氫氧化銨、四戊基氫氧化銨溶液、四丙基氫氧化銨、三乙基苯基氫氧化銨、三甲基溴化銨、三甲基氯化銨、三甲基碘化銨、三甲基氫氧化锍、四丁基硼氫化銨、四丁基溴化銨、四丁基氯化銨、四丁基硫化氫銨、四丁基甲氧化銨、四癸基氯化銨、四乙基硼氫化銨、四乙基溴化銨、四乙基氯化銨、四乙基氰化銨、四乙基氟化銨、四乙基硫酸氫銨、四乙基碘化銨、四乙基硫氰化銨、四己基氯化銨、四辛基氯化銨、四戊基溴化銨、四戊基碘化銨、四戊基硫氰化銨和三乙基氯化銨。
[0011 ] 可將清潔劑組合物維持在PH8到13。
[0012]清潔劑組合物可進(jìn)一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑，其中所述苯甲酸腐蝕抑制劑可包括選自由以下組成的群組的至少一者:5_氨基-1，3-苯二甲酸、2-氨基-1，4-苯二甲酸、3-氨基-1，2-苯二甲酸、5-氨基苯-1，3-二甲酸、3-氨基-苯噻吩-2-甲酸、1-氨基苯-2，4，5-三甲酸、1-氨基苯-2，4，6-三甲酸、1-氨基苯-3，4，5-三甲酸、5-氨基-1，2，3-苯三甲酸、2-氨基二苯甲酮-2'-甲酸、5-氨基-1-苯并噻吩-2-甲酸、4-氨基-2-氟苯甲酸、4-氨基-3-氟苯甲酸、4-氨基-2-甲氧基苯甲酸、5-氨基-2-嗎啉基苯甲酸、2-(4-氨基苯氧基) 苯甲酸、偶氮苯-3，3' - 二甲酸、偶氮苯_4，4' -二甲酸、N-苯甲酰苯胺-4，4' -二甲酸、1,2-苯二甲酸、1,3-苯二甲酸、1,4-苯二甲酸、苯-1,3-二甲酸二烯丙基酯、1，2-苯二甲酸二癸基酯、1，2-苯二甲酸二壬基酯、1，2-苯二甲酸二戊基酯、苯六甲酸、苯六甲酸六甲基酯、苯五甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸-d、苯-1，2，3，4-四甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、1，3，5-苯-d3_三甲酸、1，3，5-苯三甲酸、苯-1，2，4-三甲酸、苯-1,3，5-三甲酸、1，2，3-苯三甲酸2-水合物、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、(IH)-苯并咪唑-7-甲酸、IH-苯并咪唑-2-甲酸、IH-苯并咪唑-4-甲酸、IH-苯并咪唑-5-甲酸、IH-苯并咪唑-7-甲酸、2-苯并咪唑甲酸、5-苯并咪唑甲酸、苯并咪唑-5-甲酸、苯并咪唑-5，6-二甲酸、2，1-苯并異噻唑-3-甲酸、2，1-苯并異噁唑-3-甲酸、1-苯并環(huán)丁烯甲酸、(R)-1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-5-甲酸、(R)-1, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、⑶-1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、I, 4-苯并二噁烷-6-甲酸、I, 3-苯并間二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、I, 3-苯并間二氧雜環(huán)戊烯-4-甲酸、苯并[1，3]間二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、1-苯并呋喃-3-甲酸、1-苯并呋喃-5-甲酸、2，3-苯并呋喃-2-甲酸、2-苯并呋喃甲酸、苯并(b)呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-3-甲酸、苯并呋喃-4-甲酸、苯并呋喃-6-甲酸、苯并呋喃-7-甲酸、2，3-苯并呋喃二甲酸、苯并呋咱-5-甲酸、苯并氧化呋咱-5-甲酸、3H-苯并[e]吲哚-2-甲酸、苯并[d]異噁唑-3-甲酸、苯并[d]噁唑-6-甲酸、苯并噁唑-2-甲酸、二苯甲酮-2-甲酸、二苯甲酮_4，4' -二甲酸、3，3' ,4,4/ -二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮-3,3' ,4,4/ -四甲酸、苯并[b]碲吩-2-甲酸、1，2，3-苯并噻唑-5-甲酸、1,3-苯并噻唑-6-甲酸、苯并[d]噻唑-7-甲酸、苯并噻唑-2-甲酸、苯并噻唑-5-甲酸、苯并噻唑-6-甲酸、1-苯并噻吩-3-甲酸、1-苯并噻吩-5-甲酸、苯并[b]噻吩-2-甲酸、苯并[b]噻吩-3-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并噻吩-2-甲酸、IH-苯并三唑-5-甲酸、苯并三唑-4-甲酸、5-苯并噁唑甲酸、3-(苯甲?；被?-2-噻吩甲酸、
1-苯甲酰基-3-氮雜環(huán)丁烷甲酸、2-苯甲?；h(huán)己烷甲酸、順式-2-苯甲?；h(huán)己烷-1-甲酸、2-苯甲酰基-1H-吲哚-3-甲酸、1-苯甲酰基哌啶-2-甲酸、1-苯甲?；哙?4-甲酸、
2-苯甲?；?3-吡啶甲酸、3-苯甲酰基吡啶-2-甲酸、1-苯甲酰基吡咯烷-2-甲酸、3-苯甲酰基-4-喹啉甲酸、3-苯甲?；?4-甲酸、3-苯甲?；?2-噻吩甲酸、1-(芐基)氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1-芐基-2-氮雜環(huán)丁烷甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁燒-3-甲酸、1-芐基氮雜環(huán)丁燒-2-甲酸酰胺、1-芐基-4-boc-哌嗪-2-甲酸、1-節(jié)基環(huán)丁烷-1-甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)己烷甲酸、1-芐基環(huán)戊烷甲酸、1-芐基環(huán)丙烷甲酸、1-芐基-1H-吲唑-3-甲酸、1-芐基吲唑基-3-甲酸、1-芐基吲哚-3-甲酸、2-芐基異吲哚啉-4-甲酸、4-芐基-嗎啉-2-甲酸、4-芐基-嗎啉-3-甲酸、4-芐基嗎啉-3-甲酸、3-芐基-2-噁唑烷甲酸、3-芐氧基-環(huán)丁烷甲酸、4-芐氧基吲哚-2-甲酸、5-芐氧基-2-吲哚甲酸、5-芐氧基吲哚-2-甲酸、6-芐氧基-1H-吲哚-2-甲酸、6-芐氧基-1H-吲哚-3-甲酸、7-芐氧基-1H-吲哚-3-甲酸、6-(芐氧基)吡啶-2-甲酸、8-(芐氧基)喹啉-7-甲酸、(R)-4-芐基哌嗪-2-甲酸、1-芐基-1,3-哌嗪二甲酸、1-芐基-2-哌啶甲酸、1-芐基哌啶-3-甲酸、1-芐基哌啶-4-甲酸、1-芐基-吡咯烷-3-甲酸、N-芐基-3-吡咯烷甲酸、2-(芐基硫基)苯甲酸、2-芐基-噻唑烷-4-甲酸、2-聯(lián)芐基甲酸、5-溴苯甲酸、4-溴-1，3-苯二甲酸、4-溴苯-1，2- 二甲酸、5-溴-1，3-苯二甲酸、7-溴苯并呋喃-2-甲酸、5-溴-1-苯并呋喃-2-甲酸、3-溴苯并噻吩-2-甲酸、4-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-2-苯并噁唑甲酸、3-(叔丁氧基)苯甲酸、5-叔丁基-1，3-苯二甲酸、2-氯苯并呋喃-5-甲酸、3-氯苯并呋喃-5-甲酸、5-氯苯并呋喃-2-甲酸、4'-氯二苯甲酮-2-甲酸、3-氯苯并[b]-2-噻吩甲酸、3-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、5-氯-2-苯并噁唑甲酸、2-氯-5-羥基苯甲酸、2-氯-4-嗎啉基苯甲酸、二苯并呋喃-3-甲酸、二苯并呋喃-4-甲酸、1，4-二芐基哌嗪-2-甲酸、3，5-二溴-2-甲氧基苯甲酸、2，5- 二氟-4-硝基苯甲酸、4，5- 二氟-2-硝基苯甲酸、2，3- 二氫苯并呋喃_7_甲酸、3，4- 二硝基-1，2-苯二甲酸、4，6- 二硝基-1，3-苯二甲酸、2，5- 二苯基苯-1，4- 二甲酸、7-乙氧基苯并呋喃-2-甲酸、4-氟苯-1，3- 二甲酸、6-氟-1，3-苯并二氧雜環(huán)己烯_8_甲酸、4-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-氟-4-硝基苯甲酸、3-氟-4-硝基苯甲酸、2-羥基苯硫代甲酸、4-羥基-1，2-苯二甲酸、5-羥基苯-1，2，4-三甲酸、4-羥基苯并呋喃-3-甲酸、4'-羥基二苯甲酮-2-甲酸、4-(2-羥基 乙氧基)苯甲酸、3-碘苯-1，2- 二甲酸、4-碘-1，2-苯二甲酸、4-碘-苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-(異戊氧基)苯甲酸、5-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、7-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、2-(4-甲氧基苯甲酰基)苯甲酸、2-甲基-1，4-苯二甲酸、5-甲基苯-1，3- 二甲酸、2-甲基苯并呋喃-7-甲酸、3-甲基苯并呋喃-2-甲酸、3-甲基苯并呋喃-5-甲酸、
6-甲基-苯并呋喃-2-甲酸、2-甲基苯并[b]噻吩-7-甲酸、3-甲基苯并噻吩-2-甲酸、
5-甲基-1-苯并噻吩-2-甲酸、6-甲基苯并[b]噻吩-2-甲酸、2-甲基-5-苯并噁唑甲酸、5-嗎啉基-2-硝基苯甲酸、(R)-N-芐基-哌啶-2-甲酸、⑶-N-芐基-哌啶-2-甲酸、3-硝基-1，2-苯二甲酸、4-硝基-1，3-苯二甲酸、1-硝基苯-3，4，5-三甲酸、5-硝基-1，2，3-苯三甲酸、5-硝基苯并呋喃-2-甲酸、5-硝基-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-(4-硝基苯氧基)苯甲酸、3-氧代-3H-苯并[f]色烯-2-甲酸、2-(2-丙炔氧基)苯甲酸、4-(2-嘧啶氧基)苯甲酸、5-磺基-1，2，4-苯三甲酸和四氟苯-1，4-二甲酸。另外，苯并三唑腐蝕抑制劑可包括選自由以下組成的群組的至少一者:1-烯丙基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、
2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2-氨基三唑、氨基三唑、貝曲嗪喏(Bemotrizinol)、苯噻硫氰(benthiazole)、苯并咪唑、2，1_苯并異噻唑、節(jié)硝唑(benznidazol)、苯佐巴比妥(benzobarbital)、苯雌酌.(benzoestrol)、苯并呋喃酚、節(jié)腈、苯頻哪醇、苯頻哪醇、2_苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2，3-苯并三唑、IH-苯并三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、三氯甲苯、三氟甲苯、苯并1I惡唑、苯并1I惡唑酮、苯酰甲硝唑、2-苯甲?；邕颉⒈洁缏?benzthiazuron)、4_芐基異噻唑、倍他唑(Betazole)、葉枯唑(bismerthiazol)、并奧克三唑(bisoctrizole)、5_溴苯并三唑、布美三唑(bumetrizole)、丁基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑(clotrimazole)、德美曲咕唑(demetridazole)、二甲硝唑(dimetridazole)、依替沙唑(etisazole)、土菌靈(etridiazole)、三氟苯唑(fIuotrimazole)、麥穗寧(fuberidazole)、1-羥基苯并三唑、4_羥基苯并三唑、羥基苯并三唑、2_碘苯并噻唑、拉貝洛爾(Iabetalol)、甲硝唑(metronidazole)、奈康唑(neticonazole)、5_ 硝基苯并三唑、奧克三唑(Octrizole)U-氧基苯并三唑、5-甲基-1H-噻唑并[4，5_d]-l，2，3-三唑、四唑、甲基苯并三唑、三唑侖(triazolam)、6_氯-1-甲氧基-苯并三唑、2，2' -[(IH-苯并三唑-1-基甲基)亞氨基]雙乙醇和5-甲基-1H-噻唑并[4，5-d]-l,2, 3-三唑(9CI)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一方面,清潔劑組合物包括0.01wt%到3wt%苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑、0.01wt°/c^lj 0.5￥丨％有機(jī)酸、0.01wt°/c^lj 1.(^丨％無機(jī)酸、0.01wt°/c^lj 5wt°Mj^化合物和 0.01wt% 到 98wt%DI 水。
[0014]本發(fā)明可提供清潔劑組合物，其具有改良的金屬雜質(zhì)移除能力且能在防止反向吸附和銅腐蝕的同時移除有機(jī)污染物。
[0015]通過控制蝕刻速率，本發(fā)明可提供適用于銅蝕刻、殘余物移除和各種清潔劑的清潔劑組合物。
【專利附圖】

【附圖說明】【具體實施方式】
[0016]在下文中，將更詳細(xì)地闡述本發(fā)明的實施例。
[0017]盡管將參照所述實施例更詳細(xì)地闡述本發(fā)明，但應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明，且決不應(yīng)視作限制本發(fā)明。
[0018]本發(fā)明清潔劑組合物是pH介于8到13范圍內(nèi)的基于水的堿且能在防止反向吸附和銅腐蝕的同時移除顆粒和有機(jī)污染物。清潔劑組合物可包括0.01wt%到3wt%氨基酸螯合劑、0.01wt%到0.5wt%有機(jī)酸、0.01wt%到1.0wt%無機(jī)酸、0.01wt%到5wt%堿化合物和
0.01wt% 到 98wt% 去離子(DI)水。
[0019]本發(fā)明清潔劑組合物可除了這些組份以外進(jìn)一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑，或用其代替所述氨基酸螯合劑，由此使得能在防止銅腐蝕的同時控制蝕刻速率。
[0020]本發(fā)明清潔劑組合物使用螯合劑和無機(jī)酸移除金屬污染物，且所移除金屬結(jié)合到緩沖劑以形成含氧或含氮化合物。
[0021]本發(fā)明清潔劑組合物包括pH介于8到13范圍內(nèi)的堿性溶劑以移除有機(jī)/無機(jī)顆粒。首先，有機(jī)/無機(jī)顆?？稍阢~表面上施加范德華力(Van der Waals force),之后發(fā)生蝕刻且伴隨螯合劑的配體毛細(xì)管現(xiàn)象，隨后藉助靜電排斥發(fā)揮有機(jī)/無機(jī)顆粒移除效應(yīng)。 [0022]在本發(fā)明清潔劑組合物中，可通過堿性溶劑描述對銅腐蝕和反向吸附的預(yù)防。在堿性溶劑的pH為8或更低時，銅可沉淀，由此引起反向吸附。另一方面，在堿性溶劑的pH為13或更高時，銅可變?yōu)镠Cu02_，由此引起銅腐蝕。因此，在本發(fā)明中，使用pH介于8到13范圍內(nèi)的堿性溶劑。
[0023]在本發(fā)明清潔劑組合物中，可通過使用緩沖劑的浸泡溶液效應(yīng)描述銅表面上的性能維持和對極性變化的預(yù)防。也就是說，螯合劑的配體從銅表面吸引呈M+形式的銅，之后使用緩沖劑防止M+的再吸附，由此形成M-N或M-O化合物。此一過程稱為浸泡溶液功能。
[0024]此外，本發(fā)明清潔劑組合物可使用去離子水的比例控制銅蝕刻速率，由此解決殘余量、銅損壞和洗滌后殘余物問題。
[0025]< 實例 1>
[0026]制備包括作為氨基酸螯合劑的2wt%乙二胺四乙酸、作為有機(jī)酸的0.5wt%乙酸、作為無機(jī)酸的0.2wt%鹽酸、作為堿化合物的3wt%四甲基氫氧化銨和94wt%DI水(DIW)的組合物，之后用DIW將其稀釋20倍，且在Cu玻璃中加以評估。另外，使用現(xiàn)有材料執(zhí)行比較測試，所述現(xiàn)有材料也就是DIW和0.5wt%四甲基氫氧化銨(TMAH)，其中只使用螯合劑(參見表1)。
[0027]表1 ( ◎:極佳，O:良好，Δ:不錯，X:差)
[0028]
【權(quán)利要求】
1.一種清潔劑組合物，其包含: 0.01wt%到3wt%氨基酸螯合劑，
0.01wt% 到 0.5wt% 有機(jī)酸，
0.01wt% 到 1.0wt% 無機(jī)酸， 0.01wt%到5wt%喊化合物，和 0.01wt%到98wt%去離子DI水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其中所述氨基酸螯合劑包含選自由以下組成的群組的至少一者:Ac-甘氨酸、甘氨酸、甘氨酸-13C、甘氨酸-2，2-d、甘氨酸-N，N, 0_d、甘氨酸-d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨酸、Z-甘氨酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸芐酯、甘氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸檸檬酸鹽、甘氨酸鈷鹽、甘氨酸甲酚紅、甘氨酸乙基酯、甘氨酸-d2-N-Fmoc、甘氨酸延胡索酸鹽、大豆、甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨酸-15N、醫(yī)藥級甘氨酸、甘氨酸磷酸鹽、試劑級甘氨酸、甘氨酸鈉鹽、甘氨酸硫酸鹽、甘氨酸百里酚藍(lán)、甘氨二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲苯胺、甘氨酸鋅鹽、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸鹽、黃豆黃苷、糖基、葡萄糖胺、山柑子堿、MTH-甘氨酸、聚甘氨酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸、三甘氨酸、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸-13C4、乙二胺四乙酸-dl、 乙二胺四乙酸-d4、乙二胺四乙-dl2酸、乙二胺四乙酸銨鹽、乙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸鈣、乙二胺四乙酸鈣二鈉鹽、乙二胺四乙酸銅鹽、乙二胺四乙酸二銨銅鹽溶液、乙二胺四乙酸銅二銨鹽、乙二胺四乙酸二銨鹽水合物、乙二胺四乙酸二鈣鹽、乙二胺四乙酸二鋰鹽、乙二胺四乙酸二鋰鹽水合物、乙二胺四乙酸二鉀鎂鹽、乙二胺四乙酸二鉀鹽、乙二胺四乙酸二鉀鹽2-水合物、乙二胺四乙酸二鈉鋇鹽、乙二胺四乙酸二鈉鈣鹽、乙二胺四乙酸二鈉鈷鹽、乙二胺四乙酸二鈉銅鹽、乙二胺四乙酸二鈉鉛鹽、乙二胺四乙酸二鈉鎂鹽、乙二胺四乙酸二鈉錳鹽、乙二胺四乙酸二鈉鎳鹽、乙二胺四乙酸二鈉鹽、乙二胺四乙酸二鈉鹽2-水合物、乙二胺四乙酸二鈉鹽溶液、乙二胺四乙酸二鈉鋅鹽、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸鐵(III)銨鹽、乙二胺四乙酸鐵(III) 一鈉鹽、乙二胺四乙酸鐵(III)鉀鹽、乙二胺四乙酸鐵(III)鈉鹽、乙二胺四乙酸鐵(III)鈉鹽3-水合物、乙二胺四乙酸鐵(III)鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸鎂二鈉鹽、乙二胺四乙酸錳鹽、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸單酸酐、乙二胺四乙酸一鈉鉍鹽、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四天冬氨酸八[酰胺基[N-(2-氨基乙基)馬來酰亞胺]]、乙二胺-N，N，N' ,N'-四乙酸四[N-(2-氨基乙基)馬來酰亞胺]、乙二胺四乙酸四甲基酯、乙二胺四乙酸四甲基酯硫酸鹽、乙二胺四乙酸四鉀鹽、乙二胺四乙酸四鈉鹽、乙二胺四乙酸四鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽2-水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽4-水合物、乙二胺四乙酸四鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸三乙基酯鹽酸鹽、乙二胺四乙酸三鉀鹽、乙二胺四乙酸三鉀鹽2-水合物、乙二胺四乙酸三鈉鹽、乙二胺四乙酸三鈉鹽1-水合物、乙二胺四乙酸三鈉鹽3-水合物、乙二胺四乙酸鋅二鈉鹽水合物、乙二胺四乙酸鋅鹽、乙二胺四乙酸二酸酐、環(huán)己二胺四乙酸、反式-1，2-環(huán)己二胺四乙酸、反式-1，2-環(huán)己二胺四乙酸1-水合物、1，2_ 二氨基丙烷四乙酸、二乙基氨基-乙酸、二亞乙基三胺五乙酸二酸酐、乙二胺四乙酸二鈉、(乙烷二硫代亞基四)四乙酸、乙二胺四(亞甲基膦酸)、乙二胺二乙酸鹽、二乙酰胺乙酸乙二胺、乙二胺四乙腈、乙二胺四(亞甲基膦酸)、乙二胺四丙酸、六亞甲基二胺四亞甲基膦酸、六亞甲基二胺四(亞甲基膦酸)、乙二胺四乙酸鐵(III)、甲氧基亞氨基-乙酸、2-甲基乙酰乙酸、(2-甲基苯甲?；?氨基乙酸、亞甲基二水楊酸、 甲基亞氨基二乙酸、苯基氨基乙酸、鄰亞苯基二乙酸、對亞苯基二乙酸、N，N，N,，N, -1，4-亞苯基二胺四乙酸、1，3-丙二胺五乙酸、1，3-丙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸、丙二胺四乙酸、胸腺嘧啶-1-乙酸、1_(亞芐基氨基)仲班酸、2-二乙基氨基甲基丙烯酸、4-二乙基氨基水楊酸、二甲基二苯胺對苯二甲酸、乙-d4-二胺-1-N-叔Boc、三(乙二胺)氯化鈷、乙二胺二鹽酸鹽、乙二胺氫溴酸鹽、乙二胺鹽酸鹽、(乙二胺)氯化鈀(II)、乙二胺二-L-(+)-酒石酸鹽、4-(甲基氨基)丁酸、2-(甲基氨基)乙磺酸、甲基β-神經(jīng)氨酸、12-甲基十四烷酸、13-甲基十四烷酸、間苯二胺-4-磺酸、對亞苯基二胺-2-磺酸、對苯二胺-鄰-磺酸和吡嗪四甲酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其中所述有機(jī)酸包含選自由以下組成的群組的至少一者:乳酸、(+/_)-乳酸、D-H-乳酸、DL_乳酸、L(+)-乳酸、(S)-(-)乳酸芐酯、D-乳酸-芐酯、乳酸正丁基酯、L-乳酸鈣鹽、乳酸十二烷基酯、L-(-)_乳酸乙基酯、乳酸乙基酯、L-(+)-乳酸半鋅鹽、乳酸異戊基酯、(R) -(+)-乳酸異丁基酯、D-(-)-乳酸鋰鹽、DL-乳酸鋰鹽、DL-乳酸鋰鹽、L-(+)_乳酸鋰鹽、L-乳酸鋰鹽、乳酸鋰鹽、L-乳酸鎂鹽3-水合物、乳酸薄荷基酯、D-(+)_乳酸甲基酯、乳酸甲基酯、DL-乳酸、L-乳酸鉀鹽、乳酸粉末、DL-乳酸、L- (+)-乳酸銀鹽、DL-乳酸-14C鈉、D-乳酸鈉鹽、L- (+)-乳酸鈉鹽、DL-乳酸鈉鹽、L (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、L- (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、乙酸、乙酸d4、乙酸-1-13C，d4、乙酸-13C2、乙酸-1802、乙酸-2，2，2-d3、乙酸-2-13C, 2，2，2_d3、乙酸-dl、乙酸 _d4、乙-2，2，2_d3酸、乙酸鋁鈉鹽、草酸銨甲酯、乙酸銨銅鹽、乙酸銨鋅鹽、乙酸正戊基酯、乙-1，2-13C2酸1，1'-酐、乙-1-14C酸1，I'-酐、3-乙酸苯硼酸、4-乙酸-苯硼酸、乙酸溴二苯基甲基酯、乙酸2-溴乙基酯、乙酸3- 丁烯-1-基酯、乙酸3- 丁烯-2-基酯、乙酸反式-2- 丁烯基酯、乙酸2-叔丁基環(huán)己基酯、乙酸正丁基酯、乙酸叔丁基酯、乙酸4-叔丁基苯基酯、乙酸2- 丁炔基酯、乙酸-1-13C、乙酸-2-13C、乙酸2-氯乙基酯、乙酸6-氯-1H-吲哚-3-基酯、乙酸肉桂基酯、乙酸鈷鹽、乙酸銅鹽、乙酸1-氰基-2-丙烯基酯、乙酸1-氰基乙烯基酯、乙酸環(huán)己基酯、乙酸環(huán)己基乙基酯、乙-d3酸-Dl、乙酸9-癸烯-1-基酯、乙酸反式-2-癸烯-1-基酯、乙酸正癸基酯、乙酸二乙氧基甲基酯、乙酸2- 二甲基氨基乙基酯、乙酸2，5- 二甲基苯基酯、乙酸正十二烷基酯、乙酸2-乙基丁基酯、乙酸乙基酯、乙酸2-乙基己基酯、乙酸2-乙基苯基酯、乙酸4-乙基苯基酯、乙酸甲?；ァ⒁宜?-甲?；?2-呋喃基甲基酯、乙酸香葉基酯、冰乙酸、乙酸反式-2-庚烯-1-基酯、乙酸正庚基酯、乙酸5-己烯-1-基酯、乙酸順式-3-己烯-1-基酯、乙酸反式-2-己烯-1-基酯、乙酸正己基酯、乙酸2-羥基乙基酯、乙酸N-羥基琥珀酰亞胺酯、N-乙酸-吲哚-3-甲醛、乙酸4-碘-丁基酯、乙酸異戊基酯、乙酸異冰片基酯、乙酸異丁基酯、乙酸異丙烯基酯、乙酸4-異丙基芐酯、乙酸異丙基酯、乙酸亞異丙基-酰肼、乙酸薰衣草酯、乙酸4-甲氧基芐酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、乙酸3-甲氧基-3-甲基丁基酯、乙酸2-甲氧基苯基酯、乙酸甲氧基丙基酯、乙酸4-甲基芐酯、乙酸2-甲基丁基酯、乙酸2-甲基環(huán)己基酯、乙酸順式-4-甲基環(huán)己基酯、乙酸反式-3-甲基環(huán)己基酯、乙酸4-甲基環(huán)己基甲基酯、乙酸甲基酯、乙酸3-甲基己基酯、乙酸1-甲基-2-氧代丙基酯、乙酸2-甲基-4-戊烯-2-基酯、乙酸2-甲基戊基酯、乙酸3-甲基戊基酯、乙酸4-甲基-2-戊基酯、乙酸甲基硫代甲基酯、乙酸4-甲基傘形基酯、乙酸單甘油酯、乙酸4-硝基芐酯、乙酸2-硝基苯基酯、乙酸4-硝基苯基酯、乙酸對硝基苯基酰肼、乙酸8-壬烯-1-基酯、乙酸順式-6-壬烯-1-基酯、乙酸2-壬基酯、乙酸正壬基酯、乙酸正十八烷基酯、乙酸7-辛烯-1-基酯、乙酸正辛基酯、乙酸油基酯、乙酸2-氧代-環(huán)己-3-烯基酯、乙酸6-氧代-環(huán)己-1-烯基酯、乙酸4-氧代-環(huán)己基酯、乙酸2-氧代-丙基酯、乙酸4-戊烯-1-基酯、乙酸2-苯氧基乙基酯、乙酸苯基酯、乙酸1-苯基乙基酯、乙酸2-苯基乙基酯、乙酸炔丙基酯、乙酸2-丙?；交ァ⒁宜嵴?、3-(乙酸)吡啶鹽酸鹽、乙酸吡啶基鹽、乙-d3酸鈉鹽、[1-14C]乙酸鈉鹽、乙酸溶液、乙酸間甲苯基酯、乙酸鄰甲苯基酯、乙酸對甲苯基酯、乙酸1-對甲苯基-乙基酯、乙酸正十三烷基酯、乙酸三乙胺溶液、乙酸3，5，5-三甲基己基酯、乙酸乙烯基酯、乙酸2-乙烯基苯基酯和乙酸4-乙烯基苯基酯。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其中所述無機(jī)酸包含選自由以下組成的群組的至少一者:鹽酸和磷酸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其中所述堿化合物包含選自由以下組成的群組的至少一者:四甲基氫氧化銨、四甲基乙酸銨、四甲基苯甲酸銨、四甲基碳酸氫銨、四甲基硫酸氫銨1-水合物、四甲基硼氫化銨、四甲基溴化銨、四甲基氯化銨、四甲基氟化銨、四甲基氟化銨3-水合物、四甲基氟化銨4-水合物、四甲基甲酸銨、四甲基甲酸銨溶液、四甲基[α - ( β -D-吡喃葡萄糖基)苯亞乙基氨基]硫酸銨、四甲基六氟磷酸銨、四甲基鄰苯二甲酸氫銨、四甲基硫酸氫銨、四甲基硫酸氫銨水合物、四甲基氫氧化銨、四甲基氫氧化銨5-水合物、四甲基氫氧化銨溶液、四甲基銨(1-羥基亞乙基)五羰基鉻、四甲基[4-羥基-α-(1-硫代-β -D-吡喃葡萄糖基)苯亞乙基氨基]硫酸銨、四甲基碘化銨、四甲基銨甲基硫酸鹽、四甲基硝酸銨、四甲基八氫三硼酸銨、四甲基高氯酸銨、四甲基磷酸銨、四甲基硅酸銨、四甲基硅酸銨溶液、四甲基硫酸銨、四甲基四氟硼酸銨、四甲基四苯基硼酸銨、四甲基硫代乙酸銨、四甲基對甲苯磺酸銨、四甲基三乙酰氧基硼氫化銨、四甲基三溴化銨、四甲基三氟甲醇銨、芐基三乙基氫氧化銨、芐基三甲基甲氧化銨、十六烷基三甲基溴化銨、己基三甲基溴化銨、甲基溴化銨、十八烷基三甲基氯化銨、四正丁基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨30-水合物、四丁基(4-羥基)氫氧化銨、十四烷基三甲基溴化銨、十四烷基三甲基氯化銨、四乙醇?xì)溲趸@、四乙基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨溶液、四乙基氫氧化銨溶液、四正己基氫氧化銨、四甲基-dl2-溴化銨、四甲基-dl2-氯化銨、四甲基硫酸氫銨、四正辛基氫氧化銨、四戊基氫氧化銨、四戊基氫氧化銨溶液、四丙基氫氧化銨、三乙基苯基氫氧化銨、三甲基溴化銨、三甲基氯化銨、三甲基碘化銨、三甲基氫氧化锍、四丁基硼氫化銨、四丁基溴化銨、四丁基氯化銨、四丁基硫化氫銨、四丁基甲氧化銨、四癸基氯化銨、四乙基硼氫化銨、四乙基溴化銨、四乙基氯化銨、四乙基氰化銨、四乙基氟化銨、四乙基硫酸氫銨、四乙基碘化銨、四乙基硫氰化銨、四己基氯化銨、四辛基氯化銨、四戊基溴化銨、四戊基碘化銨、四戊基硫氰化銨和二乙基氯化銨。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其中所述清潔劑組合物的PH介于8到13范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔劑組合物，其進(jìn)一步包含:苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的清潔劑組合物，其中所述苯甲酸腐蝕抑制劑包含選自由以下組成的群組的至少一者:5_氨基-1，3-苯二甲酸、2-氨基-1，4-苯二甲酸、3-氨基-1，2-苯二甲酸、5-氨基苯-1，3- 二甲酸、3-氨基-苯噻吩-2-甲酸、1-氨基苯-2，4，5-三甲酸、1-氨基苯-2，4，6-三甲酸、1-氨基苯-3，4，5-三甲酸、5-氨基-1，2，3-苯三甲酸、2-氨基二苯甲酮-2'-甲酸、5-氨基-1-苯并噻吩-2-甲酸、4-氨基-2-氟苯甲酸、4-氨基-3-氟苯甲酸、4-氨基-2-甲氧基苯甲酸、5-氨基-2-嗎啉基苯甲酸、2-(4-氨基苯氧基)苯甲酸、偶氮苯_3，3' - 二甲酸、偶氮苯_4，4' -二甲酸、N-苯甲酰苯胺-4，4' -二甲酸、1，2-苯二甲酸、1, 3-苯二甲酸、1, 4-苯二甲酸、苯-1，3- 二甲酸二烯丙基酯、1，2-苯二甲酸二癸基酯、1，2-苯二甲酸二壬基酯、1，2-苯二甲酸二戊基酯、苯六甲酸、苯六甲酸六甲基酯、苯五甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸-d、苯-1，2，3，4-四甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、1，3，5-苯-d3-三甲酸、1，3，5-苯三甲酸、苯_1，2，4-三甲酸、苯-1，3，5-三甲酸、1，2，3-苯三甲酸2-水合物、1- 二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1- 二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、(1H)-苯并咪唑-7-甲酸、1H-苯并咪唑-2-甲酸、1H-苯并咪唑-4-甲酸、1H-苯并咪唑-5-甲酸、1H-苯并咪唑-7-甲酸、2-苯并咪唑甲酸、5-苯并咪唑甲酸、苯并咪唑-5-甲酸、苯并咪唑-5，6- 二甲酸、2，1-苯并異噻唑-3-甲酸、2，1-苯并異噁唑-3-甲酸、1-苯并環(huán)丁烯甲酸、(R)-1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-5-甲酸、(R)-1, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、(S)-1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1,4-苯并二噁烷-6-甲酸、1，3-苯并二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、1，3-苯并二氧雜環(huán)戊烯-4-甲酸、苯并[1,3] 二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、1-苯并呋喃-3-甲酸、1-苯并呋喃-5-甲酸、2，3-苯并呋喃-2-甲酸、2-苯并呋喃甲酸、苯并(b)呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-3-甲酸、苯并呋喃-4-甲酸、苯并呋喃-6-甲酸、苯并呋喃-7-甲酸、2，3-苯并呋喃二甲酸、苯并呋咱-5-甲酸、苯并氧化呋咱-5 -甲酸、3H-苯并[e]吲哚-2-甲酸、苯并[d]異噁唑-3-甲酸、苯并[d]噁唑-6-甲酸、苯并噁唑-2-甲酸、二苯甲酮-2-甲酸、二苯甲酮-4，V -二甲酸、3，3' ,4,4/ -二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮_3，3' ,4,4/ -四甲酸、苯并[b]碲吩-2-甲酸、1，2，3-苯并噻唑-5-甲酸、1,3-苯并噻唑-6-甲酸、苯并[d]噻唑-7-甲酸、苯并噻唑-2-甲酸、苯并噻唑-5-甲酸、苯并噻唑-6-甲酸、1-苯并噻吩-3-甲酸、1-苯并噻吩-5-甲酸、苯并[b]噻吩-2-甲酸、苯并[b]噻吩-3-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并噻吩-2-甲酸、1H-苯并三唑-5-甲酸、苯并三唑-4-甲酸、5-苯并噁唑甲酸、3-(苯甲?；被?-2-噻吩甲酸、1-苯甲?；?3-氮雜環(huán)丁烷甲酸、2-苯甲?；h(huán)己烷甲酸、順式-2-苯甲?；h(huán)己烷-1-甲酸、2-苯甲?；?1H-吲哚-3-甲酸、1-苯甲?；哙?2-甲酸、1-苯甲?；哙?4-甲酸、2-苯甲?；?3-吡啶甲酸、3-苯甲?；拎?2-甲酸、1-苯甲酰基吡咯烷-2-甲酸、3-苯甲?；?4-喹啉甲酸、3-苯甲?；?4-甲酸、3-苯甲?；?2-噻吩甲酸、1-(芐基)氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1-芐基-2-氮雜環(huán)丁烷甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1-芐基氮雜環(huán)丁燒-2-甲酸酰胺、1-芐基-4-boc-哌嗪-2-甲酸、1-芐基環(huán)丁燒-1-甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)己烷甲酸、1-芐基環(huán)戊烷甲酸、1-芐基環(huán)丙烷甲酸、1-芐基-1H-吲唑-3-甲酸、1-芐基吲唑基-3-甲酸、1-芐基吲哚-3-甲酸、2-芐基異吲哚啉-4-甲酸、4-芐基-嗎啉-2-甲酸、4-芐基-嗎啉-3-甲酸、4-芐基嗎啉-3-甲酸、3-芐基-2-噁唑烷甲酸、3-芐氧基-環(huán)丁烷甲酸、4-芐氧基吲哚-2-甲酸、5-芐氧基-2-吲哚甲酸、5-芐氧基吲哚-2-甲酸、6-芐氧基-1H-吲哚-2-甲酸、6-芐氧基-1H-吲哚-3-甲酸、7-芐氧基-1H-吲哚-3-甲酸、6-(芐氧基)吡啶-2-甲酸、8-(芐氧基)喹啉-7-甲酸、(R)-4-芐基哌嗪-2-甲酸、1-芐基-1,3-哌嗪二甲酸、1-芐基-2-哌啶甲酸、1-芐基哌啶-3-甲酸、1-芐基哌啶-4-甲酸、1-芐基-吡咯烷-3-甲酸、N-芐基-3-吡咯烷甲酸、2-(芐基硫基)苯甲酸、2-芐基-噻唑烷-4-甲酸、2-聯(lián)芐基甲酸、.5-溴苯甲酸、4-溴-1，3-苯二甲酸、4-溴苯-1，2- 二甲酸、5-溴-1，3-苯二甲酸、7-溴苯并呋喃-2-甲酸、5-溴-1-苯并呋喃-2-甲酸、3-溴苯并噻吩-2-甲酸、4-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-2-苯并噁唑甲酸、3-(叔丁氧基)苯甲酸、5-叔丁基-1，3-苯二甲酸、2-氯苯并呋喃-5-甲酸、3-氯苯并呋喃-5-甲酸、5-氯苯并呋喃-2-甲酸、4'-氯二苯甲酮-2-甲酸、3-氯苯并[b]-2-噻吩甲酸、3-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、5-氯-2-苯并噁唑甲酸、2-氯-5-羥基苯甲酸、2-氯-4-嗎啉基苯甲酸、二苯并呋喃-3-甲酸、二苯并呋喃-4-甲酸、1，4-二芐基哌嗪-2-甲酸、3，5-二溴-2-甲氧基苯甲酸、2，5- 二氟-4-硝基苯甲酸、4，5- 二氟-2-硝基苯甲酸、2，3- 二氫苯并呋喃_7_甲酸、.3，4- 二硝基-1，2-苯二甲酸、4，6- 二硝基-1，3-苯二甲酸、2，5- 二苯基苯-1，4- 二甲酸、.7-乙氧基苯并呋喃-2-甲酸、4-氟苯-1，3- 二甲酸、6-氟-1，3-苯并二氧雜環(huán)己烯_8_甲酸、4-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-氟-4-硝基苯甲酸、3-氟-4-硝基苯甲酸、2-羥基苯硫代甲酸、4-羥基-1，2-苯二甲酸、5-羥基苯-1，2，4-三甲酸、4-羥基苯并呋喃-3-甲酸、4'-羥基二苯甲酮-2-甲酸、.4-(2-羥基乙氧基)苯甲酸、3-碘苯-1，2-二甲酸、4-碘-1，2-苯二甲酸、4-碘-苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-(異戊氧基)苯甲酸、5-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、7-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、2-(4-甲氧基苯甲?；?苯甲酸、2-甲基-1，4-苯二甲酸、5-甲基苯-1，3-二甲酸、2-甲基苯并呋喃-7-甲酸、3-甲基苯并呋喃-2-甲酸、3-甲基苯并呋喃-5-甲酸、6-甲基-苯并呋喃-2-甲酸、2-甲基苯并[b]噻吩-7-甲酸、3-甲基苯并噻吩-2-甲酸、5-甲基-1-苯并噻吩-2-甲酸、6-甲基苯并[b]噻吩-2-甲酸、2-甲基-5-苯并噁唑甲酸、5-嗎啉基-2-硝基苯甲酸、(R)-N-芐基-哌啶-2-甲酸、⑶-N-芐基-哌啶-2-甲酸、3-硝基-1,2-苯二甲酸、4-硝基-1, 3-苯二甲酸、1-硝基苯-3，4，5-三甲酸、5-硝基-1, 2，3-苯三甲酸、5-硝基苯并呋喃-2-甲酸、5-硝基-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-(4-硝基苯氧基)苯甲酸、3-氧代-3H-苯并[f]色烯-2-甲酸、2-(2-丙炔氧基)苯甲酸、4-(2-嘧啶氧基)苯甲酸、5-磺基-1，2，4-苯三甲酸和四氟苯-1，4- 二甲酸。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的清潔劑組合物，其中所述苯并三唑腐蝕抑制劑包含選自由以下組成的群組的至少一者:1_烯丙基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2_氨基三唑、氨基三唑、貝曲嗪暗(Bemotrizinol)、苯噻硫氰(benthiazole)、苯并咪唑、2，1-苯并異喔唑、節(jié)硝唑(benznidazol)、苯佐巴比妥(benzobarbital)、苯雌酹(benzoestrol)、苯并呋喃酹、節(jié)腈、苯頻哪醇、苯頻哪醇、2_苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2，3-苯并三唑、IH-苯并三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、三氯甲苯、三氟甲苯、苯并噁唑、苯并噁唑酮、苯酰甲硝唑、2-苯甲?；邕?、苯噻隆(benzthiazuron)、4_芐基異噻唑、倍他唑(Betazole)、葉枯唑(bismerthiazol)、并奧克三唑(bisoctrizole)、5_ 溴苯并三唑、布 美三唑(bumetrizole)、丁基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑(clotrimazole)、德美曲咕唑(demetridazole)、二甲硝唑(dimetridazole)、依替沙唑(etisazole)、土菌靈(etridiazole)、三氟苯唑(f Iuotrimazole)、麥穗寧(fuberidazole)、1-羥基苯并三唑、4_羥基苯并三唑、羥基苯并三唑、2_碘苯并噻唑、拉貝洛爾(Iabetalol)、甲硝唑(metronidazole)、奈康唑(neticonazole)、5_ 硝基苯并三唑、奧克三唑(Octrizole)U-氧基苯并三唑、5-甲基-1H-噻唑并[4，5_d]-l，2，3-三唑、四唑、甲基苯并三唑、三唑侖(triazolam)、6_氯-1-甲氧基-苯并三唑、2，2' -[(IH-苯并三唑-1-基甲基)亞氨基]雙乙醇和5-甲基-1H-噻唑并[4，5-d]-l,2, 3-三唑(9CI)。
10.一種清潔劑組合物，其包含:0.01被％到3wt%苯甲酸或苯并三唑腐蝕抑制劑、.0.01wt%到0.5wt％有機(jī)酸、0.01wt%到1.0wt％無機(jī)酸、0.01wt%到5wt％堿化合物和0.01wt%到98wt%去離子水DI水。
【文檔編號】C11D7/60GK103923765SQ201410016293
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月15日
【發(fā)明者】金容郁, 李鍲根, 金永善, 李錫浩, 宋定桓, 全成植, 韓宗秀, 李智惠 申請人:株式會社巨元新科技