專利名稱：硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片切割機(jī)的部件技術(shù)領(lǐng)域，具體為硅片切割機(jī)用切割線的收 放線結(jié)構(gòu)。
(二)
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的切割硅晶片設(shè)備通常采用磨床磨削切割，而磨削加工在工業(yè)上起著 重要作用，它的主要特點(diǎn)是產(chǎn)生的切屑細(xì)小，加工精度高，砂輪具有自銳性， 這使磨削具有一系列優(yōu)點(diǎn)?，F(xiàn)在業(yè)內(nèi)對(duì)單晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了 大量的實(shí)驗(yàn)研究，研究結(jié)果表明，對(duì)于單晶硅等脆性材料，其表面粗糙度主要 與砂輪的平均磨粒尺寸、進(jìn)給量等因素有關(guān)。當(dāng)采用超精密磨床并在V S = 1
200m/min、 f = 0 500拜/rev、 ap = 0. 1 10拜的 磨削條件下磨削時(shí)，只有當(dāng)金剛石砂輪的平均磨粒尺寸低于2 Opm，才能在塑 性磨削模式下加工出高質(zhì)量的光滑表面，其磨削后的表面粗糙度為r m s : 5. 14nm、 Ra: 3。這樣對(duì)于磨床而言，磨削不同的工件，需要更換砂 輪，而置換砂輪， 一方面調(diào)整繁瑣，另一方面，砂輪的修整占用時(shí)間，耗費(fèi)時(shí) 間。
(三)

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，將其用 于切割機(jī)對(duì)硅片的切割，速度會(huì)較高，且針對(duì)不同的加工件，不許要頻繁更換 部件。
其技術(shù)方案是這樣的其特征在于其包括巻繞電機(jī)和放線電機(jī)，所述巻
繞電機(jī)和放線電機(jī)分別對(duì)應(yīng)連接巻繞輪和放線輪，所述放線輪上的鋼絲線依次 繞過(guò)升降輪、輪組后繞過(guò)沿平行布置的兩個(gè)導(dǎo)輪后再繞調(diào)整輪，接著沿另一輪 組以及另一升降輪后繞于所述巻繞輪。
其進(jìn)一步特征在于所述升降輪安裝于轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸安裝于擺桿的一端， 所述擺桿的另一端安裝于支架；所述調(diào)整輪、升降輪和所述輪組分別設(shè)置于所述導(dǎo)輪的下側(cè)和上側(cè)；所述輪組分別包括3個(gè)導(dǎo)向輪。
將上述結(jié)構(gòu)用于切割機(jī)，切割硅片時(shí)，只要配以匹配的流體磨料，就可以 方便、快速的對(duì)硅片進(jìn)行切割，效率高。
(四)


圖1為本發(fā)明主視的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
(五)
具體實(shí)施例方式
見(jiàn)圖1、圖2，本發(fā)明包括巻繞電機(jī)和放線電機(jī)1，巻繞電機(jī)和放線電機(jī)1 分別對(duì)應(yīng)連接巻繞輪11和放線輪2，放線輪2上的鋼絲線依次繞過(guò)升降輪10、 輪組后繞過(guò)沿平行布置的兩個(gè)導(dǎo)輪12、 7后再繞調(diào)整輪13 (輪組包括導(dǎo)輪4、 14、 15)，接著沿另一輪組(輪組包括導(dǎo)輪19、 17、 18)、 14、 15)以及另一升 降輪(圖2中被導(dǎo)輪17遮住)后繞于巻繞輪11。升降輪10以及另一升降輪分 別安裝于轉(zhuǎn)軸16，轉(zhuǎn)軸16分別安裝于擺桿5的一端，擺桿5的另一端分別安裝 于支架6;調(diào)整輪13、升降輪10和導(dǎo)輪4、 14、 15分別設(shè)置于導(dǎo)輪12、 7的下 側(cè)和上側(cè)。3為鋼絲線，8為主輥電機(jī)、9為機(jī)架。
權(quán)利要求
1、硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，其特征在于其包括卷繞電機(jī)和放線電機(jī)，所述卷繞電機(jī)和放線電機(jī)分別對(duì)應(yīng)連接卷繞輪和放線輪，所述放線輪上的鋼絲線依次繞過(guò)升降輪、輪組后繞過(guò)沿平行布置的兩個(gè)導(dǎo)輪后再繞調(diào)整輪，接著沿另一輪組以及另一升降輪后繞于所述卷繞輪。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述升降輪安裝于轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸安裝于擺桿的一端，所述擺桿的另一端安裝 于支架。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，其特征在于-所述調(diào)整輪、升降輪和所述輪組分別設(shè)置于所述導(dǎo)輪的下側(cè)和上側(cè)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述輪組分別包括3個(gè)導(dǎo)向輪。
全文摘要
本發(fā)明涉及硅片切割機(jī)用切割線的收放線結(jié)構(gòu)，其用于切割機(jī)切割硅片時(shí)，只要配以匹配的流體磨料，就可以方便、快速的對(duì)硅片進(jìn)行切割，針對(duì)不同的加工件，不許要頻繁更換部件，效率高。其包括卷繞電機(jī)和放線電機(jī)，所述卷繞電機(jī)和放線電機(jī)分別對(duì)應(yīng)連接卷繞輪和放線輪，所述放線輪上的鋼絲線依次繞過(guò)升降輪、輪組后繞過(guò)沿平行布置的兩個(gè)導(dǎo)輪后再繞調(diào)整輪，接著沿另一輪組以及另一升降輪后繞于所述卷繞輪。
文檔編號(hào)B28D5/04GK101502984SQ20091002576
公開(kāi)日2009年8月12日 申請(qǐng)日期2009年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月9日
發(fā)明者軍 施, 胡宏波, 陳世強(qiáng) 申請(qǐng)人:無(wú)錫開(kāi)源太陽(yáng)能設(shè)備科技有限公司