專利名稱:高純二硼化鈦粉末連續(xù)熱壓工藝生產導電蒸發(fā)舟的方法
技術領域:
本發(fā)明涉及蒸發(fā)舟的生產方法,尤其是導電復合陶瓷蒸發(fā)舟的生產方法。
背景技術:
真空鍍膜是指在真空狀態(tài)下用導電復合陶瓷蒸發(fā)舟通過電加熱將料熔化直至蒸 發(fā)附著于被鍍物上形成鍍膜層的工藝,常用的導電復合陶瓷蒸發(fā)舟的生產方法為將所需原 料進行混合,再將混合好的原料放入模具內一邊加熱一邊加壓進行燒結,將燒結好的導電 復合陶塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。目前國內蒸發(fā)舟的制備方法制成的導 電復合陶瓷蒸發(fā)舟其存在的問題為密度低,在使用中鋁的蒸發(fā)不均勻,易爆裂。
三、技術內容針對上述缺點,本發(fā)明的目的在于提供高純二硼化鈦粉末連續(xù)熱壓工藝生產導電 蒸發(fā)舟的方法,使得制得的蒸發(fā)舟密度高和不易爆裂。本發(fā)明的技術內容為,高純二硼化鈦粉末連續(xù)熱壓工藝生產導電蒸發(fā)舟的方法, 包括如下步驟(1)、將顆粒為100 200目的原料粉體以下列重量百分比混和AlN :8 15%,TiB2:30 40%,BN: 50 60%;(2)、將混合后的粉體干拌15 20分鐘,再和酒精按粉料酒精=1 1. 5 2 的重量百分比混合并攪拌10 15小時;(3)、將混合攪拌后的粉料在60 70°C加熱10 15小時,以烘干粉料并去處粉料 中的酒精;(4)、將粉料加入模具中,放入氬氣氣氛爐中,溫度為2100 2200°C,壓力為40 45MPa,加熱4 5小時,冷卻后制得導電復合陶瓷塊;(5)、將導電復合陶瓷塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。為進一步提高導電復合陶瓷蒸發(fā)舟成品的密度和成品率,將原料粉體在混合前過 80 100標準篩1 3次。本發(fā)明的優(yōu)點是制得的導電復合陶瓷蒸發(fā)舟密度高,有均勻的電阻,電阻率變化 范圍可從200 2000根據需要進行調節(jié),使用壽命達到12 15小時,產品合格率達95% 以上。
四、具體實施例例1 (1)稱取AlN 10%,TiB2 35%,BN 55%并混合,其粒度為100目,將原料粉體過80 標準篩2次;
(2)、將混合后的粉體干拌20分鐘,再和酒精按粉料酒精=1 1.5的重量百分 比混合并攪拌10小時;(3)、將混合攪拌后的粉料在70°C加熱10小時,以烘干粉料并去處粉料中的酒精;(4)、將粉料加入模具中,放入氬氣氣氛爐中,溫度為2160°C,壓力為40MPa,加熱5 小時,冷卻后制得導電復合陶瓷塊;(5)、將導電復合陶瓷塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。例2:(1)稱取AlN 10%, TiB2 40%, BN 50%并混合,其粒度為100目,將原料粉體過 100標準篩2次;(2)、將混合后的粉體干拌20分鐘,再和酒精按粉料酒精=1 1.5的重量百分 比混合并攪拌10小時;(3)、將混合攪拌后的粉料在70°C加熱10小時,以烘干粉料并去處粉料中的酒精;(4)、將粉料加入模具中,放入氬氣氣氛爐中,溫度為2160°C,壓力為40MPa,加熱5 小時,冷卻后制得導電復合陶瓷塊;(5)、將導電復合陶瓷塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。產品有關性能數(shù)據如下表
權利要求
高純二硼化鈦粉末連續(xù)熱壓工藝生產導電蒸發(fā)舟的方法,包括如下步驟(1)、將顆粒為100~200目的原料粉體以下列重量百分比混和AlN 8~15%,TiB2 30~40%,BN50~60%;(2)、將混合后的粉體干拌15~20分鐘,再和酒精按粉料∶酒精=1∶1.5~2的重量百分比混合并攪拌10~15小時;(3)、將混合攪拌后的粉料在60~70℃加熱10~15小時,以烘干粉料并去處粉料中的酒精;(4)、將粉料加入模具中,放入氬氣氣氛爐中,溫度為2100~2200℃,壓力為40~45MPa,加熱4~5小時,冷卻后制得導電復合陶瓷塊;(5)、將導電復合陶瓷塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。
2.根據權利要求1所述蒸發(fā)舟的生產方法,其特征為將原料粉體在混合前過80 100 標準篩1 3次。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高純二硼化鈦粉末連續(xù)熱壓工藝生產導電蒸發(fā)舟的方法,其生產方法如下先將顆粒為100~200目的原料粉末AIN8~15%、TiB2 30~40%和BN50~60%混合;將混合后的粉末干拌后,再和酒精混合并攪拌;將攪拌后的粉料加熱以烘干粉料并去處粉料中的酒精;將粉料加入模具中,放入氬氣氣氛爐中加壓、加熱,冷卻后制得導電復合陶瓷塊,將導電復合陶瓷塊進行切割和銑槽制得導電復合陶瓷蒸發(fā)舟。本發(fā)明的優(yōu)點是制得的導電復合陶瓷蒸發(fā)舟密度高,有均勻的電阻,電阻率變化范圍可從200~2000根據需要進行調節(jié),使用壽命達到12~15小時,產品合格率達95%以上。
文檔編號B28D1/22GK101886244SQ200910043389
公開日2010年11月17日 申請日期2009年5月14日 優(yōu)先權日2009年5月14日
發(fā)明者黃超 申請人:長沙云麓粉末材料科技有限公司